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呂梁市中陽縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、哈爾濱市雙城區(qū)、萬寧市和樂鎮(zhèn)、沈陽市遼中區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、懷化市通道侗族自治縣、遼陽市太子河區(qū)、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、佛山市高明區(qū)、平頂山市衛(wèi)東區(qū)
直轄縣潛江市、昆明市東川區(qū)、榆林市橫山區(qū)、襄陽市宜城市、蕪湖市鳩江區(qū)、永州市東安縣、寶雞市渭濱區(qū)
長沙市瀏陽市、汕頭市南澳縣、涼山木里藏族自治縣、金華市蘭溪市、宜春市靖安縣、黔東南三穗縣
撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、重慶市九龍坡區(qū)、西安市臨潼區(qū)、咸陽市渭城區(qū)、武漢市漢陽區(qū)、長沙市岳麓區(qū)
南陽市鎮(zhèn)平縣、紹興市嵊州市、株洲市荷塘區(qū)、連云港市海州區(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、汕頭市潮南區(qū)、衡陽市衡南縣、酒泉市玉門市
重慶市潼南區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、岳陽市湘陰縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、保山市施甸縣、廣西貴港市港北區(qū)、廣西賀州市平桂區(qū)、大理賓川縣
棗莊市山亭區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、撫順市望花區(qū)、三明市尤溪縣、合肥市肥東縣
新鄉(xiāng)市輝縣市、黔西南貞豐縣、德州市德城區(qū)、黃岡市羅田縣、安陽市殷都區(qū)、沈陽市康平縣、伊春市嘉蔭縣、黔東南黎平縣、臨汾市安澤縣
荊州市荊州區(qū)、瓊海市萬泉鎮(zhèn)、七臺(tái)河市勃利縣、駐馬店市正陽縣、菏澤市牡丹區(qū)、安康市石泉縣、蕪湖市無為市
益陽市桃江縣、六安市金安區(qū)、甘孜德格縣、文山富寧縣、安順市普定縣
河源市龍川縣、昆明市石林彝族自治縣、臨夏和政縣、舟山市岱山縣、佳木斯市湯原縣、南通市海門區(qū)、陽江市陽春市、臺(tái)州市溫嶺市、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、吉安市吉州區(qū)
信陽市商城縣、天水市清水縣、宜昌市遠(yuǎn)安縣、合肥市廬陽區(qū)、保山市施甸縣、株洲市石峰區(qū)、咸寧市嘉魚縣、麗江市寧蒗彝族自治縣
宣城市涇縣、杭州市濱江區(qū)、湖州市長興縣、常德市安鄉(xiāng)縣、雞西市滴道區(qū)、晉中市榆次區(qū)
泉州市金門縣、七臺(tái)河市勃利縣、臺(tái)州市椒江區(qū)、湘西州保靖縣、遼源市龍山區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、黃岡市黃州區(qū)
雙鴨山市饒河縣、廣西百色市平果市、眉山市青神縣、婁底市冷水江市、六安市裕安區(qū)、咸寧市赤壁市、廈門市集美區(qū)、宜賓市江安縣、綿陽市平武縣
蘭州市西固區(qū)、忻州市保德縣、南京市鼓樓區(qū)、湖州市安吉縣、云浮市新興縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、德州市夏津縣、廣西百色市那坡縣、廈門市翔安區(qū)
甘孜理塘縣、涼山冕寧縣、孝感市孝昌縣、郴州市桂東縣、云浮市新興縣、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣
鄂州市華容區(qū)、梅州市興寧市、忻州市靜樂縣、涼山德昌縣、西安市周至縣、永州市寧遠(yuǎn)縣、朔州市山陰縣、昭通市巧家縣
遼陽市宏偉區(qū)、漢中市西鄉(xiāng)縣、濮陽市南樂縣、南京市建鄴區(qū)、周口市太康縣、九江市柴桑區(qū)、鄂州市華容區(qū)
鐵嶺市鐵嶺縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、金華市東陽市、眉山市丹棱縣、雙鴨山市嶺東區(qū)、東莞市石龍鎮(zhèn)、甘孜得榮縣、雅安市天全縣
天水市麥積區(qū)、咸陽市秦都區(qū)、漳州市平和縣、廣西桂林市象山區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、株洲市淥口區(qū)、菏澤市巨野縣、上饒市余干縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、濰坊市臨朐縣
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陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、惠州市博羅縣、安慶市宜秀區(qū)、渭南市臨渭區(qū)、齊齊哈爾市富?？h、果洛久治縣、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、成都市金堂縣、玉樹稱多縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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