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雅安市名山區(qū)、遵義市余慶縣、楚雄牟定縣、湘西州吉首市、漢中市佛坪縣、伊春市伊美區(qū)
定安縣富文鎮(zhèn)、延安市子長市、許昌市長葛市、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、池州市青陽縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、綏化市明水縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)
紅河瀘西縣、三亞市海棠區(qū)、溫州市洞頭區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、衢州市常山縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、涼山德昌縣、南昌市西湖區(qū)
東莞市東城街道、成都市彭州市、鹽城市大豐區(qū)、昆明市晉寧區(qū)、瀘州市瀘縣、本溪市平山區(qū)
綏化市海倫市、黑河市孫吳縣、福州市長樂區(qū)、三門峽市澠池縣、馬鞍山市和縣
本溪市溪湖區(qū)、張家界市永定區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)、榆林市榆陽區(qū)、寧夏吳忠市利通區(qū)、寧德市柘榮縣
眉山市洪雅縣、臨滄市永德縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、北京市順義區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、營口市大石橋市、黔東南麻江縣、東莞市莞城街道、楚雄元謀縣
恩施州巴東縣、朔州市山陰縣、本溪市溪湖區(qū)、贛州市安遠(yuǎn)縣、樂山市夾江縣、丹東市東港市、三亞市海棠區(qū)、昭通市巧家縣
岳陽市云溪區(qū)、重慶市南川區(qū)、廣安市廣安區(qū)、東莞市莞城街道、海南貴德縣、五指山市通什、大同市云州區(qū)、深圳市寶安區(qū)、張掖市高臺縣
信陽市息縣、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、廣西來賓市象州縣、鎮(zhèn)江市丹陽市、株洲市醴陵市、海西蒙古族都蘭縣、銅川市印臺區(qū)、廣西崇左市寧明縣、遵義市仁懷市
蘇州市常熟市、咸陽市禮泉縣、資陽市樂至縣、臨沂市平邑縣、中山市西區(qū)街道、湘西州永順縣、煙臺市福山區(qū)、四平市梨樹縣、十堰市竹山縣
廣西柳州市融水苗族自治縣、三門峽市義馬市、遵義市赤水市、衡陽市蒸湘區(qū)、泰州市海陵區(qū)、文昌市抱羅鎮(zhèn)、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、周口市項(xiàng)城市、臨高縣加來鎮(zhèn)
聊城市臨清市、沈陽市鐵西區(qū)、平頂山市郟縣、本溪市南芬區(qū)、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、瓊海市長坡鎮(zhèn)
洛陽市澗西區(qū)、上海市青浦區(qū)、海南同德縣、威海市榮成市、攀枝花市西區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
晉城市沁水縣、池州市貴池區(qū)、長沙市雨花區(qū)、天津市紅橋區(qū)、大連市瓦房店市
荊州市監(jiān)利市、遼陽市遼陽縣、宣城市郎溪縣、廣安市廣安區(qū)、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、重慶市石柱土家族自治縣
濟(jì)南市章丘區(qū)、中山市神灣鎮(zhèn)、周口市沈丘縣、定西市通渭縣、蘭州市紅古區(qū)、蘇州市吳江區(qū)、廈門市海滄區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市
太原市萬柏林區(qū)、廈門市思明區(qū)、溫州市文成縣、海西蒙古族格爾木市、黃石市黃石港區(qū)、撫州市樂安縣、延安市甘泉縣、眉山市洪雅縣、晉城市城區(qū)
開封市杞縣、雙鴨山市四方臺區(qū)、咸陽市楊陵區(qū)、寧夏固原市隆德縣、長春市二道區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、臨汾市洪洞縣
荊州市石首市、廣安市前鋒區(qū)、伊春市大箐山縣、上饒市廣豐區(qū)、洛陽市西工區(qū)、黔西南興義市、保山市騰沖市、朔州市山陰縣
甘孜白玉縣、大理鶴慶縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、宜昌市秭歸縣、齊齊哈爾市拜泉縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、成都市雙流區(qū)、泉州市南安市
臺州市玉環(huán)市、北京市豐臺區(qū)、上海市奉賢區(qū)、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、營口市站前區(qū)、達(dá)州市渠縣、廣西貴港市港南區(qū)、懷化市通道侗族自治縣、七臺河市勃利縣
吉安市峽江縣、信陽市新縣、黔南甕安縣、撫州市廣昌縣、齊齊哈爾市訥河市、齊齊哈爾市依安縣、重慶市長壽區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、淄博市張店區(qū)、焦作市武陟縣
中山市大涌鎮(zhèn)、萬寧市北大鎮(zhèn)、廣西河池市都安瑤族自治縣、廣西崇左市大新縣、鐵嶺市鐵嶺縣、連云港市灌南縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、忻州市寧武縣、隴南市宕昌縣、紅河蒙自市
淮安市淮陰區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、楚雄姚安縣、撫州市金溪縣、榆林市定邊縣、晉中市祁縣、襄陽市?？悼h、黔南龍里縣、深圳市福田區(qū)
中山市三角鎮(zhèn)、鶴崗市南山區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)、菏澤市鄆城縣、洛陽市欒川縣、寧德市周寧縣、朔州市平魯區(qū)、臨汾市大寧縣
安陽市滑縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、泰安市泰山區(qū)、伊春市金林區(qū)、延安市子長市、威海市環(huán)翠區(qū)、涼山甘洛縣、延邊和龍市、呂梁市中陽縣、廣西貴港市桂平市
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襄陽市?？悼h、太原市婁煩縣、廣元市朝天區(qū)、大慶市紅崗區(qū)、臨夏永靖縣
海南貴德縣、洛陽市瀍河回族區(qū)、儋州市王五鎮(zhèn)、遂寧市射洪市、昆明市西山區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、寧夏固原市隆德縣、滁州市定遠(yuǎn)縣、梅州市梅縣區(qū)
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定安縣定城鎮(zhèn)、杭州市富陽區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、黃石市西塞山區(qū)、陽泉市郊區(qū)、萬寧市大茂鎮(zhèn)、長治市黎城縣、寧德市壽寧縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、洛陽市孟津區(qū)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、宜賓市翠屏區(qū)、玉溪市通?？h、廣西百色市右江區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、三亞市天涯區(qū)、安康市鎮(zhèn)坪縣
吉林市磐石市、永州市新田縣、龍巖市武平縣、杭州市拱墅區(qū)、寧波市海曙區(qū)、南京市江寧區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、淮北市杜集區(qū)
安康市石泉縣、廣西防城港市上思縣、七臺河市勃利縣、東莞市東城街道、贛州市于都縣、商丘市虞城縣
洛陽市伊川縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、東方市感城鎮(zhèn)、隴南市宕昌縣、郴州市桂陽縣、惠州市惠東縣、海西蒙古族格爾木市、萬寧市后安鎮(zhèn)
忻州市定襄縣、上饒市萬年縣、遵義市仁懷市、武漢市硚口區(qū)、忻州市保德縣、大同市靈丘縣
南平市武夷山市、廣州市白云區(qū)、莆田市涵江區(qū)、長沙市望城區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、黔東南麻江縣
贛州市瑞金市、寧波市海曙區(qū)、深圳市南山區(qū)、廣西南寧市良慶區(qū)、信陽市潢川縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、長春市綠園區(qū)、隴南市徽縣、銅仁市玉屏侗族自治縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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