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黔南惠水縣、淮北市相山區(qū)、東莞市石排鎮(zhèn)、重慶市江津區(qū)、西安市蓮湖區(qū)
鶴崗市東山區(qū)、晉中市榆社縣、廣元市蒼溪縣、棗莊市滕州市、廣西崇左市扶綏縣、朔州市山陰縣
東莞市沙田鎮(zhèn)、宜春市袁州區(qū)、漯河市郾城區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、沈陽市法庫縣、海東市民和回族土族自治縣、呂梁市中陽縣、濱州市無棣縣
清遠市英德市、鹽城市東臺市、九江市修水縣、銅川市宜君縣、廣西玉林市興業(yè)縣、綏化市綏棱縣、無錫市錫山區(qū)、菏澤市鄆城縣
甘孜康定市、江門市新會區(qū)、邵陽市洞口縣、淮南市田家庵區(qū)、德州市陵城區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、畢節(jié)市金沙縣、汕尾市城區(qū)
瀘州市敘永縣、涼山冕寧縣、西寧市湟中區(qū)、長治市黎城縣、三沙市南沙區(qū)、長沙市天心區(qū)、泰安市肥城市、棗莊市嶧城區(qū)、南昌市青云譜區(qū)
遼源市龍山區(qū)、寧夏固原市隆德縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、上饒市廣信區(qū)、開封市通許縣、通化市梅河口市
郴州市汝城縣、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、保山市隆陽區(qū)、西安市長安區(qū)、雞西市雞東縣、廣西柳州市鹿寨縣
樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、鐵嶺市鐵嶺縣、滁州市定遠縣、三明市建寧縣、韶關(guān)市曲江區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、萬寧市北大鎮(zhèn)、宜昌市秭歸縣、三門峽市義馬市
岳陽市華容縣、商洛市柞水縣、臨沂市沂水縣、大連市金州區(qū)、三門峽市盧氏縣、舟山市定海區(qū)
甘孜得榮縣、通化市東昌區(qū)、蘇州市相城區(qū)、上海市崇明區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)、淄博市淄川區(qū)、宜昌市西陵區(qū)
長治市沁源縣、杭州市蕭山區(qū)、慶陽市合水縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、益陽市資陽區(qū)
昭通市巧家縣、鎮(zhèn)江市揚中市、宣城市郎溪縣、銅仁市印江縣、淄博市張店區(qū)、吉林市豐滿區(qū)、吉安市井岡山市、焦作市沁陽市、金華市義烏市
運城市芮城縣、黃岡市紅安縣、滁州市來安縣、菏澤市成武縣、洛陽市新安縣
晉中市左權(quán)縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、周口市項城市、白城市通榆縣、南充市營山縣、菏澤市鄄城縣、涼山越西縣
武威市天祝藏族自治縣、吉林市豐滿區(qū)、衡陽市衡南縣、德陽市羅江區(qū)、黃岡市浠水縣、清遠市清新區(qū)
雅安市蘆山縣、本溪市平山區(qū)、九江市修水縣、汕尾市城區(qū)、瓊海市會山鎮(zhèn)、佛山市南海區(qū)、三明市大田縣、淮南市壽縣、黃山市屯溪區(qū)、瀘州市合江縣
中山市五桂山街道、東方市東河鎮(zhèn)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、三門峽市澠池縣、泉州市德化縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、清遠市連南瑤族自治縣、臨夏永靖縣
南通市如東縣、遼陽市燈塔市、茂名市電白區(qū)、宣城市寧國市、徐州市賈汪區(qū)、齊齊哈爾市泰來縣、忻州市忻府區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗
廣西河池市大化瑤族自治縣、朝陽市龍城區(qū)、安陽市滑縣、南通市通州區(qū)、撫州市宜黃縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、天水市秦州區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)
廣西南寧市橫州市、樂東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、綿陽市游仙區(qū)、伊春市大箐山縣、黔東南黎平縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)、廣西柳州市融水苗族自治縣、忻州市忻府區(qū)
淮安市洪澤區(qū)、煙臺市萊山區(qū)、紅河蒙自市、衡陽市衡山縣、廣西桂林市雁山區(qū)、開封市順河回族區(qū)、池州市貴池區(qū)、德州市德城區(qū)
樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、漢中市南鄭區(qū)、新余市渝水區(qū)、大連市沙河口區(qū)
南充市南部縣、漢中市留壩縣、平?jīng)鍪星f浪縣、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、九江市修水縣、朝陽市朝陽縣
玉樹玉樹市、樂山市市中區(qū)、遵義市余慶縣、煙臺市牟平區(qū)、鹽城市鹽都區(qū)、寧德市周寧縣、河源市連平縣、安陽市內(nèi)黃縣
湖州市南潯區(qū)、宜賓市敘州區(qū)、太原市婁煩縣、溫州市鹿城區(qū)、渭南市蒲城縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)
泉州市晉江市、溫州市平陽縣、廣西北海市合浦縣、雅安市名山區(qū)、樂山市夾江縣、駐馬店市確山縣、廣西百色市田陽區(qū)、中山市南頭鎮(zhèn)、葫蘆島市綏中縣
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海北海晏縣、長沙市岳麓區(qū)、五指山市毛道、廣州市越秀區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、駐馬店市上蔡縣、東莞市沙田鎮(zhèn)、安順市西秀區(qū)、楚雄元謀縣、岳陽市岳陽樓區(qū)
溫州市龍灣區(qū)、常德市鼎城區(qū)、成都市金牛區(qū)、廣西南寧市青秀區(qū)、襄陽市襄城區(qū)
牡丹江市穆棱市、常德市鼎城區(qū)、定西市臨洮縣、松原市扶余市、鹽城市響水縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、黔南羅甸縣、大慶市讓胡路區(qū)、馬鞍山市當涂縣、廣西賀州市鐘山縣
海南貴德縣、南平市浦城縣、佳木斯市郊區(qū)、臨滄市永德縣、呂梁市文水縣、東莞市厚街鎮(zhèn)
廣西防城港市港口區(qū)、咸寧市嘉魚縣、宣城市郎溪縣、廣西桂林市靈川縣、梅州市梅縣區(qū)、朝陽市龍城區(qū)
武漢市東西湖區(qū)、重慶市開州區(qū)、延安市富縣、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、運城市夏縣
內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、商洛市洛南縣、白銀市景泰縣、太原市晉源區(qū)、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
鐵嶺市清河區(qū)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、宿州市埇橋區(qū)、渭南市大荔縣、吉安市泰和縣、重慶市酉陽縣、中山市南頭鎮(zhèn)、廣西百色市凌云縣、常德市武陵區(qū)、玉溪市通?？h
寶雞市太白縣、廣西梧州市萬秀區(qū)、廣西柳州市柳城縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、廣西崇左市天等縣、鐵嶺市清河區(qū)、朝陽市朝陽縣、撫州市金溪縣
宿遷市泗陽縣、廣西來賓市合山市、延安市延長縣、上海市崇明區(qū)、天水市甘谷縣
撫州市宜黃縣、廣西梧州市龍圩區(qū)、直轄縣天門市、雅安市寶興縣、衡陽市衡南縣、天水市清水縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)
麗江市永勝縣、臨滄市滄源佤族自治縣、臨夏廣河縣、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、蘭州市永登縣、孝感市安陸市、濮陽市范縣、果洛甘德縣、海東市平安區(qū)、焦作市修武縣
德陽市什邡市、定西市臨洮縣、長沙市望城區(qū)、天津市紅橋區(qū)、馬鞍山市當涂縣
棗莊市市中區(qū)、咸陽市乾縣、德陽市什邡市、重慶市江津區(qū)、資陽市樂至縣、天津市濱海新區(qū)
張家界市桑植縣、商洛市洛南縣、黔西南望謨縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、宣城市旌德縣
淄博市高青縣、海西蒙古族烏蘭縣、廣安市華鎣市、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、淮南市鳳臺縣、重慶市長壽區(qū)、河源市東源縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、雅安市雨城區(qū)
蚌埠市固鎮(zhèn)縣、懷化市會同縣、河源市源城區(qū)、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、廣西南寧市邕寧區(qū)
安康市漢陰縣、重慶市南川區(qū)、綿陽市安州區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準格爾旗、南昌市西湖區(qū)、哈爾濱市尚志市
南充市營山縣、東莞市石排鎮(zhèn)、重慶市城口縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)、孝感市漢川市、遼源市龍山區(qū)、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、衡陽市衡山縣
東莞市常平鎮(zhèn)、張掖市臨澤縣、海西蒙古族茫崖市、通化市柳河縣、曲靖市宣威市、西雙版納景洪市、盤錦市雙臺子區(qū)、重慶市酉陽縣、吉林市樺甸市、畢節(jié)市金沙縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、定西市漳縣、泉州市豐澤區(qū)、葫蘆島市建昌縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、廣西柳州市魚峰區(qū)、永州市道縣、安康市嵐皋縣、慶陽市慶城縣
岳陽市平江縣、樂山市市中區(qū)、濟南市歷城區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、湘潭市湘潭縣、滁州市全椒縣、江門市開平市、廣西來賓市合山市、寶雞市眉縣
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、眉山市彭山區(qū)、郴州市資興市、涼山雷波縣、東營市河口區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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