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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞

界面新聞記者 | 張熹瓏

廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)一業(yè)獨(dú)大。現(xiàn)在,這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。

523日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡稱“恒格微電子”)發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。

該設(shè)備突破了多項(xiàng)卡脖子技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。

恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作,一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議,將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā),推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用;另一家為三疊紀(jì)公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。

恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及,目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證,并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

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公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。

刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?,薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。

在全球市場上,海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。

隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm5nm3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。

這一背景下,國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。

一個(gè)標(biāo)志性事件為,深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。

ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。

與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。

而珠海除了恒格微電子,也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”,運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線,填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。

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數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元,同比增長22.46%,比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn),近五年年均增長率20.29%

珠海市2025年政府工作報(bào)告提出,推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500規(guī)模,爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。

但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年,設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元,占了大頭。對比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。

珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時(shí)提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè),接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。

珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞,機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對技術(shù)提出了更高的門檻。

“比如我們原來的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會提出芯片改版的需求,使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時(shí)會把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。

目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片,瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。

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