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重慶市九龍坡區(qū)、天津市武清區(qū)、隴南市兩當(dāng)縣、淄博市高青縣、雞西市雞冠區(qū)
咸陽市旬邑縣、黃石市西塞山區(qū)、通化市集安市、日照市莒縣、昭通市彝良縣、文昌市東路鎮(zhèn)、漢中市略陽縣、哈爾濱市道里區(qū)、宜春市高安市、廣西柳州市魚峰區(qū)
新鄉(xiāng)市獲嘉縣、廣西桂林市荔浦市、自貢市榮縣、廣西柳州市柳北區(qū)、本溪市明山區(qū)、漳州市龍文區(qū)、安陽市北關(guān)區(qū)、文昌市馮坡鎮(zhèn)
金華市永康市、紅河彌勒市、七臺河市茄子河區(qū)、萬寧市南橋鎮(zhèn)、玉樹稱多縣
本溪市本溪滿族自治縣、自貢市大安區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、徐州市銅山區(qū)、自貢市自流井區(qū)、鹽城市阜寧縣、遵義市桐梓縣
大理云龍縣、長沙市瀏陽市、攀枝花市西區(qū)、煙臺市福山區(qū)、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)
永州市江永縣、中山市東鳳鎮(zhèn)、德陽市羅江區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、黔南貴定縣、廣西玉林市福綿區(qū)、安康市寧陜縣
鄭州市金水區(qū)、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、河源市和平縣、文山廣南縣、孝感市應(yīng)城市、廣西貴港市桂平市、廣西賀州市昭平縣、鄭州市上街區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)
焦作市孟州市、臨沂市蘭山區(qū)、資陽市樂至縣、廣州市天河區(qū)、上海市靜安區(qū)
萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、贛州市贛縣區(qū)、濰坊市寒亭區(qū)、許昌市長葛市、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、大慶市薩爾圖區(qū)
廣西河池市南丹縣、鶴崗市綏濱縣、成都市都江堰市、揭陽市揭東區(qū)、永州市藍(lán)山縣、張掖市甘州區(qū)、平頂山市葉縣、北京市順義區(qū)
長治市潞州區(qū)、昆明市五華區(qū)、安陽市內(nèi)黃縣、遼源市東豐縣、莆田市仙游縣、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、西安市碑林區(qū)、南陽市社旗縣
廣西南寧市隆安縣、青島市李滄區(qū)、南通市啟東市、樂山市井研縣、廣西崇左市江州區(qū)、日照市莒縣
洛陽市欒川縣、商丘市虞城縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、蘭州市七里河區(qū)、合肥市巢湖市、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、雅安市寶興縣、宜昌市猇亭區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、瀘州市納溪區(qū)
銅川市耀州區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、上海市寶山區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、廣西南寧市興寧區(qū)、松原市乾安縣、廣西南寧市隆安縣、海南同德縣
齊齊哈爾市龍沙區(qū)、連云港市連云區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、錦州市凌海市、延安市子長市、酒泉市肅州區(qū)
楚雄大姚縣、廣州市花都區(qū)、六盤水市水城區(qū)、忻州市原平市、臨夏臨夏縣、甘孜石渠縣、莆田市仙游縣
莆田市涵江區(qū)、伊春市友好區(qū)、寶雞市金臺區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、梅州市梅縣區(qū)、鞍山市立山區(qū)
天津市西青區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、西雙版納勐?？h、臨高縣新盈鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、濟(jì)寧市魚臺縣、大理南澗彝族自治縣、阜陽市太和縣
溫州市樂清市、汕頭市龍湖區(qū)、濟(jì)寧市兗州區(qū)、南昌市南昌縣、贛州市南康區(qū)、汕頭市金平區(qū)、雅安市石棉縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、甘孜康定市、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
成都市錦江區(qū)、常德市澧縣、常德市安鄉(xiāng)縣、永州市江永縣、重慶市萬州區(qū)、贛州市大余縣、安康市白河縣、北京市門頭溝區(qū)
渭南市臨渭區(qū)、鷹潭市貴溪市、金華市磐安縣、溫州市龍灣區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、成都市新津區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)、運(yùn)城市聞喜縣、黔西南貞豐縣
鄭州市二七區(qū)、陽泉市郊區(qū)、廣安市廣安區(qū)、上海市松江區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、蘭州市榆中縣、寧夏銀川市金鳳區(qū)、內(nèi)江市市中區(qū)、寶雞市隴縣
黔東南凱里市、運(yùn)城市聞喜縣、聊城市高唐縣、臨沂市郯城縣、齊齊哈爾市甘南縣、呂梁市柳林縣、懷化市中方縣、貴陽市觀山湖區(qū)
佳木斯市東風(fēng)區(qū)、廣西百色市樂業(yè)縣、無錫市江陰市、呂梁市嵐縣、昭通市魯?shù)榭h
贛州市定南縣、阜陽市潁上縣、廣西崇左市憑祥市、廣元市利州區(qū)、肇慶市端州區(qū)、漳州市龍海區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、紹興市越城區(qū)
福州市福清市、中山市三角鎮(zhèn)、大理巍山彝族回族自治縣、麗江市古城區(qū)、平頂山市新華區(qū)、上饒市鉛山縣、商丘市柘城縣
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南京市浦口區(qū)、曲靖市宣威市、咸陽市永壽縣、荊門市掇刀區(qū)、宣城市績溪縣、廣西百色市田林縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、綿陽市三臺縣、邵陽市邵東市、上饒市萬年縣
蘇州市常熟市、南昌市青云譜區(qū)、上饒市玉山縣、濟(jì)南市歷城區(qū)、洛陽市洛寧縣、樂山市金口河區(qū)
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臨汾市汾西縣、漢中市佛坪縣、哈爾濱市雙城區(qū)、龍巖市上杭縣、贛州市尋烏縣、中山市港口鎮(zhèn)
日照市嵐山區(qū)、臺州市溫嶺市、四平市公主嶺市、綏化市望奎縣、鶴崗市興安區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、海北祁連縣、邵陽市雙清區(qū)、東莞市謝崗鎮(zhèn)
葫蘆島市興城市、甘孜石渠縣、濰坊市昌邑市、綏化市海倫市、黔南龍里縣、榆林市榆陽區(qū)、九江市湖口縣、定安縣龍河鎮(zhèn)、恩施州來鳳縣
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黃山市休寧縣、廈門市湖里區(qū)、延邊安圖縣、北京市朝陽區(qū)、煙臺市海陽市、南充市營山縣、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、海北祁連縣、畢節(jié)市金沙縣
七臺河市勃利縣、廣元市劍閣縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、朔州市應(yīng)縣、鹽城市鹽都區(qū)、長春市九臺區(qū)、洛陽市偃師區(qū)
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商丘市寧陵縣、雅安市石棉縣、臨沂市河?xùn)|區(qū)、寧夏銀川市興慶區(qū)、東莞市石碣鎮(zhèn)、普洱市景東彝族自治縣、重慶市九龍坡區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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