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常德市武陵區(qū)、梅州市大埔縣、大慶市大同區(qū)、陽泉市盂縣、安慶市岳西縣、韶關(guān)市始興縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、阜陽市界首市、焦作市博愛縣、銅川市耀州區(qū)
本溪市明山區(qū)、白山市靖宇縣、贛州市瑞金市、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、商丘市柘城縣、連云港市贛榆區(qū)、撫順市順城區(qū)、洛陽市瀍河回族區(qū)、三明市尤溪縣
呂梁市石樓縣、揭陽市揭西縣、平頂山市石龍區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、清遠(yuǎn)市連州市、佳木斯市樺川縣
菏澤市東明縣、東莞市企石鎮(zhèn)、淄博市周村區(qū)、達(dá)州市宣漢縣、自貢市貢井區(qū)
安慶市迎江區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、郴州市永興縣、北京市海淀區(qū)、麗江市永勝縣
松原市寧江區(qū)、襄陽市谷城縣、汕頭市潮南區(qū)、湛江市麻章區(qū)、棗莊市薛城區(qū)、阜新市新邱區(qū)
廣西柳州市柳北區(qū)、廣西百色市右江區(qū)、恩施州利川市、丹東市鳳城市、達(dá)州市宣漢縣
南昌市西湖區(qū)、蕪湖市弋江區(qū)、西安市藍(lán)田縣、贛州市石城縣、溫州市龍港市、晉中市和順縣、鄭州市新密市
大同市云岡區(qū)、開封市通許縣、北京市西城區(qū)、臨汾市曲沃縣、九江市湖口縣、晉中市祁縣、三明市明溪縣、梅州市蕉嶺縣、哈爾濱市平房區(qū)、韶關(guān)市武江區(qū)
瓊海市陽江鎮(zhèn)、忻州市河曲縣、南平市松溪縣、十堰市鄖陽區(qū)、雅安市漢源縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、晉中市平遙縣、焦作市修武縣
東莞市南城街道、福州市福清市、長(zhǎng)春市二道區(qū)、鶴崗市東山區(qū)、九江市武寧縣、濮陽市華龍區(qū)、邵陽市綏寧縣、重慶市忠縣、湘西州古丈縣、信陽市息縣
南平市浦城縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、宜昌市宜都市、恩施州建始縣、太原市婁煩縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、廣西欽州市欽北區(qū)、廣西柳州市柳城縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽市、重慶市九龍坡區(qū)、昆明市石林彝族自治縣、遵義市習(xí)水縣、遵義市仁懷市、常德市漢壽縣、貴陽市開陽縣
洛陽市偃師區(qū)、德陽市廣漢市、長(zhǎng)治市武鄉(xiāng)縣、阜新市清河門區(qū)、伊春市友好區(qū)、鹽城市東臺(tái)市、天津市濱海新區(qū)、廣西桂林市平樂縣
駐馬店市新蔡縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、成都市郫都區(qū)、撫順市望花區(qū)、信陽市新縣、吉安市青原區(qū)
遵義市紅花崗區(qū)、菏澤市東明縣、貴陽市云巖區(qū)、晉中市昔陽縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)、昭通市綏江縣、果洛瑪多縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市回民區(qū)、常德市安鄉(xiāng)縣
杭州市西湖區(qū)、甘孜德格縣、駐馬店市確山縣、畢節(jié)市大方縣、臨汾市侯馬市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、瀘州市古藺縣、邵陽市雙清區(qū)、安康市平利縣
朝陽市凌源市、白城市大安市、天水市武山縣、池州市東至縣、龍巖市永定區(qū)、麗水市青田縣、合肥市蜀山區(qū)、寧夏吳忠市同心縣
佳木斯市前進(jìn)區(qū)、儋州市和慶鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、大理云龍縣、齊齊哈爾市建華區(qū)
濱州市濱城區(qū)、海北門源回族自治縣、贛州市定南縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、河源市源城區(qū)、舟山市岱山縣、廣安市廣安區(qū)、南京市雨花臺(tái)區(qū)
黔東南黃平縣、九江市都昌縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、重慶市城口縣、三沙市西沙區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、陽泉市平定縣、定安縣新竹鎮(zhèn)
廣西貴港市覃塘區(qū)、衢州市衢江區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)、麗水市松陽縣、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、衡陽市衡南縣、武漢市新洲區(qū)、西寧市城中區(qū)
蘇州市昆山市、廣西貴港市港南區(qū)、宜春市奉新縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、白銀市會(huì)寧縣、榆林市吳堡縣、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)
平?jīng)鍪谐缧趴h、海南興?？h、蘇州市相城區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、南京市鼓樓區(qū)、銅陵市樅陽縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣
果洛久治縣、楚雄永仁縣、張掖市甘州區(qū)、遵義市習(xí)水縣、襄陽市?？悼h
定安縣龍門鎮(zhèn)、北京市東城區(qū)、海北祁連縣、安慶市岳西縣、鐵嶺市昌圖縣、咸陽市彬州市、邵陽市隆回縣、淮安市盱眙縣
呂梁市中陽縣、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、南陽市南召縣、廣西百色市凌云縣、懷化市洪江市、濮陽市臺(tái)前縣、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)
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攀枝花市仁和區(qū)、商丘市永城市、邵陽市邵陽縣、天水市麥積區(qū)、淮安市漣水縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、運(yùn)城市垣曲縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)
自貢市富順縣、太原市萬柏林區(qū)、廣西崇左市江州區(qū)、合肥市廬江縣、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、紅河元陽縣、贛州市石城縣
成都市崇州市、鞍山市鐵西區(qū)、淮南市鳳臺(tái)縣、普洱市景谷傣族彝族自治縣、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、黃岡市浠水縣、綏化市蘭西縣、菏澤市牡丹區(qū)、廣西來賓市忻城縣
寶雞市千陽縣、平頂山市葉縣、攀枝花市仁和區(qū)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、曲靖市沾益區(qū)、駐馬店市確山縣、葫蘆島市建昌縣
黔東南劍河縣、濟(jì)南市濟(jì)陽區(qū)、廣西百色市靖西市、廣州市海珠區(qū)、河源市紫金縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、鄭州市二七區(qū)、安慶市望江縣、濰坊市奎文區(qū)
重慶市城口縣、廣西南寧市青秀區(qū)、廈門市湖里區(qū)、菏澤市成武縣、忻州市代縣
茂名市茂南區(qū)、南京市棲霞區(qū)、上饒市鉛山縣、宜昌市夷陵區(qū)、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣
貴陽市云巖區(qū)、景德鎮(zhèn)市樂平市、鶴壁市鶴山區(qū)、宿州市蕭縣、巴中市巴州區(qū)、汕頭市潮陽區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、黔東南榕江縣、鶴崗市興山區(qū)、紹興市越城區(qū)
三明市大田縣、咸陽市禮泉縣、廈門市集美區(qū)、衢州市開化縣、廣西梧州市藤縣、南昌市青云譜區(qū)、遵義市仁懷市、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、阿壩藏族羌族自治州汶川縣
鐵嶺市調(diào)兵山市、臨高縣東英鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、綏化市蘭西縣、阜新市新邱區(qū)、海西蒙古族茫崖市、淄博市高青縣、涼山昭覺縣、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、懷化市中方縣
儋州市新州鎮(zhèn)、韶關(guān)市曲江區(qū)、南平市政和縣、長(zhǎng)沙市開福區(qū)、寧夏銀川市興慶區(qū)、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、云浮市云安區(qū)
隨州市曾都區(qū)、湖州市長(zhǎng)興縣、四平市公主嶺市、洛陽市宜陽縣、牡丹江市東寧市、大同市靈丘縣
上饒市鉛山縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、通化市梅河口市、重慶市渝北區(qū)、咸陽市三原縣、菏澤市定陶區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、齊齊哈爾市建華區(qū)、白銀市景泰縣、牡丹江市東寧市
廣西百色市田林縣、雞西市麻山區(qū)、延邊琿春市、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、威海市環(huán)翠區(qū)
九江市潯陽區(qū)、廣州市海珠區(qū)、衢州市開化縣、徐州市豐縣、威海市榮成市、撫州市宜黃縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、蕪湖市弋江區(qū)、甘孜爐霍縣、五指山市番陽
大理彌渡縣、上海市青浦區(qū)、中山市南朗鎮(zhèn)、萬寧市和樂鎮(zhèn)、天水市武山縣、西安市周至縣、淄博市張店區(qū)
遵義市習(xí)水縣、東莞市虎門鎮(zhèn)、撫州市樂安縣、寧夏吳忠市同心縣、廣西崇左市寧明縣、荊州市洪湖市、松原市寧江區(qū)、畢節(jié)市赫章縣
德州市德城區(qū)、常德市津市市、運(yùn)城市臨猗縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、莆田市秀嶼區(qū)、岳陽市汨羅市、銅陵市郊區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
紹興市柯橋區(qū)、廣元市昭化區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、曲靖市沾益區(qū)、鞍山市鐵西區(qū)、咸陽市彬州市、臨沂市沂水縣
甘孜理塘縣、武漢市洪山區(qū)、忻州市靜樂縣、懷化市通道侗族自治縣、東方市三家鎮(zhèn)、漯河市郾城區(qū)、西安市長(zhǎng)安區(qū)、聊城市東阿縣、海北剛察縣
吉林市磐石市、白山市臨江市、鞍山市立山區(qū)、上海市崇明區(qū)、泰州市靖江市、新鄉(xiāng)市封丘縣
張家界市武陵源區(qū)、贛州市南康區(qū)、大連市長(zhǎng)?？h、宿遷市宿豫區(qū)、寧波市北侖區(qū)、鶴崗市工農(nóng)區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、寧德市壽寧縣
安慶市望江縣、重慶市酉陽縣、昆明市富民縣、呂梁市興縣、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、濱州市鄒平市、廣西來賓市忻城縣、攀枝花市東區(qū)、岳陽市岳陽縣、佳木斯市樺川縣
淮北市濉溪縣、通化市柳河縣、南京市棲霞區(qū)、連云港市灌南縣、渭南市富平縣、東營市墾利區(qū)、三沙市南沙區(qū)、呂梁市汾陽市
東營市東營區(qū)、廣西南寧市武鳴區(qū)、文昌市鋪前鎮(zhèn)、眉山市仁壽縣、臨滄市臨翔區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、運(yùn)城市河津市、東莞市莞城街道、煙臺(tái)市海陽市、延安市黃龍縣
婁底市冷水江市、婁底市新化縣、南京市鼓樓區(qū)、哈爾濱市雙城區(qū)、綿陽市游仙區(qū)、漢中市佛坪縣、朝陽市雙塔區(qū)
淮南市謝家集區(qū)、北京市昌平區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、黃石市大冶市、甘孜瀘定縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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