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南充市營山縣、綏化市蘭西縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、信陽市平橋區(qū)、莆田市仙游縣、晉城市高平市、廣西賀州市昭平縣、海西蒙古族茫崖市、淮南市鳳臺縣
聊城市茌平區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、六安市金安區(qū)、鶴崗市蘿北縣、甘孜爐霍縣、文山西疇縣
普洱市景東彝族自治縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、遂寧市船山區(qū)、咸陽市禮泉縣、陵水黎族自治縣本號鎮(zhèn)、南平市順昌縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)、臨沂市平邑縣、黔南都勻市
焦作市博愛縣、寧德市古田縣、晉中市榆次區(qū)、自貢市富順縣、臨夏臨夏市、福州市閩侯縣、黔西南興義市、洛陽市西工區(qū)
遂寧市射洪市、定安縣龍河鎮(zhèn)、南充市西充縣、深圳市福田區(qū)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、麗水市蓮都區(qū)、天津市北辰區(qū)、天水市張家川回族自治縣、合肥市肥東縣
黔西南興仁市、岳陽市汨羅市、襄陽市?？悼h、臨沂市羅莊區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、定西市渭源縣、玉溪市易門縣、三亞市吉陽區(qū)、哈爾濱市五常市、儋州市光村鎮(zhèn)
南京市高淳區(qū)、文山麻栗坡縣、陽泉市盂縣、韶關(guān)市仁化縣、溫州市洞頭區(qū)、安康市石泉縣、儋州市雅星鎮(zhèn)
呂梁市孝義市、大理鶴慶縣、東方市大田鎮(zhèn)、定安縣新竹鎮(zhèn)、陽泉市平定縣
麗江市寧蒗彝族自治縣、成都市雙流區(qū)、徐州市泉山區(qū)、臨夏永靖縣、黔西南晴隆縣、長治市屯留區(qū)、五指山市毛道
廣西南寧市青秀區(qū)、寶雞市太白縣、漳州市龍海區(qū)、云浮市云城區(qū)、雞西市密山市、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣
甘孜爐霍縣、東方市感城鎮(zhèn)、蕪湖市弋江區(qū)、畢節(jié)市織金縣、黑河市遜克縣、寧夏固原市西吉縣、河源市源城區(qū)、陽江市江城區(qū)、龍巖市新羅區(qū)
吉林市舒蘭市、安慶市桐城市、信陽市息縣、葫蘆島市興城市、安陽市文峰區(qū)、臺州市玉環(huán)市
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、徐州市泉山區(qū)、黔東南凱里市、北京市海淀區(qū)、甘南夏河縣、濟(jì)南市市中區(qū)、雅安市天全縣、瓊海市陽江鎮(zhèn)、大理賓川縣
惠州市惠陽區(qū)、上海市奉賢區(qū)、衡陽市衡東縣、嘉興市南湖區(qū)、沈陽市渾南區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)、六盤水市六枝特區(qū)、珠海市斗門區(qū)
臨高縣臨城鎮(zhèn)、廣安市武勝縣、南昌市青山湖區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、吉安市新干縣、內(nèi)江市資中縣
太原市古交市、大連市金州區(qū)、寶雞市隴縣、重慶市忠縣、開封市杞縣
曲靖市富源縣、株洲市淥口區(qū)、晉中市靈石縣、重慶市榮昌區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、松原市扶余市、大同市云州區(qū)、大慶市肇源縣、西安市新城區(qū)
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大同市平城區(qū)、達(dá)州市萬源市、平頂山市郟縣、合肥市廬陽區(qū)、廣元市利州區(qū)、廣西南寧市江南區(qū)、青島市嶗山區(qū)、自貢市自流井區(qū)
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晉中市和順縣、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、長春市雙陽區(qū)、合肥市蜀山區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、宜春市萬載縣、德宏傣族景頗族自治州隴川縣、黃岡市紅安縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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