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衡陽市耒陽市、蚌埠市五河縣、無錫市宜興市、玉溪市華寧縣、廣西南寧市馬山縣
黔南都勻市、貴陽市修文縣、西雙版納景洪市、成都市邛崍市、上海市虹口區(qū)、海北祁連縣、合肥市肥東縣
鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、銅仁市沿河土家族自治縣、中山市橫欄鎮(zhèn)、駐馬店市西平縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、寶雞市眉縣、麗水市縉云縣
錦州市太和區(qū)、南充市營山縣、上海市長寧區(qū)、廣西貴港市桂平市、大連市莊河市
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、汕頭市南澳縣、九江市彭澤縣、福州市閩清縣、常州市天寧區(qū)
儋州市木棠鎮(zhèn)、宜春市靖安縣、連云港市灌云縣、杭州市富陽區(qū)、德州市臨邑縣、平頂山市舞鋼市、廣州市白云區(qū)
武漢市洪山區(qū)、齊齊哈爾市建華區(qū)、三門峽市陜州區(qū)、臨汾市古縣、湛江市坡頭區(qū)
淄博市張店區(qū)、平頂山市郟縣、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、長治市武鄉(xiāng)縣、定安縣龍門鎮(zhèn)、青島市嶗山區(qū)
吉林市磐石市、大理劍川縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、錦州市太和區(qū)、文山丘北縣
永州市江華瑤族自治縣、甘南臨潭縣、淮南市潘集區(qū)、洛陽市老城區(qū)、上饒市玉山縣、沈陽市蘇家屯區(qū)、鎮(zhèn)江市句容市
上海市崇明區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、鄭州市鞏義市、上饒市婺源縣、甘南合作市、江門市恩平市、鞍山市臺(tái)安縣、鞍山市岫巖滿族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、重慶市綦江區(qū)、四平市鐵東區(qū)、德州市武城縣、阜新市細(xì)河區(qū)、天津市河西區(qū)、海南興海縣、樂山市峨眉山市
恩施州利川市、寧夏銀川市西夏區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、北京市朝陽區(qū)、贛州市瑞金市、貴陽市烏當(dāng)區(qū)、佛山市三水區(qū)、福州市晉安區(qū)、周口市鹿邑縣
佳木斯市撫遠(yuǎn)市、臨沂市蒙陰縣、遵義市湄潭縣、平頂山市石龍區(qū)、中山市民眾鎮(zhèn)、漳州市云霄縣、中山市五桂山街道、樂山市峨眉山市、韶關(guān)市始興縣
廣西玉林市福綿區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、大連市長海縣、安康市嵐皋縣、德宏傣族景頗族自治州芒市、濰坊市壽光市、龍巖市連城縣、丹東市寬甸滿族自治縣
泰安市東平縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、伊春市大箐山縣、哈爾濱市松北區(qū)、廣西來賓市合山市、南通市海門區(qū)
咸寧市通城縣、中山市坦洲鎮(zhèn)、福州市鼓樓區(qū)、安慶市懷寧縣、黔東南劍河縣、長春市寬城區(qū)、吉安市新干縣
韶關(guān)市始興縣、無錫市錫山區(qū)、黔東南錦屏縣、廣西賀州市八步區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、定安縣定城鎮(zhèn)
臨汾市襄汾縣、太原市迎澤區(qū)、白銀市景泰縣、甘孜鄉(xiāng)城縣、龍巖市上杭縣
廣西防城港市東興市、撫順市望花區(qū)、株洲市石峰區(qū)、南昌市新建區(qū)、中山市石岐街道、哈爾濱市香坊區(qū)
南通市海安市、眉山市東坡區(qū)、瀘州市古藺縣、永州市江永縣、海西蒙古族都蘭縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)
遼源市東遼縣、廣西梧州市蒼梧縣、涼山美姑縣、池州市貴池區(qū)、溫州市文成縣、丹東市元寶區(qū)、佳木斯市向陽區(qū)、婁底市雙峰縣、衡陽市常寧市、十堰市鄖西縣
臨高縣南寶鎮(zhèn)、濱州市惠民縣、濰坊市高密市、楚雄永仁縣、宣城市郎溪縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、常德市安鄉(xiāng)縣、湘西州瀘溪縣
廣西欽州市欽南區(qū)、開封市祥符區(qū)、普洱市墨江哈尼族自治縣、南京市建鄴區(qū)、榆林市清澗縣、廣西崇左市大新縣、婁底市冷水江市、懷化市中方縣、儋州市南豐鎮(zhèn)
綏化市青岡縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、楚雄祿豐市、佛山市高明區(qū)
黑河市孫吳縣、連云港市海州區(qū)、黃南同仁市、阜陽市潁泉區(qū)、昆明市五華區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、成都市成華區(qū)、淮安市漣水縣
漯河市舞陽縣、?？谑旋埲A區(qū)、西安市蓮湖區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、臨沂市沂南縣、廣西南寧市上林縣、菏澤市鄄城縣
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陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、隨州市廣水市、重慶市大足區(qū)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、宣城市涇縣、杭州市淳安縣
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莆田市秀嶼區(qū)、臨汾市吉縣、本溪市南芬區(qū)、綿陽市三臺(tái)縣、煙臺(tái)市海陽市、重慶市巫溪縣、雅安市雨城區(qū)、吉安市永新縣、淄博市周村區(qū)、黔南貴定縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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