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廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、廣西崇左市天等縣、咸陽市武功縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、綿陽市平武縣、濮陽市濮陽縣、達(dá)州市宣漢縣、天津市西青區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、衢州市常山縣
巴中市恩陽區(qū)、吉安市新干縣、渭南市華陰市、攀枝花市仁和區(qū)、慶陽市西峰區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、綿陽市鹽亭縣、岳陽市君山區(qū)、榆林市子洲縣
韶關(guān)市始興縣、文山西疇縣、伊春市友好區(qū)、衡陽市衡東縣、忻州市定襄縣、廣西崇左市天等縣
惠州市惠東縣、宜賓市南溪區(qū)、鶴崗市南山區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、松原市寧江區(qū)、溫州市龍灣區(qū)、中山市南區(qū)街道、錦州市黑山縣
衢州市衢江區(qū)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、廣州市天河區(qū)、濟(jì)南市章丘區(qū)、儋州市海頭鎮(zhèn)
攀枝花市米易縣、濰坊市諸城市、安順市平壩區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、昆明市東川區(qū)、黑河市孫吳縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)
東方市大田鎮(zhèn)、福州市臺(tái)江區(qū)、東莞市黃江鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、上饒市信州區(qū)、廣西南寧市江南區(qū)、重慶市江北區(qū)、張掖市民樂縣、曲靖市羅平縣
棗莊市山亭區(qū)、廣西柳州市城中區(qū)、撫順市望花區(qū)、三明市尤溪縣、合肥市肥東縣
九江市共青城市、宜春市上高縣、廣西來賓市忻城縣、遵義市赤水市、宜昌市興山縣、漳州市平和縣、黔東南丹寨縣、漢中市略陽縣、廣元市昭化區(qū)
廣西百色市田林縣、白城市洮北區(qū)、直轄縣潛江市、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、信陽市息縣、海口市秀英區(qū)、慶陽市鎮(zhèn)原縣、黃石市大冶市、東莞市南城街道、徐州市鼓樓區(qū)
沈陽市大東區(qū)、北京市通州區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)、白城市通榆縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、玉樹曲麻萊縣、南通市如皋市、鞍山市千山區(qū)、阿壩藏族羌族自治州茂縣
牡丹江市西安區(qū)、臨高縣東英鎮(zhèn)、樂山市沙灣區(qū)、九江市彭澤縣、揭陽市榕城區(qū)、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、隴南市禮縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)
南充市營(yíng)山縣、綏化市蘭西縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、信陽市平橋區(qū)、莆田市仙游縣、晉城市高平市、廣西賀州市昭平縣、海西蒙古族茫崖市、淮南市鳳臺(tái)縣
普洱市西盟佤族自治縣、四平市伊通滿族自治縣、臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、池州市青陽縣、臨夏和政縣、咸陽市禮泉縣、四平市鐵東區(qū)
亳州市渦陽縣、臺(tái)州市路橋區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、黔南福泉市、紹興市越城區(qū)、西寧市湟中區(qū)、忻州市定襄縣、東莞市莞城街道、濰坊市青州市、吉林市舒蘭市
涼山雷波縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、安慶市懷寧縣、南充市南部縣、漳州市南靖縣、黃南尖扎縣、佳木斯市富錦市
無錫市新吳區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、六盤水市六枝特區(qū)、河源市連平縣、黃山市歙縣、金昌市永昌縣、成都市龍泉驛區(qū)、忻州市繁峙縣、隴南市兩當(dāng)縣
威海市環(huán)翠區(qū)、臺(tái)州市玉環(huán)市、寧夏固原市原州區(qū)、宜賓市屏山縣、遵義市習(xí)水縣、深圳市坪山區(qū)、遵義市正安縣、邵陽市新寧縣
黑河市遜克縣、汕尾市海豐縣、杭州市拱墅區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、沈陽市康平縣、武漢市新洲區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、蚌埠市五河縣
平頂山市石龍區(qū)、宿遷市沭陽縣、廣西南寧市青秀區(qū)、郴州市汝城縣、洛陽市嵩縣、遵義市習(xí)水縣、涼山西昌市
鄂州市華容區(qū)、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、五指山市水滿、定西市安定區(qū)、重慶市石柱土家族自治縣、益陽市南縣
廣西桂林市灌陽縣、昆明市呈貢區(qū)、廣州市花都區(qū)、雅安市石棉縣、重慶市奉節(jié)縣、三明市建寧縣、宜賓市興文縣、蘇州市吳江區(qū)
牡丹江市東寧市、晉城市高平市、寶雞市鳳縣、永州市冷水灘區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、蘇州市虎丘區(qū)
德陽市旌陽區(qū)、黑河市嫩江市、德陽市羅江區(qū)、蘇州市張家港市、雞西市麻山區(qū)、安慶市桐城市、廣西南寧市賓陽縣、文昌市東路鎮(zhèn)、太原市晉源區(qū)
湘西州吉首市、寧德市柘榮縣、北京市豐臺(tái)區(qū)、天津市靜海區(qū)、梅州市平遠(yuǎn)縣、成都市雙流區(qū)
上海市楊浦區(qū)、中山市五桂山街道、齊齊哈爾市克山縣、宜昌市五峰土家族自治縣、海南共和縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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