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上饒市廣信區(qū)、聊城市東昌府區(qū)、南京市棲霞區(qū)、開封市祥符區(qū)、湛江市坡頭區(qū)、南陽市社旗縣、德陽市羅江區(qū)、臺(tái)州市椒江區(qū)、儋州市白馬井鎮(zhèn)、黔南平塘縣
哈爾濱市木蘭縣、延邊汪清縣、寧夏石嘴山市平羅縣、吉安市峽江縣、廣西柳州市柳北區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、玉溪市華寧縣、泉州市惠安縣
定西市通渭縣、五指山市水滿、吉安市泰和縣、渭南市臨渭區(qū)、楚雄永仁縣
阜陽市潁東區(qū)、撫州市宜黃縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、晉中市榆次區(qū)、南陽市淅川縣、海南共和縣、泉州市晉江市
太原市婁煩縣、麗水市蓮都區(qū)、臨夏康樂縣、商丘市睢陽區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、南昌市新建區(qū)、定安縣嶺口鎮(zhèn)
大慶市龍鳳區(qū)、肇慶市高要區(qū)、黔西南冊(cè)亨縣、太原市陽曲縣、平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗
湖州市吳興區(qū)、南京市雨花臺(tái)區(qū)、吉安市永新縣、紅河瀘西縣、河源市源城區(qū)、無錫市濱湖區(qū)、寧波市慈溪市、岳陽市岳陽樓區(qū)
本溪市明山區(qū)、宜昌市宜都市、上海市寶山區(qū)、荊州市洪湖市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、葫蘆島市興城市
德州市武城縣、呂梁市興縣、呂梁市離石區(qū)、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、渭南市合陽縣、佳木斯市郊區(qū)、懷化市沅陵縣、韶關(guān)市仁化縣、佛山市禪城區(qū)
寧夏銀川市興慶區(qū)、西雙版納勐海縣、玉溪市澄江市、連云港市連云區(qū)、鄭州市管城回族區(qū)、內(nèi)江市東興區(qū)、長春市二道區(qū)、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、寧德市福鼎市
佳木斯市前進(jìn)區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、白城市洮南市、佛山市順德區(qū)、寧夏固原市西吉縣、銅仁市德江縣、紹興市新昌縣、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、黃岡市紅安縣、眉山市東坡區(qū)
汕頭市龍湖區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、東莞市企石鎮(zhèn)、銅陵市義安區(qū)、漯河市臨潁縣、東營市利津縣、紹興市嵊州市
許昌市魏都區(qū)、金華市磐安縣、商丘市寧陵縣、平?jīng)鍪袥艽h、宜賓市翠屏區(qū)
運(yùn)城市聞喜縣、茂名市信宜市、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、江門市江海區(qū)、遵義市匯川區(qū)、廣安市前鋒區(qū)、南平市松溪縣、聊城市高唐縣、巴中市恩陽區(qū)
南京市棲霞區(qū)、合肥市廬陽區(qū)、南昌市灣里區(qū)、湛江市坡頭區(qū)、贛州市定南縣、龍巖市連城縣、菏澤市成武縣、黃岡市英山縣
貴陽市開陽縣、焦作市馬村區(qū)、恩施州建始縣、晉中市和順縣、韶關(guān)市曲江區(qū)
贛州市興國縣、麗水市慶元縣、韶關(guān)市仁化縣、蘭州市七里河區(qū)、黃南河南蒙古族自治縣、晉中市平遙縣、黔東南黃平縣、孝感市安陸市、滁州市明光市、清遠(yuǎn)市佛岡縣
內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、新余市渝水區(qū)、平頂山市新華區(qū)、合肥市肥東縣、重慶市渝北區(qū)、南通市如皋市
達(dá)州市通川區(qū)、廣西南寧市江南區(qū)、寧夏固原市涇源縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、鶴崗市蘿北縣、綿陽市北川羌族自治縣、廣州市白云區(qū)、澄邁縣老城鎮(zhèn)
濟(jì)寧市梁山縣、臨高縣博厚鎮(zhèn)、武漢市漢陽區(qū)、揭陽市惠來縣、臨汾市曲沃縣
丹東市振興區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、通化市通化縣、宿遷市泗洪縣、瓊海市陽江鎮(zhèn)、濱州市沾化區(qū)、運(yùn)城市新絳縣、遼陽市燈塔市、開封市龍亭區(qū)
廣西崇左市扶綏縣、淮北市濉溪縣、惠州市惠東縣、福州市平潭縣、東方市大田鎮(zhèn)、西安市周至縣、定安縣龍河鎮(zhèn)、咸陽市彬州市、楚雄南華縣、溫州市泰順縣
宜賓市敘州區(qū)、龍巖市上杭縣、文昌市潭牛鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市句容市、綏化市北林區(qū)、銅仁市碧江區(qū)
吉林市磐石市、黔南獨(dú)山縣、懷化市通道侗族自治縣、中山市南頭鎮(zhèn)、南京市六合區(qū)、錦州市北鎮(zhèn)市、平頂山市葉縣、泉州市永春縣、臨汾市霍州市
雞西市滴道區(qū)、廣西南寧市良慶區(qū)、通化市集安市、泰州市高港區(qū)、本溪市南芬區(qū)、廣西百色市德?？h、金華市永康市、合肥市廬江縣、海西蒙古族烏蘭縣
遼陽市太子河區(qū)、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、西安市長安區(qū)、三明市明溪縣、泉州市惠安縣、徐州市云龍區(qū)、榆林市清澗縣、焦作市修武縣、寶雞市眉縣、金華市金東區(qū)
運(yùn)城市垣曲縣、河源市龍川縣、泉州市鯉城區(qū)、黔東南錦屏縣、營口市西市區(qū)、鞍山市海城市、廣安市武勝縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣
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甘孜新龍縣、滁州市來安縣、雙鴨山市嶺東區(qū)、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、雞西市滴道區(qū)、廣州市白云區(qū)、阜陽市太和縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、鷹潭市貴溪市、廣西百色市德保縣
漯河市舞陽縣、長治市潞州區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)、廣西欽州市欽北區(qū)、恩施州恩施市
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上海市青浦區(qū)、梅州市興寧市、鶴壁市淇濱區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、隴南市徽縣、貴陽市開陽縣、淄博市沂源縣、麗江市玉龍納西族自治縣
濟(jì)南市商河縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、綏化市慶安縣、肇慶市四會(huì)市、淄博市張店區(qū)、廣西玉林市北流市、沈陽市康平縣、濮陽市南樂縣、洛陽市西工區(qū)
常德市武陵區(qū)、遵義市習(xí)水縣、開封市通許縣、咸陽市興平市、眉山市仁壽縣
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珠海市斗門區(qū)、杭州市江干區(qū)、資陽市安岳縣、成都市新津區(qū)、煙臺(tái)市棲霞市、溫州市鹿城區(qū)、直轄縣天門市、嘉興市秀洲區(qū)、濱州市無棣縣
臺(tái)州市三門縣、紅河河口瑤族自治縣、深圳市龍華區(qū)、上海市虹口區(qū)、滁州市天長市
廣西來賓市武宣縣、臨高縣加來鎮(zhèn)、廣安市廣安區(qū)、杭州市余杭區(qū)、陽江市陽東區(qū)、孝感市孝昌縣、蕪湖市南陵縣、青島市市北區(qū)、廣元市朝天區(qū)
銅川市宜君縣、渭南市富平縣、臨汾市吉縣、南昌市青云譜區(qū)、常德市石門縣、巴中市南江縣、阜陽市潁泉區(qū)、麗水市慶元縣、常德市安鄉(xiāng)縣、三明市寧化縣
宜昌市遠(yuǎn)安縣、昭通市威信縣、撫順市東洲區(qū)、福州市平潭縣、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、廣安市鄰水縣、淄博市沂源縣
邵陽市隆回縣、長春市南關(guān)區(qū)、海口市美蘭區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、中山市東區(qū)街道、張家界市武陵源區(qū)
南陽市社旗縣、西雙版納景洪市、寶雞市岐山縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、黔南荔波縣、大理南澗彝族自治縣
長沙市開福區(qū)、長沙市雨花區(qū)、遵義市赤水市、丹東市振興區(qū)、齊齊哈爾市建華區(qū)、澄邁縣福山鎮(zhèn)、黔南獨(dú)山縣、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、丹東市元寶區(qū)、孝感市云夢(mèng)縣
白山市長白朝鮮族自治縣、內(nèi)江市東興區(qū)、攀枝花市鹽邊縣、南昌市青云譜區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、遼陽市白塔區(qū)、東方市東河鎮(zhèn)
長沙市長沙縣、怒江傈僳族自治州福貢縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、黃石市黃石港區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、中山市港口鎮(zhèn)、平頂山市汝州市、長沙市岳麓區(qū)、溫州市平陽縣
駐馬店市驛城區(qū)、中山市中山港街道、宜昌市宜都市、東方市三家鎮(zhèn)、深圳市坪山區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、鄭州市上街區(qū)
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六盤水市盤州市、日照市莒縣、黃山市祁門縣、岳陽市湘陰縣、撫州市崇仁縣
廣西桂林市荔浦市、上海市靜安區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、紅河彌勒市、蘇州市常熟市、渭南市韓城市、汕頭市潮南區(qū)
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商丘市睢縣、黔東南錦屏縣、蚌埠市五河縣、駐馬店市西平縣、襄陽市棗陽市
大興安嶺地區(qū)漠河市、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、聊城市莘縣、茂名市信宜市、池州市青陽縣、日照市東港區(qū)、廣西防城港市港口區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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