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東莞市南城街道、運(yùn)城市新絳縣、雞西市雞冠區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、甘孜石渠縣、臨汾市堯都區(qū)、廣西防城港市東興市、黔南都勻市
甘南碌曲縣、鶴壁市鶴山區(qū)、臨汾市安澤縣、阜陽(yáng)市阜南縣、許昌市建安區(qū)、天水市張家川回族自治縣、吉林市船營(yíng)區(qū)、銅川市耀州區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、廣州市天河區(qū)
邵陽(yáng)市雙清區(qū)、南京市秦淮區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、北京市東城區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗
溫州市洞頭區(qū)、蘇州市虎丘區(qū)、衡陽(yáng)市常寧市、成都市武侯區(qū)、鄂州市華容區(qū)
甘孜巴塘縣、廣州市越秀區(qū)、松原市寧江區(qū)、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、南充市順慶區(qū)、商洛市商州區(qū)、渭南市白水縣、文山廣南縣
撫州市資溪縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、溫州市洞頭區(qū)、廣西北海市海城區(qū)
大連市甘井子區(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、廣西防城港市上思縣、黔南獨(dú)山縣、威海市文登區(qū)
六盤水市水城區(qū)、黔南惠水縣、臨沂市平邑縣、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市德惠市、南充市順慶區(qū)、巴中市南江縣
漢中市城固縣、贛州市龍南市、吉林市船營(yíng)區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、運(yùn)城市河津市、廣西桂林市靈川縣、重慶市合川區(qū)、濟(jì)寧市微山縣、延安市志丹縣、蕪湖市南陵縣
臨沂市平邑縣、廣西崇左市江州區(qū)、福州市羅源縣、盤錦市盤山縣、濟(jì)寧市泗水縣、五指山市番陽(yáng)
景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、昭通市綏江縣、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、寧波市余姚市、信陽(yáng)市固始縣、西寧市大通回族土族自治縣
東莞市莞城街道、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、廣西河池市天峨縣、太原市晉源區(qū)、遵義市湄潭縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、東莞市道滘鎮(zhèn)、徐州市豐縣、黃南同仁市
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、南平市武夷山市、福州市臺(tái)江區(qū)、寧德市屏南縣、棗莊市市中區(qū)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、安陽(yáng)市湯陰縣、延邊琿春市、廣安市廣安區(qū)
懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣、黔東南臺(tái)江縣、廣西崇左市天等縣、南京市雨花臺(tái)區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、甘孜道孚縣、泰州市靖江市
上海市青浦區(qū)、梅州市興寧市、鶴壁市淇濱區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、隴南市徽縣、貴陽(yáng)市開陽(yáng)縣、淄博市沂源縣、麗江市玉龍納西族自治縣
伊春市嘉蔭縣、葫蘆島市綏中縣、酒泉市金塔縣、聊城市冠縣、廣西貴港市覃塘區(qū)、臺(tái)州市黃巖區(qū)、孝感市孝南區(qū)、安陽(yáng)市龍安區(qū)、資陽(yáng)市安岳縣
瓊海市石壁鎮(zhèn)、海西蒙古族格爾木市、清遠(yuǎn)市佛岡縣、湖州市德清縣、遼陽(yáng)市燈塔市、丹東市寬甸滿族自治縣、中山市大涌鎮(zhèn)、儋州市白馬井鎮(zhèn)
涼山金陽(yáng)縣、東方市天安鄉(xiāng)、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、杭州市上城區(qū)、廣西北海市銀海區(qū)、東莞市塘廈鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、重慶市綦江區(qū)、四平市鐵東區(qū)、德州市武城縣、阜新市細(xì)河區(qū)、天津市河西區(qū)、海南興?？h、樂(lè)山市峨眉山市
文山麻栗坡縣、南陽(yáng)市方城縣、廣西北海市銀海區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、上饒市廣豐區(qū)、荊門市鐘祥市、定安縣龍湖鎮(zhèn)、宣城市績(jī)溪縣
吉林市舒蘭市、東莞市中堂鎮(zhèn)、宜春市袁州區(qū)、株洲市淥口區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、寧德市屏南縣、鄭州市管城回族區(qū)
廣西百色市那坡縣、常德市津市市、臨高縣新盈鎮(zhèn)、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、鄭州市上街區(qū)、白銀市會(huì)寧縣、廣西貴港市平南縣
撫順市望花區(qū)、廣西賀州市平桂區(qū)、黔南惠水縣、南平市建甌市、湘西州龍山縣、洛陽(yáng)市伊川縣、延安市寶塔區(qū)、哈爾濱市通河縣、哈爾濱市香坊區(qū)、果洛瑪多縣
本溪市本溪滿族自治縣、通化市輝南縣、成都市蒲江縣、酒泉市玉門市、臨汾市堯都區(qū)、三亞市吉陽(yáng)區(qū)
寶雞市岐山縣、平?jīng)鍪谐缧趴h、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)、天水市麥積區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、六盤水市水城區(qū)、臨夏廣河縣
荊州市沙市區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、吉安市萬(wàn)安縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、濟(jì)南市歷下區(qū)、昭通市水富市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、隨州市隨縣、常德市鼎城區(qū)
伊春市伊美區(qū)、許昌市襄城縣、哈爾濱市延壽縣、舟山市定海區(qū)、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)
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玉樹雜多縣、濟(jì)南市市中區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市、通化市二道江區(qū)、湖州市德清縣、寧德市霞浦縣
洛陽(yáng)市洛寧縣、咸寧市嘉魚縣、齊齊哈爾市依安縣、文昌市重興鎮(zhèn)、鄭州市新鄭市、西寧市城西區(qū)、泉州市洛江區(qū)、晉城市澤州縣、大理洱源縣
廣西來(lái)賓市忻城縣、文山富寧縣、武威市古浪縣、云浮市云城區(qū)、雞西市雞冠區(qū)、鄂州市華容區(qū)、宜昌市宜都市、延安市延長(zhǎng)縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、駐馬店市泌陽(yáng)縣
玉樹曲麻萊縣、儋州市和慶鎮(zhèn)、黃山市休寧縣、寧夏吳忠市利通區(qū)、銅陵市銅官區(qū)、丹東市振安區(qū)
黔東南臺(tái)江縣、吉林市磐石市、漯河市臨潁縣、長(zhǎng)春市榆樹市、保亭黎族苗族自治縣什玲、涼山甘洛縣、昭通市鎮(zhèn)雄縣、遼源市東遼縣、臨沂市費(fèi)縣、東方市八所鎮(zhèn)
駐馬店市西平縣、大慶市讓胡路區(qū)、忻州市偏關(guān)縣、雞西市麻山區(qū)、忻州市代縣、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、成都市青白江區(qū)、東莞市橋頭鎮(zhèn)
邵陽(yáng)市雙清區(qū)、鞍山市海城市、深圳市鹽田區(qū)、亳州市渦陽(yáng)縣、錦州市太和區(qū)、沈陽(yáng)市大東區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)、文山富寧縣、重慶市墊江縣、臨滄市云縣
東方市八所鎮(zhèn)、鄭州市新密市、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、廣西崇左市大新縣、伊春市金林區(qū)、忻州市神池縣、怒江傈僳族自治州福貢縣、北京市海淀區(qū)
哈爾濱市五常市、七臺(tái)河市新興區(qū)、廣西南寧市良慶區(qū)、臨夏康樂(lè)縣、吉林市磐石市
池州市青陽(yáng)縣、廣西桂林市全州縣、杭州市上城區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、岳陽(yáng)市云溪區(qū)、齊齊哈爾市建華區(qū)、濰坊市安丘市、大理劍川縣、隨州市隨縣、佛山市順德區(qū)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、牡丹江市穆棱市、平?jīng)鍪谐缧趴h、信陽(yáng)市平橋區(qū)、十堰市竹溪縣、揭陽(yáng)市普寧市、贛州市南康區(qū)
白銀市平川區(qū)、雅安市雨城區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、白山市江源區(qū)、文山文山市、鷹潭市貴溪市、玉溪市華寧縣、綏化市望奎縣、綿陽(yáng)市梓潼縣、綏化市海倫市
太原市古交市、雅安市天全縣、安慶市太湖縣、呂梁市離石區(qū)、廣西桂林市灌陽(yáng)縣、西安市碑林區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)
亳州市渦陽(yáng)縣、廣安市岳池縣、廣州市荔灣區(qū)、綏化市北林區(qū)、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、安康市漢陰縣、晉中市介休市
黃山市黃山區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、臨夏臨夏縣、荊門市京山市、九江市廬山市、營(yíng)口市老邊區(qū)、遵義市正安縣、宜賓市高縣
南陽(yáng)市社旗縣、西雙版納景洪市、寶雞市岐山縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、黔南荔波縣、大理南澗彝族自治縣
大理祥云縣、馬鞍山市花山區(qū)、黔東南臺(tái)江縣、延安市黃龍縣、吉林市船營(yíng)區(qū)
鄭州市新鄭市、咸陽(yáng)市楊陵區(qū)、南平市松溪縣、長(zhǎng)春市德惠市、寧夏固原市涇源縣、葫蘆島市綏中縣、商丘市永城市、濟(jì)南市歷下區(qū)、寧波市寧海縣、咸陽(yáng)市禮泉縣
湘潭市雨湖區(qū)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、宣城市宣州區(qū)、晉城市城區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、洛陽(yáng)市欒川縣、楚雄雙柏縣
上海市青浦區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、平頂山市郟縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、銅陵市銅官區(qū)、丹東市元寶區(qū)、牡丹江市東安區(qū)
宣城市宣州區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、鶴崗市東山區(qū)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市新邵縣、遼源市東遼縣、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)
丹東市振安區(qū)、南京市六合區(qū)、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、廣西玉林市玉州區(qū)、焦作市武陟縣、珠海市金灣區(qū)、上饒市廣豐區(qū)、樂(lè)山市井研縣
臨夏臨夏市、清遠(yuǎn)市佛岡縣、安陽(yáng)市滑縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、武威市涼州區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣
普洱市景谷傣族彝族自治縣、廣西北海市海城區(qū)、甘孜九龍縣、襄陽(yáng)市?？悼h、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣、三明市永安市
龍巖市武平縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、上饒市鄱陽(yáng)縣、廣西桂林市永?？h、廣西南寧市邕寧區(qū)、懷化市芷江侗族自治縣、南平市順昌縣、牡丹江市林口縣
常德市澧縣、溫州市鹿城區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、吉林市磐石市、株洲市攸縣、馬鞍山市雨山區(qū)、遵義市赤水市、榆林市定邊縣、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、武威市民勤縣
武威市涼州區(qū)、東莞市東坑鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市阜南縣、淮安市淮陰區(qū)、隴南市兩當(dāng)縣、撫州市南豐縣、麗江市玉龍納西族自治縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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