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麗水市云和縣、宜春市豐城市、白銀市會寧縣、臨滄市臨翔區(qū)、南平市邵武市
汕頭市龍湖區(qū)、大慶市林甸縣、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、丹東市振興區(qū)、南充市蓬安縣、北京市西城區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣
濰坊市安丘市、黔南羅甸縣、寶雞市岐山縣、長治市潞城區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、瓊海市陽江鎮(zhèn)、武威市民勤縣、萬寧市山根鎮(zhèn)、攀枝花市鹽邊縣
樂山市沙灣區(qū)、惠州市博羅縣、十堰市房縣、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、金華市義烏市、中山市三角鎮(zhèn)、廣西南寧市邕寧區(qū)
長治市平順縣、南平市松溪縣、延安市宜川縣、運(yùn)城市夏縣、菏澤市巨野縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、黔東南從江縣、銅陵市銅官區(qū)、太原市迎澤區(qū)
太原市萬柏林區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、泰安市岱岳區(qū)、濰坊市坊子區(qū)、銅仁市碧江區(qū)
西安市閻良區(qū)、曲靖市陸良縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、青島市市北區(qū)、邵陽市大祥區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣
亳州市蒙城縣、儋州市中和鎮(zhèn)、撫州市崇仁縣、淮南市田家庵區(qū)、衢州市開化縣、眉山市丹棱縣、鶴崗市東山區(qū)、東莞市石碣鎮(zhèn)
徐州市睢寧縣、北京市懷柔區(qū)、南昌市青云譜區(qū)、長沙市望城區(qū)、十堰市茅箭區(qū)
鶴崗市向陽區(qū)、濟(jì)南市商河縣、杭州市上城區(qū)、朔州市朔城區(qū)、宿遷市沭陽縣、咸陽市涇陽縣、天水市甘谷縣、萬寧市后安鎮(zhèn)
酒泉市肅州區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、平頂山市葉縣、汕尾市海豐縣、臨高縣新盈鎮(zhèn)、臺州市黃巖區(qū)、成都市簡陽市、九江市柴桑區(qū)、衢州市柯城區(qū)
東方市大田鎮(zhèn)、遵義市桐梓縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、連云港市贛榆區(qū)、濱州市惠民縣、東營市廣饒縣、黃岡市武穴市、蘇州市姑蘇區(qū)
廣安市廣安區(qū)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、大慶市肇州縣、大連市莊河市、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、曲靖市富源縣、漢中市城固縣、蕪湖市無為市
蘭州市永登縣、宜賓市興文縣、福州市閩侯縣、錦州市黑山縣、雞西市恒山區(qū)
上海市靜安區(qū)、馬鞍山市博望區(qū)、臨汾市蒲縣、廣西玉林市博白縣、廣安市華鎣市、南京市秦淮區(qū)、銅陵市樅陽縣、廣西梧州市岑溪市、廣州市海珠區(qū)、廣西崇左市龍州縣
駐馬店市平輿縣、中山市民眾鎮(zhèn)、成都市雙流區(qū)、衡陽市衡山縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、曲靖市馬龍區(qū)、恩施州鶴峰縣
宣城市旌德縣、黔東南臺江縣、昭通市水富市、合肥市肥東縣、吉安市青原區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、朔州市山陰縣
寧夏吳忠市青銅峽市、深圳市光明區(qū)、貴陽市開陽縣、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、大連市西崗區(qū)
中山市沙溪鎮(zhèn)、雅安市寶興縣、營口市老邊區(qū)、佛山市南海區(qū)、宣城市旌德縣
臨滄市鳳慶縣、宜春市高安市、貴陽市白云區(qū)、洛陽市伊川縣、青島市城陽區(qū)、常州市天寧區(qū)、珠海市香洲區(qū)、遂寧市安居區(qū)、南京市玄武區(qū)、南京市溧水區(qū)
雅安市石棉縣、海西蒙古族德令哈市、吉安市吉水縣、十堰市竹山縣、廣西桂林市興安縣、鹽城市大豐區(qū)、三亞市海棠區(qū)、德州市德城區(qū)、清遠(yuǎn)市連州市、阜新市新邱區(qū)
青島市嶗山區(qū)、雅安市名山區(qū)、南陽市桐柏縣、海東市化隆回族自治縣、許昌市魏都區(qū)
泉州市永春縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、六盤水市盤州市、安康市紫陽縣、酒泉市瓜州縣、大連市普蘭店區(qū)、忻州市原平市
青島市即墨區(qū)、?？谑行阌^(qū)、普洱市景東彝族自治縣、臺州市路橋區(qū)、忻州市繁峙縣、中山市五桂山街道、德州市夏津縣、開封市尉氏縣、哈爾濱市雙城區(qū)、臨沂市蒙陰縣
聊城市臨清市、萬寧市萬城鎮(zhèn)、郴州市蘇仙區(qū)、廣西桂林市臨桂區(qū)、濟(jì)寧市曲阜市、廣元市朝天區(qū)、天水市麥積區(qū)、酒泉市肅北蒙古族自治縣、邵陽市邵東市、宜昌市枝江市
樂山市馬邊彝族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、天津市津南區(qū)、甘孜鄉(xiāng)城縣、吉安市青原區(qū)、大理賓川縣、白城市大安市
珠海市斗門區(qū)、杭州市江干區(qū)、資陽市安岳縣、成都市新津區(qū)、煙臺市棲霞市、溫州市鹿城區(qū)、直轄縣天門市、嘉興市秀洲區(qū)、濱州市無棣縣
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內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、衡陽市石鼓區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、許昌市建安區(qū)、黔南荔波縣、哈爾濱市延壽縣、南通市海門區(qū)、安康市紫陽縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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