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中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、菏澤市成武縣、撫州市金溪縣、白城市通榆縣、恩施州利川市、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
楚雄楚雄市、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、嘉興市海寧市、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、甘南迭部縣、廣元市劍閣縣、黃南澤庫縣、運城市垣曲縣、荊門市東寶區(qū)、榆林市神木市
西雙版納勐?？h、寧波市余姚市、西寧市城西區(qū)、天津市北辰區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、臨滄市云縣
長治市潞城區(qū)、臨沂市沂南縣、濰坊市諸城市、雞西市滴道區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)
陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、天水市秦州區(qū)、西寧市湟中區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、南平市延平區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、徐州市銅山區(qū)、廣西來賓市興賓區(qū)
南通市海安市、黃岡市羅田縣、廣西百色市德?？h、安康市漢陰縣、撫州市崇仁縣、甘南瑪曲縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、紹興市上虞區(qū)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、貴陽市開陽縣、太原市迎澤區(qū)
雞西市雞東縣、中山市東升鎮(zhèn)、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、東營市墾利區(qū)、武漢市漢陽區(qū)、周口市鹿邑縣
渭南市澄城縣、遵義市習(xí)水縣、達州市通川區(qū)、駐馬店市正陽縣、延安市洛川縣、太原市晉源區(qū)、湘潭市湘鄉(xiāng)市、漯河市源匯區(qū)、廣西桂林市全州縣
酒泉市玉門市、泉州市豐澤區(qū)、定西市通渭縣、吉林市豐滿區(qū)、廣西來賓市合山市、七臺河市茄子河區(qū)、宜昌市猇亭區(qū)、淮南市田家庵區(qū)、德州市臨邑縣
瀘州市瀘縣、儋州市那大鎮(zhèn)、三明市寧化縣、濟寧市泗水縣、麗江市永勝縣、鐵嶺市銀州區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、揚州市邗江區(qū)
六安市金安區(qū)、茂名市茂南區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、駐馬店市上蔡縣、泰州市靖江市、贛州市寧都縣
內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、鹽城市建湖縣、南昌市新建區(qū)、福州市長樂區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、大同市陽高縣、長治市黎城縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、雙鴨山市饒河縣
六安市霍山縣、寧德市柘榮縣、遵義市紅花崗區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、撫順市新賓滿族自治縣、郴州市嘉禾縣、畢節(jié)市納雍縣、齊齊哈爾市克山縣
漳州市龍海區(qū)、廣西柳州市魚峰區(qū)、哈爾濱市平房區(qū)、岳陽市湘陰縣、紅河石屏縣、鎮(zhèn)江市潤州區(qū)、廣安市岳池縣、洛陽市洛龍區(qū)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)
駐馬店市確山縣、四平市雙遼市、東莞市沙田鎮(zhèn)、吉安市吉水縣、忻州市寧武縣、廈門市思明區(qū)、廣安市武勝縣、云浮市郁南縣
楚雄永仁縣、佛山市高明區(qū)、朔州市應(yīng)縣、廣元市蒼溪縣、贛州市于都縣、海北剛察縣
長春市九臺區(qū)、宣城市宣州區(qū)、綏化市青岡縣、朝陽市龍城區(qū)、南通市海門區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、本溪市本溪滿族自治縣、新余市渝水區(qū)
池州市石臺縣、重慶市巴南區(qū)、玉樹雜多縣、遵義市匯川區(qū)、牡丹江市東安區(qū)、合肥市包河區(qū)、聊城市臨清市、寶雞市鳳縣、贛州市贛縣區(qū)
畢節(jié)市織金縣、常德市津市市、天津市薊州區(qū)、東莞市萬江街道、瓊海市龍江鎮(zhèn)、大連市中山區(qū)
駐馬店市平輿縣、漳州市詔安縣、中山市西區(qū)街道、濟寧市曲阜市、資陽市樂至縣
聊城市莘縣、黔東南臺江縣、重慶市豐都縣、南昌市青山湖區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗
黔南長順縣、甘孜九龍縣、遵義市桐梓縣、綏化市安達市、東莞市茶山鎮(zhèn)、青島市即墨區(qū)
永州市冷水灘區(qū)、西安市灞橋區(qū)、長治市潞城區(qū)、鹽城市大豐區(qū)、恩施州宣恩縣、嘉興市嘉善縣、長治市長子縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、廣西玉林市博白縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、楚雄大姚縣、東莞市謝崗鎮(zhèn)、葫蘆島市連山區(qū)、駐馬店市平輿縣、黔南都勻市、丹東市鳳城市
紅河建水縣、臨滄市永德縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、濟南市槐蔭區(qū)、德州市齊河縣、廣西南寧市隆安縣、上饒市橫峰縣、海東市樂都區(qū)、甘孜稻城縣、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)
大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、廣西桂林市龍勝各族自治縣、廣西河池市鳳山縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、金華市金東區(qū)、朔州市平魯區(qū)、中山市南頭鎮(zhèn)
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昭通市鎮(zhèn)雄縣、大慶市薩爾圖區(qū)、佳木斯市同江市、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣
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莆田市秀嶼區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、天津市靜海區(qū)、長治市壺關(guān)縣、長春市農(nóng)安縣、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、寧波市奉化區(qū)、衢州市常山縣
上饒市鄱陽縣、西安市長安區(qū)、東莞市石排鎮(zhèn)、三明市寧化縣、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、鶴崗市工農(nóng)區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、北京市昌平區(qū)、黃岡市黃州區(qū)、貴陽市息烽縣
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南充市西充縣、長春市雙陽區(qū)、內(nèi)江市市中區(qū)、紅河蒙自市、廣元市青川縣、朝陽市朝陽縣、泰州市泰興市
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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