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天津市河西區(qū)、贛州市于都縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、梅州市梅江區(qū)、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、白城市洮北區(qū)、果洛瑪沁縣
佳木斯市樺南縣、南京市棲霞區(qū)、贛州市信豐縣、南京市建鄴區(qū)、淮南市鳳臺縣
廣西柳州市融水苗族自治縣、廣西百色市靖西市、深圳市鹽田區(qū)、臨高縣加來鎮(zhèn)、蘇州市姑蘇區(qū)、文昌市東路鎮(zhèn)、三明市尤溪縣、荊州市石首市、廣西河池市南丹縣、淄博市博山區(qū)
運(yùn)城市鹽湖區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、清遠(yuǎn)市連南瑤族自治縣、湘西州保靖縣、湛江市廉江市、珠海市斗門區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)
廣西梧州市萬秀區(qū)、普洱市景東彝族自治縣、寧德市周寧縣、瀘州市江陽區(qū)、眉山市青神縣、北京市通州區(qū)、臨沂市郯城縣、永州市雙牌縣、張掖市臨澤縣
宣城市旌德縣、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、南昌市灣里區(qū)、永州市雙牌縣、安順市普定縣、廣西防城港市東興市、溫州市龍灣區(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、沈陽市于洪區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、呂梁市興縣、漳州市詔安縣
滁州市明光市、晉中市壽陽縣、朔州市懷仁市、大同市廣靈縣、安陽市林州市、漳州市詔安縣
成都市錦江區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、黔南獨(dú)山縣、榆林市綏德縣、三明市將樂縣、三明市建寧縣、洛陽市西工區(qū)
臨沂市費(fèi)縣、榆林市神木市、佳木斯市樺南縣、蘇州市常熟市、東方市感城鎮(zhèn)、蚌埠市禹會區(qū)、西寧市城中區(qū)、鞍山市千山區(qū)
朔州市平魯區(qū)、荊州市石首市、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、遂寧市安居區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、宿遷市宿豫區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、達(dá)州市通川區(qū)
雞西市梨樹區(qū)、河源市連平縣、綿陽市游仙區(qū)、泉州市石獅市、嘉興市嘉善縣、東莞市洪梅鎮(zhèn)
東莞市寮步鎮(zhèn)、吉安市永豐縣、臺州市玉環(huán)市、清遠(yuǎn)市陽山縣、巴中市恩陽區(qū)
內(nèi)江市市中區(qū)、晉中市介休市、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、信陽市新縣、晉中市左權(quán)縣
陽泉市礦區(qū)、阜陽市界首市、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、岳陽市岳陽樓區(qū)、盤錦市雙臺子區(qū)、貴陽市烏當(dāng)區(qū)
咸陽市興平市、韶關(guān)市湞江區(qū)、龍巖市上杭縣、咸陽市武功縣、阜新市清河門區(qū)、郴州市嘉禾縣、德州市夏津縣
東營市利津縣、七臺河市勃利縣、運(yùn)城市河津市、成都市蒲江縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、忻州市原平市、玉樹雜多縣、慶陽市西峰區(qū)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、紹興市諸暨市、咸陽市乾縣、紹興市上虞區(qū)、廣西來賓市興賓區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、衢州市江山市、遵義市仁懷市、徐州市睢寧縣、菏澤市單縣
四平市公主嶺市、嘉興市南湖區(qū)、東莞市東城街道、濱州市鄒平市、忻州市五寨縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、大慶市紅崗區(qū)
南充市嘉陵區(qū)、邵陽市北塔區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、福州市閩清縣、廣州市南沙區(qū)、寧夏固原市彭陽縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、臨夏永靖縣、商洛市商州區(qū)、黑河市五大連池市
黔南平塘縣、呂梁市臨縣、牡丹江市愛民區(qū)、安慶市岳西縣、自貢市大安區(qū)、本溪市明山區(qū)、宿遷市宿城區(qū)、黔南龍里縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗
杭州市桐廬縣、綏化市青岡縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、東營市利津縣、咸陽市長武縣、寧夏銀川市西夏區(qū)、洛陽市孟津區(qū)、漳州市詔安縣、大同市平城區(qū)
廣西防城港市上思縣、臨沂市臨沭縣、銅仁市沿河土家族自治縣、眉山市洪雅縣、襄陽市?？悼h、榆林市綏德縣、重慶市巫溪縣
保山市隆陽區(qū)、慶陽市寧縣、黔西南貞豐縣、撫順市望花區(qū)、永州市江永縣、大理巍山彝族回族自治縣、贛州市上猶縣
邵陽市雙清區(qū)、平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、六盤水市水城區(qū)、平頂山市湛河區(qū)、重慶市渝中區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、揭陽市揭東區(qū)、南京市高淳區(qū)
廣西防城港市防城區(qū)、宜賓市江安縣、泉州市石獅市、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、雅安市寶興縣、宜春市袁州區(qū)、聊城市高唐縣
六安市霍邱縣、益陽市南縣、哈爾濱市通河縣、銅仁市萬山區(qū)、長沙市天心區(qū)、大連市金州區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、佛山市禪城區(qū)
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重慶市銅梁區(qū)、郴州市宜章縣、黃山市黟縣、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、大慶市肇州縣、綏化市安達(dá)市、齊齊哈爾市碾子山區(qū)
孝感市云夢縣、宿遷市沭陽縣、延邊安圖縣、上海市虹口區(qū)、菏澤市單縣
撫州市黎川縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽市、九江市濂溪區(qū)、吉林市豐滿區(qū)
沈陽市渾南區(qū)、贛州市南康區(qū)、隴南市武都區(qū)、海南貴德縣、遵義市匯川區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、龍巖市連城縣、定安縣龍門鎮(zhèn)、邵陽市洞口縣
許昌市魏都區(qū)、金華市磐安縣、商丘市寧陵縣、平?jīng)鍪袥艽h、宜賓市翠屏區(qū)
黃山市屯溪區(qū)、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、洛陽市偃師區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)、嘉興市秀洲區(qū)、荊州市松滋市、宜昌市遠(yuǎn)安縣
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吉安市吉州區(qū)、玉樹稱多縣、周口市沈丘縣、泉州市惠安縣、遼陽市文圣區(qū)、隴南市文縣
營口市蓋州市、遵義市匯川區(qū)、連云港市東海縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、中山市西區(qū)街道、玉溪市易門縣
伊春市大箐山縣、廣西桂林市疊彩區(qū)、白山市臨江市、普洱市墨江哈尼族自治縣、臨沂市郯城縣
重慶市銅梁區(qū)、白山市臨江市、東莞市清溪鎮(zhèn)、延安市富縣、南昌市南昌縣、雙鴨山市四方臺區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、廣西桂林市平樂縣、上饒市橫峰縣
自貢市富順縣、太原市萬柏林區(qū)、廣西崇左市江州區(qū)、合肥市廬江縣、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、紅河元陽縣、贛州市石城縣
六安市金寨縣、肇慶市廣寧縣、煙臺市牟平區(qū)、保山市龍陵縣、眉山市丹棱縣、開封市尉氏縣、鄭州市惠濟(jì)區(qū)
廣州市從化區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)、安陽市湯陰縣、濟(jì)寧市魚臺縣、東方市大田鎮(zhèn)
平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、甘孜白玉縣、連云港市連云區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣
泰安市肥城市、淮安市洪澤區(qū)、成都市金牛區(qū)、廣西百色市平果市、咸陽市楊陵區(qū)、周口市鹿邑縣、濰坊市坊子區(qū)、寧德市柘榮縣
內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、鹽城市建湖縣、南昌市新建區(qū)、福州市長樂區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、大同市陽高縣、長治市黎城縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、雙鴨山市饒河縣
文山西疇縣、泉州市洛江區(qū)、六安市裕安區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、黔南獨(dú)山縣、海南貴德縣、黃山市黃山區(qū)、運(yùn)城市萬榮縣、五指山市毛道
漢中市佛坪縣、安慶市大觀區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、郴州市汝城縣、眉山市仁壽縣、海西蒙古族都蘭縣
延安市甘泉縣、德陽市綿竹市、雅安市蘆山縣、杭州市濱江區(qū)、黔東南黃平縣、廣西百色市平果市、瀘州市合江縣
揭陽市揭西縣、營口市蓋州市、定西市隴西縣、成都市溫江區(qū)、七臺河市茄子河區(qū)、贛州市安遠(yuǎn)縣、南昌市青云譜區(qū)、渭南市潼關(guān)縣、江門市蓬江區(qū)、涼山金陽縣
甘南卓尼縣、朔州市山陰縣、眉山市東坡區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、東莞市中堂鎮(zhèn)、合肥市肥西縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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