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廣西欽州市欽南區(qū)、嘉興市海寧市、焦作市武陟縣、西安市灞橋區(qū)、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、湘西州龍山縣
榆林市神木市、陽(yáng)江市江城區(qū)、黃岡市浠水縣、天津市北辰區(qū)、聊城市東阿縣、青島市即墨區(qū)、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)
泰安市新泰市、通化市輝南縣、渭南市蒲城縣、洛陽(yáng)市澗西區(qū)、重慶市梁平區(qū)、湖州市吳興區(qū)、自貢市榮縣、湛江市霞山區(qū)
鶴壁市淇濱區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、中山市阜沙鎮(zhèn)、黔南都勻市、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、遼源市龍山區(qū)
郴州市桂東縣、煙臺(tái)市棲霞市、廣州市越秀區(qū)、溫州市泰順縣、寧波市慈溪市、玉樹(shù)雜多縣、襄陽(yáng)市谷城縣、遵義市綏陽(yáng)縣、張掖市山丹縣、海北海晏縣
寧夏固原市隆德縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)、紅河紅河縣、麗江市華坪縣、寧德市福安市、江門(mén)市鶴山市、河源市龍川縣
長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、東莞市麻涌鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、汕頭市濠江區(qū)、淮南市謝家集區(qū)、昭通市水富市、臨夏臨夏縣、婁底市婁星區(qū)、大連市莊河市
廣西桂林市陽(yáng)朔縣、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、本溪市南芬區(qū)、泰州市海陵區(qū)、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、東方市江邊鄉(xiāng)、牡丹江市愛(ài)民區(qū)、吉林市舒蘭市、涼山德昌縣、天水市武山縣
瀘州市納溪區(qū)、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、錦州市黑山縣、成都市彭州市、六安市舒城縣、廣西桂林市陽(yáng)朔縣、莆田市仙游縣、贛州市瑞金市
南平市武夷山市、廈門(mén)市集美區(qū)、徐州市沛縣、綿陽(yáng)市游仙區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、天水市清水縣、延邊安圖縣、南昌市進(jìn)賢縣、楚雄武定縣
呂梁市方山縣、龍巖市永定區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、鷹潭市貴溪市
信陽(yáng)市平橋區(qū)、鎮(zhèn)江市句容市、黃山市祁門(mén)縣、泰安市泰山區(qū)、佳木斯市湯原縣、海西蒙古族格爾木市、廣西百色市右江區(qū)、莆田市涵江區(qū)
泰安市東平縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、伊春市大箐山縣、哈爾濱市松北區(qū)、廣西來(lái)賓市合山市、南通市海門(mén)區(qū)
亳州市渦陽(yáng)縣、廣安市岳池縣、廣州市荔灣區(qū)、綏化市北林區(qū)、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、安康市漢陰縣、晉中市介休市
杭州市下城區(qū)、臨汾市堯都區(qū)、遼陽(yáng)市文圣區(qū)、渭南市澄城縣、梅州市平遠(yuǎn)縣、婁底市新化縣、福州市福清市
黔東南三穗縣、濱州市鄒平市、株洲市炎陵縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、安慶市迎江區(qū)、濰坊市臨朐縣、東方市板橋鎮(zhèn)、南昌市新建區(qū)、定安縣嶺口鎮(zhèn)
廣西賀州市平桂區(qū)、廣西柳州市融安縣、上饒市廣豐區(qū)、武威市涼州區(qū)、揚(yáng)州市寶應(yīng)縣、朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、渭南市富平縣、煙臺(tái)市龍口市、慶陽(yáng)市華池縣
瀘州市瀘縣、廣西百色市西林縣、杭州市江干區(qū)、雞西市雞東縣、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)
忻州市定襄縣、銅陵市銅官區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、上饒市玉山縣、沈陽(yáng)市于洪區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、撫順市望花區(qū)、廣安市武勝縣
甘南碌曲縣、本溪市溪湖區(qū)、張掖市臨澤縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、白山市臨江市、楚雄姚安縣
綏化市綏棱縣、廣西玉林市陸川縣、宜春市高安市、遂寧市射洪市、白山市渾江區(qū)
肇慶市高要區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、綿陽(yáng)市游仙區(qū)、忻州市靜樂(lè)縣、撫順市順城區(qū)、泉州市安溪縣
上饒市婺源縣、東莞市塘廈鎮(zhèn)、甘孜甘孜縣、自貢市大安區(qū)、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、海西蒙古族茫崖市
寧德市屏南縣、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、甘南瑪曲縣、臨汾市翼城縣、荊門(mén)市鐘祥市、貴陽(yáng)市清鎮(zhèn)市、宿遷市沭陽(yáng)縣、肇慶市鼎湖區(qū)、廣西南寧市江南區(qū)
文昌市抱羅鎮(zhèn)、東莞市南城街道、合肥市廬江縣、深圳市羅湖區(qū)、沈陽(yáng)市康平縣、天津市河?xùn)|區(qū)
保山市隆陽(yáng)區(qū)、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、宜春市樟樹(shù)市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、蘭州市榆中縣、長(zhǎng)沙市望城區(qū)
雞西市麻山區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、蘇州市常熟市、福州市福清市、信陽(yáng)市光山縣、陽(yáng)泉市城區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、上海市嘉定區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)
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黃岡市蘄春縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、無(wú)錫市新吳區(qū)、云浮市新興縣、駐馬店市確山縣、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、安康市紫陽(yáng)縣、紹興市柯橋區(qū)
馬鞍山市當(dāng)涂縣、廣州市花都區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、大慶市大同區(qū)、咸陽(yáng)市武功縣
濱州市無(wú)棣縣、永州市寧遠(yuǎn)縣、天津市寧河區(qū)、金華市義烏市、錦州市黑山縣、廣西欽州市欽南區(qū)、湘潭市韶山市
廣西貴港市港北區(qū)、泉州市德化縣、威海市文登區(qū)、宣城市郎溪縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、白山市靖宇縣
聊城市臨清市、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、自貢市榮縣、普洱市思茅區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、遼陽(yáng)市太子河區(qū)、池州市貴池區(qū)、麗江市永勝縣
樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、本溪市南芬區(qū)、玉樹(shù)玉樹(shù)市、溫州市泰順縣、重慶市黔江區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣
宜春市上高縣、哈爾濱市南崗區(qū)、自貢市自流井區(qū)、漢中市城固縣、渭南市白水縣
鶴崗市興安區(qū)、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、本溪市南芬區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、天津市西青區(qū)、襄陽(yáng)市襄城區(qū)
運(yùn)城市臨猗縣、遵義市赤水市、黃南尖扎縣、揚(yáng)州市高郵市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、安順市西秀區(qū)、呂梁市嵐縣、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、儋州市光村鎮(zhèn)、瓊海市石壁鎮(zhèn)
三亞市海棠區(qū)、廣西南寧市上林縣、阜新市彰武縣、怒江傈僳族自治州福貢縣、廣州市天河區(qū)
雙鴨山市寶山區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣、運(yùn)城市絳縣、常州市武進(jìn)區(qū)、延安市延長(zhǎng)縣、樂(lè)山市市中區(qū)
齊齊哈爾市泰來(lái)縣、張家界市桑植縣、永州市江永縣、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、馬鞍山市和縣、樂(lè)山市峨眉山市、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、海南貴南縣、哈爾濱市木蘭縣、遵義市仁懷市
攀枝花市鹽邊縣、商洛市商南縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、紅河元陽(yáng)縣、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、寧德市福安市、麗江市玉龍納西族自治縣、吉安市安?？h
阜新市阜新蒙古族自治縣、慶陽(yáng)市鎮(zhèn)原縣、晉城市城區(qū)、肇慶市鼎湖區(qū)、茂名市信宜市、中山市黃圃鎮(zhèn)、菏澤市牡丹區(qū)、張家界市永定區(qū)、滁州市天長(zhǎng)市、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣
文昌市東郊鎮(zhèn)、濰坊市青州市、遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、達(dá)州市開(kāi)江縣、重慶市南岸區(qū)、西寧市城西區(qū)、新余市分宜縣、連云港市連云區(qū)、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)
東莞市望牛墩鎮(zhèn)、福州市福清市、昆明市官渡區(qū)、滁州市天長(zhǎng)市、南京市玄武區(qū)、四平市梨樹(shù)縣、黔南羅甸縣、錦州市北鎮(zhèn)市
成都市雙流區(qū)、運(yùn)城市夏縣、鹽城市阜寧縣、黔南長(zhǎng)順縣、廣西河池市南丹縣、宜昌市枝江市、南平市邵武市、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、蘭州市七里河區(qū)
大連市普蘭店區(qū)、太原市古交市、肇慶市端州區(qū)、婁底市漣源市、廣西柳州市柳江區(qū)、資陽(yáng)市安岳縣、綿陽(yáng)市江油市、滁州市鳳陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、牡丹江市穆棱市
隴南市禮縣、松原市長(zhǎng)嶺縣、三明市泰寧縣、雞西市恒山區(qū)、營(yíng)口市大石橋市
廣西河池市都安瑤族自治縣、南陽(yáng)市南召縣、銅陵市義安區(qū)、廣西河池市東蘭縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、西安市未央?yún)^(qū)、駐馬店市驛城區(qū)、白沙黎族自治縣南開(kāi)鄉(xiāng)
許昌市禹州市、遼源市東豐縣、咸寧市赤壁市、淮南市八公山區(qū)、酒泉市金塔縣、銅仁市思南縣、三門(mén)峽市陜州區(qū)
南陽(yáng)市唐河縣、開(kāi)封市祥符區(qū)、畢節(jié)市大方縣、安慶市望江縣、揚(yáng)州市寶應(yīng)縣
咸陽(yáng)市興平市、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、昆明市宜良縣、哈爾濱市依蘭縣、廈門(mén)市同安區(qū)、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、亳州市蒙城縣、潮州市饒平縣
溫州市瑞安市、紅河元陽(yáng)縣、慶陽(yáng)市西峰區(qū)、淄博市沂源縣、黔南平塘縣、玉溪市峨山彝族自治縣、紅河開(kāi)遠(yuǎn)市
黃南同仁市、汕頭市金平區(qū)、紹興市越城區(qū)、滁州市瑯琊區(qū)、紅河個(gè)舊市、黔南甕安縣、馬鞍山市和縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)
廣西崇左市江州區(qū)、保亭黎族苗族自治縣什玲、東方市新龍鎮(zhèn)、青島市萊西市、平?jīng)鍪徐o寧縣、綿陽(yáng)市平武縣、甘南瑪曲縣、長(zhǎng)春市榆樹(shù)市、佳木斯市樺南縣
黃石市西塞山區(qū)、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、韶關(guān)市曲江區(qū)、哈爾濱市松北區(qū)、濟(jì)寧市梁山縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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