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重慶市梁平區(qū)、隨州市隨縣、宜賓市珙縣、廣西柳州市城中區(qū)、咸陽市秦都區(qū)、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、貴陽市花溪區(qū)、酒泉市敦煌市、徐州市銅山區(qū)
韶關(guān)市南雄市、沈陽市皇姑區(qū)、果洛達(dá)日縣、麗水市遂昌縣、信陽市光山縣、贛州市章貢區(qū)、深圳市光明區(qū)、宜賓市屏山縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)
濰坊市臨朐縣、北京市海淀區(qū)、雙鴨山市四方臺區(qū)、綏化市蘭西縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、清遠(yuǎn)市清城區(qū)
佳木斯市東風(fēng)區(qū)、武漢市江岸區(qū)、昭通市鎮(zhèn)雄縣、南通市海門區(qū)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、吉安市廬陵新區(qū)
亳州市利辛縣、河源市紫金縣、成都市郫都區(qū)、廣西桂林市疊彩區(qū)、鹽城市亭湖區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、淮安市淮陰區(qū)、洛陽市澗西區(qū)
黃南澤庫縣、臨汾市侯馬市、黔東南三穗縣、運(yùn)城市絳縣、咸陽市武功縣、哈爾濱市賓縣、衢州市龍游縣、威海市乳山市、咸寧市咸安區(qū)、清遠(yuǎn)市清城區(qū)
朔州市平魯區(qū)、大同市陽高縣、長沙市望城區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、宜春市上高縣
楚雄祿豐市、東營市利津縣、呂梁市方山縣、廣西南寧市馬山縣、楚雄大姚縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、荊門市掇刀區(qū)、威海市乳山市、濟(jì)南市歷下區(qū)
儋州市和慶鎮(zhèn)、曲靖市宣威市、昆明市呈貢區(qū)、陽泉市城區(qū)、聊城市冠縣、長沙市開福區(qū)
上海市黃浦區(qū)、六安市霍山縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、齊齊哈爾市拜泉縣、宜昌市枝江市、金華市武義縣、日照市五蓮縣
濟(jì)寧市嘉祥縣、濰坊市壽光市、廣西北海市銀海區(qū)、渭南市韓城市、揚(yáng)州市邗江區(qū)、六安市裕安區(qū)、定西市岷縣、杭州市余杭區(qū)
臨高縣臨城鎮(zhèn)、榆林市神木市、濟(jì)南市鋼城區(qū)、樂山市峨邊彝族自治縣、陽泉市平定縣、南陽市唐河縣、成都市蒲江縣、天水市武山縣、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、瓊海市會山鎮(zhèn)
延安市吳起縣、運(yùn)城市稷山縣、廣州市白云區(qū)、湖州市德清縣、濰坊市寒亭區(qū)
廣西賀州市富川瑤族自治縣、甘孜道孚縣、鐵嶺市西豐縣、臨汾市安澤縣、綿陽市游仙區(qū)、洛陽市洛龍區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)
黑河市嫩江市、廣西桂林市資源縣、南京市鼓樓區(qū)、果洛瑪沁縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、臺州市溫嶺市、濮陽市清豐縣
廣西柳州市融安縣、襄陽市?？悼h、棗莊市薛城區(qū)、葫蘆島市綏中縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)、黔西南安龍縣、遵義市赤水市
臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、漢中市留壩縣、盤錦市盤山縣、海東市樂都區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、濮陽市臺前縣、遼陽市宏偉區(qū)、汕頭市潮南區(qū)、新鄉(xiāng)市封丘縣
東方市江邊鄉(xiāng)、涼山美姑縣、滁州市定遠(yuǎn)縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗、杭州市上城區(qū)、焦作市山陽區(qū)、安康市平利縣、雞西市恒山區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、銅川市印臺區(qū)
鄭州市管城回族區(qū)、達(dá)州市大竹縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、盤錦市興隆臺區(qū)、蘇州市常熟市
蚌埠市禹會區(qū)、衢州市江山市、楚雄祿豐市、東莞市企石鎮(zhèn)、溫州市鹿城區(qū)、寧夏吳忠市利通區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、宜春市豐城市
汕頭市龍湖區(qū)、日照市莒縣、孝感市孝南區(qū)、延邊琿春市、臨汾市汾西縣、滁州市來安縣
襄陽市樊城區(qū)、西安市雁塔區(qū)、常德市漢壽縣、武威市古浪縣、延安市延川縣、廣西南寧市賓陽縣、廣西桂林市臨桂區(qū)、銅仁市萬山區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、荊門市東寶區(qū)
丹東市寬甸滿族自治縣、菏澤市鄆城縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、湛江市霞山區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、昆明市西山區(qū)、西安市臨潼區(qū)、昆明市盤龍區(qū)
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隴南市康縣、宜賓市長寧縣、常德市安鄉(xiāng)縣、太原市小店區(qū)、駐馬店市確山縣、廣西欽州市靈山縣、衢州市柯城區(qū)、淄博市臨淄區(qū)、海北剛察縣、江門市新會區(qū)
新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、撫順市東洲區(qū)、甘孜石渠縣、河源市連平縣、鷹潭市月湖區(qū)、濮陽市臺前縣
太原市婁煩縣、麗水市蓮都區(qū)、臨夏康樂縣、商丘市睢陽區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、南昌市新建區(qū)、定安縣嶺口鎮(zhèn)
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青島市市北區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、大連市沙河口區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、滁州市天長市、連云港市灌云縣、黔西南普安縣、牡丹江市綏芬河市、上海市閔行區(qū)
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湛江市遂溪縣、濮陽市范縣、阜陽市太和縣、駐馬店市驛城區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、岳陽市湘陰縣
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鹽城市鹽都區(qū)、直轄縣天門市、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、海南貴德縣、贛州市興國縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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