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莆田市仙游縣、臨夏臨夏縣、安慶市大觀區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、定安縣龍門鎮(zhèn)
廣安市鄰水縣、遼陽(yáng)市白塔區(qū)、資陽(yáng)市樂(lè)至縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、恩施州巴東縣、泉州市豐澤區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣、牡丹江市穆棱市、畢節(jié)市納雍縣
安慶市迎江區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、郴州市永興縣、北京市海淀區(qū)、麗江市永勝縣
南平市浦城縣、撫州市臨川區(qū)、九江市永修縣、廣西柳州市三江侗族自治縣、臨滄市鳳慶縣、酒泉市敦煌市
鞍山市鐵東區(qū)、聊城市茌平區(qū)、九江市彭澤縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、涼山昭覺縣、雞西市城子河區(qū)、丹東市鳳城市、湘西州吉首市
昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、文山麻栗坡縣、迪慶香格里拉市、荊門市京山市、平?jīng)鍪徐o寧縣、太原市婁煩縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、錦州市凌河區(qū)
張掖市山丹縣、韶關(guān)市翁源縣、紅河個(gè)舊市、揚(yáng)州市江都區(qū)、金華市金東區(qū)、韶關(guān)市南雄市、樂(lè)山市峨眉山市、韶關(guān)市湞江區(qū)、南陽(yáng)市新野縣
定安縣嶺口鎮(zhèn)、雅安市蘆山縣、聊城市莘縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、廣安市鄰水縣、白銀市景泰縣、深圳市羅湖區(qū)
鷹潭市貴溪市、商洛市丹鳳縣、青島市黃島區(qū)、黔東南岑鞏縣、信陽(yáng)市商城縣、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)
長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、信陽(yáng)市固始縣、臨汾市吉縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、陽(yáng)泉市盂縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、德州市平原縣
大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、泉州市安溪縣、宜春市萬(wàn)載縣、孝感市大悟縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、儋州市東成鎮(zhèn)
濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、廣西百色市西林縣、晉中市左權(quán)縣、贛州市寧都縣、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、黔西南安龍縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、吉林市永吉縣、蘇州市常熟市、雅安市天全縣
普洱市思茅區(qū)、臨汾市古縣、福州市羅源縣、甘南迭部縣、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣
邵陽(yáng)市大祥區(qū)、綏化市明水縣、麗水市青田縣、臨汾市汾西縣、佳木斯市富錦市、玉溪市華寧縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、達(dá)州市通川區(qū)、錦州市義縣
揚(yáng)州市邗江區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、達(dá)州市萬(wàn)源市、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、十堰市竹溪縣、北京市豐臺(tái)區(qū)
海南貴德縣、阜新市細(xì)河區(qū)、廣西桂林市荔浦市、廣西河池市天峨縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、吉林市豐滿區(qū)、重慶市江北區(qū)、酒泉市金塔縣、寧德市霞浦縣、贛州市章貢區(qū)
溫州市龍港市、青島市市北區(qū)、天津市靜海區(qū)、西安市灞橋區(qū)、上饒市廣豐區(qū)
昆明市嵩明縣、朝陽(yáng)市北票市、蘇州市張家港市、杭州市拱墅區(qū)、南陽(yáng)市西峽縣、重慶市城口縣
酒泉市肅州區(qū)、深圳市光明區(qū)、南通市啟東市、哈爾濱市呼蘭區(qū)、廈門市湖里區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、漢中市寧強(qiáng)縣、綏化市慶安縣
嘉興市嘉善縣、內(nèi)江市資中縣、漳州市龍文區(qū)、涼山雷波縣、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、大連市莊河市、濟(jì)南市商河縣
池州市東至縣、日照市五蓮縣、甘南夏河縣、平頂山市葉縣、宿州市碭山縣、黔東南臺(tái)江縣、朝陽(yáng)市凌源市
臨汾市曲沃縣、哈爾濱市香坊區(qū)、棗莊市滕州市、南陽(yáng)市西峽縣、重慶市大渡口區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、駐馬店市正陽(yáng)縣
廣西桂林市秀峰區(qū)、衡陽(yáng)市石鼓區(qū)、永州市東安縣、東莞市南城街道、永州市新田縣、鄂州市梁子湖區(qū)、廈門市海滄區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、宜賓市高縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、雅安市滎經(jīng)縣、濰坊市高密市、廣西百色市平果市、涼山喜德縣、廣安市鄰水縣、北京市房山區(qū)、長(zhǎng)治市平順縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗
河源市龍川縣、洛陽(yáng)市澗西區(qū)、孝感市應(yīng)城市、呂梁市孝義市、泰安市岱岳區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、云浮市云城區(qū)
保山市隆陽(yáng)區(qū)、廣西柳州市三江侗族自治縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、果洛班瑪縣、鶴壁市山城區(qū)、大連市金州區(qū)、定安縣龍門鎮(zhèn)、荊門市東寶區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、麗水市慶元縣
儋州市排浦鎮(zhèn)、北京市海淀區(qū)、鐵嶺市開原市、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、寶雞市麟游縣、北京市東城區(qū)、撫州市南豐縣、中山市大涌鎮(zhèn)、文昌市昌灑鎮(zhèn)
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沈陽(yáng)市沈河區(qū)、寧夏吳忠市同心縣、綏化市青岡縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、黔南三都水族自治縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣、廣西河池市南丹縣、文昌市昌灑鎮(zhèn)、普洱市瀾滄拉祜族自治縣
廣西柳州市三江侗族自治縣、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、寧波市海曙區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、曲靖市富源縣、榆林市清澗縣、牡丹江市林口縣、徐州市睢寧縣、營(yíng)口市老邊區(qū)、攀枝花市鹽邊縣
雅安市天全縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、鶴崗市南山區(qū)、荊州市松滋市、西安市藍(lán)田縣
三門峽市靈寶市、楚雄南華縣、雅安市雨城區(qū)、榆林市子洲縣、齊齊哈爾市依安縣
臨高縣東英鎮(zhèn)、銅陵市郊區(qū)、許昌市襄城縣、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、溫州市樂(lè)清市、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、大理劍川縣
十堰市鄖西縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、遵義市桐梓縣、北京市延慶區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、德州市寧津縣
廣西來(lái)賓市武宣縣、紅河建水縣、忻州市代縣、榆林市神木市、海南同德縣
綏化市海倫市、黑河市孫吳縣、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)、三門峽市澠池縣、馬鞍山市和縣
廣西百色市隆林各族自治縣、寧波市慈溪市、南京市建鄴區(qū)、金華市蘭溪市、北京市順義區(qū)、撫順市新?lián)釁^(qū)
鄂州市梁子湖區(qū)、湘西州保靖縣、大同市靈丘縣、蘇州市姑蘇區(qū)、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、肇慶市懷集縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)
重慶市秀山縣、遵義市習(xí)水縣、陽(yáng)泉市平定縣、孝感市安陸市、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、安康市石泉縣、臨滄市臨翔區(qū)
廣西桂林市陽(yáng)朔縣、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、三亞市吉陽(yáng)區(qū)、金華市磐安縣、廣西南寧市隆安縣、麗水市青田縣
贛州市信豐縣、大理鶴慶縣、攀枝花市東區(qū)、廣州市越秀區(qū)、寧波市慈溪市、齊齊哈爾市依安縣、昆明市東川區(qū)、三沙市西沙區(qū)、平?jīng)鍪星f浪縣
泉州市金門縣、聊城市茌平區(qū)、撫州市崇仁縣、廣西柳州市柳江區(qū)、衡陽(yáng)市常寧市、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、南通市崇川區(qū)、三明市大田縣、吉安市廬陵新區(qū)、淮安市盱眙縣
商洛市柞水縣、廣安市前鋒區(qū)、贛州市大余縣、周口市鄲城縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣
郴州市資興市、大連市甘井子區(qū)、齊齊哈爾市克山縣、泉州市永春縣、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、淮南市壽縣、嘉興市秀洲區(qū)
黃岡市黃梅縣、晉城市陽(yáng)城縣、銅仁市思南縣、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、舟山市岱山縣、十堰市竹溪縣、吉安市泰和縣、張掖市臨澤縣
信陽(yáng)市平橋區(qū)、杭州市蕭山區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、瀘州市龍馬潭區(qū)
文山丘北縣、棗莊市山亭區(qū)、贛州市尋烏縣、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、安慶市宿松縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、洛陽(yáng)市洛寧縣、呂梁市臨縣、佳木斯市樺南縣
開封市龍亭區(qū)、西安市鄠邑區(qū)、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、涼山冕寧縣、綿陽(yáng)市北川羌族自治縣、安慶市潛山市、重慶市江津區(qū)、衢州市江山市
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湘潭市雨湖區(qū)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、宣城市宣州區(qū)、晉城市城區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、洛陽(yáng)市欒川縣、楚雄雙柏縣
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朝陽(yáng)市龍城區(qū)、亳州市利辛縣、丹東市元寶區(qū)、楚雄元謀縣、金華市蘭溪市、東方市八所鎮(zhèn)、昆明市富民縣、湖州市安吉縣、安康市石泉縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)
溫州市樂(lè)清市、汕頭市龍湖區(qū)、濟(jì)寧市兗州區(qū)、南昌市南昌縣、贛州市南康區(qū)、汕頭市金平區(qū)、雅安市石棉縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、甘孜康定市、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在,這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡(jiǎn)稱“恒格微電子”)發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作,一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?;瘧?yīng)用;另一家為三疊紀(jì)公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及,目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證,并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?,薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上,海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下,國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為,深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”,運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線,填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元,同比增長(zhǎng)22.46%,比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn),近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出,推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年,設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元,占了大頭。對(duì)比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè),接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞,機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求,使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會(huì)更加復(fù)雜?!秉S道遠(yuǎn)表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片,瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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