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內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、上饒市鉛山縣、衡陽市蒸湘區(qū)、銅仁市松桃苗族自治縣、瀘州市古藺縣、臨汾市洪洞縣、哈爾濱市南崗區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)
文昌市文城鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、定西市通渭縣、深圳市龍崗區(qū)、楚雄永仁縣、萬寧市萬城鎮(zhèn)、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、福州市閩清縣、舟山市普陀區(qū)、菏澤市成武縣
宣城市涇縣、洛陽市瀍河回族區(qū)、大理巍山彝族回族自治縣、麗水市景寧畬族自治縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、濟(jì)寧市兗州區(qū)
贛州市興國縣、岳陽市岳陽樓區(qū)、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、蘇州市昆山市、銅仁市玉屏侗族自治縣、信陽市固始縣、青島市平度市、邵陽市綏寧縣
北京市西城區(qū)、安慶市大觀區(qū)、呂梁市臨縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、上海市靜安區(qū)、涼山昭覺縣、曲靖市富源縣、宜春市奉新縣
濟(jì)南市長清區(qū)、商丘市永城市、吉安市青原區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、濟(jì)寧市兗州區(qū)、臨沂市羅莊區(qū)、咸寧市嘉魚縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、平頂山市郟縣、惠州市惠陽區(qū)
青島市膠州市、榆林市佳縣、漯河市源匯區(qū)、開封市杞縣、定西市通渭縣、呂梁市方山縣
臨夏臨夏縣、懷化市中方縣、泉州市南安市、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、北京市懷柔區(qū)、鶴崗市綏濱縣、湛江市赤坎區(qū)、遼陽市燈塔市、溫州市樂清市
菏澤市鄆城縣、濟(jì)南市歷下區(qū)、益陽市安化縣、常德市桃源縣、汕頭市南澳縣
東莞市大朗鎮(zhèn)、荊門市掇刀區(qū)、遵義市習(xí)水縣、邵陽市綏寧縣、焦作市溫縣、襄陽市南漳縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、黔東南麻江縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、安陽市龍安區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、商丘市虞城縣、鶴壁市浚縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、無錫市江陰市、西寧市湟中區(qū)、杭州市濱江區(qū)
合肥市長豐縣、沈陽市蘇家屯區(qū)、廣安市武勝縣、郴州市桂東縣、保山市騰沖市、濟(jì)寧市鄒城市、慶陽市華池縣
煙臺市海陽市、甘孜道孚縣、淮安市金湖縣、海西蒙古族天峻縣、連云港市東海縣
齊齊哈爾市泰來縣、聊城市陽谷縣、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、鷹潭市月湖區(qū)、南陽市社旗縣、邵陽市隆回縣、自貢市自流井區(qū)、慶陽市寧縣、本溪市桓仁滿族自治縣
商洛市柞水縣、臨高縣新盈鎮(zhèn)、甘南迭部縣、淮北市相山區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)、東莞市萬江街道、臨汾市侯馬市、黃南澤庫縣、臨汾市浮山縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市
焦作市博愛縣、鶴壁市鶴山區(qū)、蕪湖市無為市、天水市秦安縣、大連市西崗區(qū)
焦作市解放區(qū)、廣西玉林市容縣、鄭州市二七區(qū)、德州市陵城區(qū)、連云港市東?？h
濟(jì)寧市梁山縣、平?jīng)鍪星f浪縣、嘉興市海寧市、慶陽市鎮(zhèn)原縣、東莞市虎門鎮(zhèn)、九江市共青城市
威海市榮成市、恩施州恩施市、溫州市洞頭區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、德州市陵城區(qū)、黔東南黃平縣、三亞市崖州區(qū)、常德市桃源縣、漢中市寧強(qiáng)縣
廈門市翔安區(qū)、長沙市岳麓區(qū)、常德市桃源縣、黃岡市羅田縣、安陽市文峰區(qū)、廣西河池市天峨縣
南京市江寧區(qū)、撫順市新?lián)釁^(qū)、廣西崇左市龍州縣、上海市寶山區(qū)、泉州市洛江區(qū)、黃岡市英山縣、朔州市山陰縣、重慶市武隆區(qū)、中山市中山港街道、攀枝花市東區(qū)
廣西百色市田林縣、白城市洮北區(qū)、直轄縣潛江市、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、信陽市息縣、海口市秀英區(qū)、慶陽市鎮(zhèn)原縣、黃石市大冶市、東莞市南城街道、徐州市鼓樓區(qū)
忻州市五臺縣、吉林市昌邑區(qū)、上海市長寧區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)
運(yùn)城市永濟(jì)市、徐州市豐縣、南充市營山縣、甘孜道孚縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、平?jīng)鍪星f浪縣、呂梁市臨縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、新鄉(xiāng)市封丘縣、蘭州市紅古區(qū)
淮南市田家庵區(qū)、延邊圖們市、漳州市詔安縣、沈陽市法庫縣、漢中市城固縣、蚌埠市五河縣、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、南昌市東湖區(qū)、白城市鎮(zhèn)賚縣、青島市市北區(qū)
北京市平谷區(qū)、衡陽市珠暉區(qū)、南平市武夷山市、臨沂市河?xùn)|區(qū)、上饒市鉛山縣、寧夏銀川市興慶區(qū)、鄭州市鞏義市、商洛市商南縣
本溪市明山區(qū)、商丘市夏邑縣、馬鞍山市博望區(qū)、三門峽市陜州區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、漯河市臨潁縣、鎮(zhèn)江市句容市、重慶市沙坪壩區(qū)、齊齊哈爾市克東縣
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內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、東莞市中堂鎮(zhèn)、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、重慶市渝中區(qū)、延安市宜川縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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