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內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、贛州市崇義縣、玉溪市通海縣、莆田市城廂區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、焦作市溫縣、內(nèi)江市資中縣、徐州市豐縣、常德市安鄉(xiāng)縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)
平頂山市魯山縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、呂梁市交口縣、齊齊哈爾市甘南縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、甘南合作市、湘西州古丈縣、南昌市進(jìn)賢縣、廣州市越秀區(qū)
慶陽(yáng)市合水縣、定西市臨洮縣、廣安市岳池縣、大理祥云縣、開(kāi)封市順河回族區(qū)、白銀市白銀區(qū)
宿州市泗縣、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、廣西貴港市桂平市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、儋州市大成鎮(zhèn)、聊城市莘縣
鶴崗市蘿北縣、平頂山市葉縣、寧夏固原市彭陽(yáng)縣、臨滄市臨翔區(qū)、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、南通市啟東市
淮北市相山區(qū)、榆林市佳縣、南充市嘉陵區(qū)、武漢市武昌區(qū)、商丘市睢縣、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、呂梁市交口縣
常德市臨澧縣、恩施州咸豐縣、連云港市連云區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、廣西崇左市天等縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、杭州市上城區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)
黃山市屯溪區(qū)、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)、嘉興市秀洲區(qū)、荊州市松滋市、宜昌市遠(yuǎn)安縣
屯昌縣楓木鎮(zhèn)、云浮市云安區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、平頂山市湛河區(qū)、營(yíng)口市站前區(qū)、廣西桂林市靈川縣
廣州市番禺區(qū)、雙鴨山市饒河縣、寶雞市眉縣、阜新市清河門(mén)區(qū)、昆明市嵩明縣、南陽(yáng)市淅川縣、臨汾市蒲縣
廣西桂林市疊彩區(qū)、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣、溫州市龍港市、東莞市沙田鎮(zhèn)、北京市平谷區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、廣西梧州市蒙山縣、黔東南施秉縣、榆林市橫山區(qū)
連云港市東海縣、雞西市密山市、許昌市魏都區(qū)、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、白銀市白銀區(qū)、廣西崇左市龍州縣、張家界市永定區(qū)
大理云龍縣、棗莊市滕州市、呂梁市方山縣、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、呂梁市交口縣、貴陽(yáng)市白云區(qū)
廣西北海市鐵山港區(qū)、大理劍川縣、開(kāi)封市蘭考縣、廣州市海珠區(qū)、文昌市東路鎮(zhèn)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、大慶市大同區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、酒泉市金塔縣
廣元市朝天區(qū)、安慶市宜秀區(qū)、黔南獨(dú)山縣、臨汾市隰縣、銅川市宜君縣、淄博市淄川區(qū)
棗莊市山亭區(qū)、黃岡市羅田縣、南陽(yáng)市新野縣、吉安市吉安縣、龍巖市新羅區(qū)、大同市平城區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣
恩施州來(lái)鳳縣、武漢市洪山區(qū)、綿陽(yáng)市平武縣、溫州市泰順縣、郴州市汝城縣、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、新余市渝水區(qū)、深圳市福田區(qū)
無(wú)錫市錫山區(qū)、沈陽(yáng)市于洪區(qū)、岳陽(yáng)市平江縣、駐馬店市確山縣、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣、福州市永泰縣、天津市南開(kāi)區(qū)
東莞市石龍鎮(zhèn)、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、蘇州市太倉(cāng)市、張掖市民樂(lè)縣、日照市東港區(qū)
臨夏臨夏市、伊春市湯旺縣、濟(jì)南市平陰縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、咸寧市咸安區(qū)、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣
文山丘北縣、臨滄市臨翔區(qū)、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、朔州市朔城區(qū)、眉山市彭山區(qū)
洛陽(yáng)市新安縣、六安市霍山縣、汕尾市海豐縣、晉中市榆社縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、成都市青白江區(qū)
連云港市灌南縣、昆明市宜良縣、通化市梅河口市、伊春市鐵力市、汕尾市海豐縣、葫蘆島市建昌縣、通化市通化縣、商洛市鎮(zhèn)安縣
黔東南錦屏縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市遼中區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、天津市河西區(qū)、南平市松溪縣、南京市溧水區(qū)
寧波市象山縣、曲靖市陸良縣、直轄縣仙桃市、白城市大安市、鄭州市新密市、黃岡市羅田縣
江門(mén)市蓬江區(qū)、襄陽(yáng)市襄城區(qū)、宜賓市珙縣、江門(mén)市開(kāi)平市、德陽(yáng)市中江縣
楚雄牟定縣、周口市鹿邑縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、吉林市舒蘭市、河源市紫金縣、肇慶市鼎湖區(qū)、莆田市仙游縣、福州市永泰縣
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黔南荔波縣、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、樂(lè)山市五通橋區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、遂寧市蓬溪縣、晉城市陵川縣、銅仁市江口縣、寧波市奉化區(qū)
昆明市石林彝族自治縣、廣西南寧市上林縣、泉州市石獅市、東方市四更鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、常德市津市市、榆林市府谷縣、盤(pán)錦市雙臺(tái)子區(qū)、東莞市鳳崗鎮(zhèn)
南昌市西湖區(qū)、榆林市定邊縣、萬(wàn)寧市和樂(lè)鎮(zhèn)、寶雞市岐山縣、大理漾濞彝族自治縣、麗水市松陽(yáng)縣
三沙市西沙區(qū)、榆林市府谷縣、商丘市寧陵縣、廣安市華鎣市、連云港市連云區(qū)
大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、牡丹江市寧安市、撫州市南豐縣、杭州市西湖區(qū)、綏化市青岡縣、廣州市越秀區(qū)、大理大理市、玉溪市紅塔區(qū)
安慶市桐城市、雞西市恒山區(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、開(kāi)封市蘭考縣、宜春市奉新縣、邵陽(yáng)市邵東市、大同市天鎮(zhèn)縣、文山麻栗坡縣
宜昌市五峰土家族自治縣、黃山市歙縣、錦州市北鎮(zhèn)市、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、龍巖市新羅區(qū)、龍巖市武平縣、定西市漳縣
南昌市進(jìn)賢縣、焦作市馬村區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、濱州市惠民縣、九江市共青城市、濮陽(yáng)市清豐縣
襄陽(yáng)市南漳縣、廣西百色市田東縣、儋州市木棠鎮(zhèn)、宿州市蕭縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、寧夏銀川市靈武市、廣西賀州市平桂區(qū)、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、涼山冕寧縣
惠州市博羅縣、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、文昌市重興鎮(zhèn)、哈爾濱市阿城區(qū)、九江市共青城市、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市綏寧縣
郴州市臨武縣、自貢市沿灘區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、郴州市資興市、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)、衢州市常山縣、常州市武進(jìn)區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市
海東市樂(lè)都區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、合肥市廬江縣、紅河石屏縣、瀘州市納溪區(qū)、天津市東麗區(qū)、撫州市臨川區(qū)
無(wú)錫市新吳區(qū)、臨汾市大寧縣、懷化市溆浦縣、洛陽(yáng)市洛寧縣、海西蒙古族烏蘭縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)
牡丹江市愛(ài)民區(qū)、合肥市蜀山區(qū)、青島市市南區(qū)、廣西欽州市浦北縣、青島市市北區(qū)、朝陽(yáng)市建平縣、重慶市秀山縣
寶雞市千陽(yáng)縣、平頂山市葉縣、攀枝花市仁和區(qū)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、曲靖市沾益區(qū)、駐馬店市確山縣、葫蘆島市建昌縣
萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、南通市如皋市、衡陽(yáng)市衡東縣、天水市麥積區(qū)、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、廣西南寧市青秀區(qū)、涼山鹽源縣
廣安市岳池縣、忻州市保德縣、上饒市德興市、銅仁市印江縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、吉林市豐滿(mǎn)區(qū)、安康市鎮(zhèn)坪縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、南平市武夷山市、福州市臺(tái)江區(qū)、寧德市屏南縣、棗莊市市中區(qū)、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、安陽(yáng)市湯陰縣、延邊琿春市、廣安市廣安區(qū)
濟(jì)南市萊蕪區(qū)、漯河市臨潁縣、九江市潯陽(yáng)區(qū)、文山麻栗坡縣、沈陽(yáng)市渾南區(qū)、曲靖市師宗縣
曲靖市羅平縣、定安縣黃竹鎮(zhèn)、黑河市北安市、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、雅安市天全縣、西安市臨潼區(qū)
文昌市翁田鎮(zhèn)、東莞市萬(wàn)江街道、天津市寶坻區(qū)、廣西桂林市象山區(qū)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、揚(yáng)州市儀征市、梅州市梅江區(qū)
昭通市綏江縣、廣元市劍閣縣、甘南瑪曲縣、漢中市洋縣、重慶市璧山區(qū)、中山市五桂山街道、商丘市虞城縣、焦作市解放區(qū)、長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)
直轄縣天門(mén)市、隨州市曾都區(qū)、儋州市排浦鎮(zhèn)、淮安市淮安區(qū)、黃山市歙縣、廣西梧州市蒙山縣
汕尾市海豐縣、江門(mén)市江海區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)、撫州市崇仁縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、呂梁市柳林縣、天津市紅橋區(qū)、清遠(yuǎn)市連南瑤族自治縣、三亞市吉陽(yáng)區(qū)
昭通市昭陽(yáng)區(qū)、上饒市廣豐區(qū)、文昌市公坡鎮(zhèn)、合肥市包河區(qū)、廣西欽州市欽北區(qū)、寧夏吳忠市利通區(qū)、保山市騰沖市
哈爾濱市阿城區(qū)、廣西南寧市武鳴區(qū)、揚(yáng)州市儀征市、中山市南區(qū)街道、溫州市甌海區(qū)、天水市麥積區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣
蘇州市吳中區(qū)、海西蒙古族格爾木市、呂梁市柳林縣、鹽城市射陽(yáng)縣、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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