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珠海突圍半導體設備業(yè),國內首臺晶圓級多驅解離刻蝕設備面世|界面新聞

界面新聞記者 | 張熹瓏

廣東珠海是國內集成電路起步最早的城市之一,但長期以來設計業(yè)一業(yè)獨大?,F在,這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。

523日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡稱“恒格微電子”)發(fā)布國內首臺晶圓級等離子多驅解離刻蝕設備,標志著國內高端半導體制造核心裝備領域的重大技術突破。

該設備突破了多項卡脖子技術難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點,可廣泛應用于集成電路、第三代半導體及先進封裝領域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。

恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達成合作,一家為國內某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動國產等離子刻蝕設備在顯示領域的規(guī)?;瘧?;另一家為三疊紀公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設備的迭代研發(fā)與產業(yè)化應用。預計6月會交付第一臺設備。

恒格微電子總經理李志強提及,目前該設備已通過頭部晶圓廠驗證,并進入量產交付階段,現在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網顯示,主營業(yè)務為等離子體工業(yè)應用設備相關領域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產及銷售,產品覆蓋三大領域,包括PCB/載板領域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領域和半導體領域。

珠海突圍半導體設備業(yè),國內首臺晶圓級多驅解離刻蝕設備面世|界面新聞

公司方面表示,最早專注于PCB設備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導體裝備領域轉型的關鍵一步,近年來瞄準半導體裝備賽道,聚焦刻蝕設備核心技術研發(fā)。

刻蝕工藝是集成電路制造的關鍵環(huán)節(jié),根據SEMI數據,刻蝕設備在整個生產線中價值占比約為20%。一位半導體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關,因此跟制程相關的設備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里,薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關鍵的三大設備,共同完成晶圓制造材料的制作。

在全球市場上,海外廠商長期以來具備領先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數據顯示,2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應用材料(16.96%)三巨頭主導。

隨著先進工藝刻蝕次數不斷提升,對刻蝕設備的數量和質量提出了更高的要求。當前國際上高端量產芯片從7nm5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現。

這一背景下,國產設備企業(yè)加速核心技術突破。其中,大灣區(qū)頻頻實現突破。

一個標志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。

ETCH蝕刻是半導體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關。

與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導體材料,刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。

而珠海除了恒格微電子,也培育了運泰利自動化、長園半導體設備等新銳企業(yè)。據“珠海特區(qū)報”,運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線,填補了國產光學檢測設備的空白。

珠海突圍半導體設備業(yè),國內首臺晶圓級多驅解離刻蝕設備面世|界面新聞

數據顯示,2024年珠海市集成電路產業(yè)實現主營收入194.95億元,同比增長22.46%,比去年同期提升13.94個百分點,近五年年均增長率20.29%。

珠海市2025年政府工作報告提出,推動集成電路產業(yè)加速邁向“500規(guī)模,爭取年內創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產業(yè)集群。

但珠海集成電路也呈現明顯的“偏科”問題。2024年,設計業(yè)主營收入135億元,占了大頭。對比之下,生產制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設備銷售收入20.54億元。

珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到,當前珠海正提速建設“云上智城”,集聚算力基礎、大數據、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產業(yè),接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產品加強行業(yè)供需對接。

珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設計服務平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞,機器人、汽車廠商供應商等是公司主要面向的下游方向,現在既有客戶和目標客戶中,AI業(yè)務都有所增加,也對技術提出了更高的門檻。

“比如我們原來的通用GPU芯片,其架構可能并不適合于做大模型的預算,這種情況下客戶會提出芯片改版的需求,使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時會把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會更加復雜?!秉S道遠表示。

目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片,瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。

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