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內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、阜新市太平區(qū)、成都市新津區(qū)、重慶市永川區(qū)、忻州市偏關(guān)縣、淮安市清江浦區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)
哈爾濱市延壽縣、東方市大田鎮(zhèn)、南通市如東縣、晉城市陵川縣、蕪湖市灣沚區(qū)、昭通市巧家縣、廣西來賓市忻城縣
益陽市安化縣、宿遷市宿城區(qū)、南充市儀隴縣、慶陽市慶城縣、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、黃岡市紅安縣、紅河蒙自市、齊齊哈爾市龍沙區(qū)
日照市五蓮縣、咸陽市涇陽縣、吉安市吉安縣、東莞市中堂鎮(zhèn)、中山市坦洲鎮(zhèn)
樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、淄博市高青縣、眉山市仁壽縣、麗江市永勝縣、株洲市醴陵市、合肥市肥東縣、安慶市望江縣
內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、文山丘北縣、廣西南寧市橫州市、齊齊哈爾市泰來縣、成都市龍泉驛區(qū)、新鄉(xiāng)市長垣市、岳陽市臨湘市、郴州市臨武縣
東莞市厚街鎮(zhèn)、廣西崇左市大新縣、銅仁市德江縣、宣城市郎溪縣、宜賓市高縣、咸陽市彬州市、商丘市柘城縣、伊春市金林區(qū)、廣州市白云區(qū)
邵陽市雙清區(qū)、南京市秦淮區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、北京市東城區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗
鄂州市華容區(qū)、長沙市岳麓區(qū)、五指山市水滿、定西市安定區(qū)、重慶市石柱土家族自治縣、益陽市南縣
聊城市臨清市、沈陽市鐵西區(qū)、平頂山市郟縣、本溪市南芬區(qū)、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、瓊海市長坡鎮(zhèn)
南平市光澤縣、黔東南榕江縣、懷化市靖州苗族侗族自治縣、江門市開平市、合肥市肥東縣、平?jīng)鍪徐`臺縣、榆林市府谷縣、廣州市從化區(qū)、淮北市濉溪縣
海東市平安區(qū)、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、廣西柳州市鹿寨縣、聊城市臨清市、駐馬店市正陽縣、廣州市從化區(qū)、衡陽市珠暉區(qū)、紅河彌勒市、昭通市大關(guān)縣
涼山金陽縣、鄂州市華容區(qū)、廣元市朝天區(qū)、長治市武鄉(xiāng)縣、佛山市高明區(qū)、齊齊哈爾市克東縣
甘南合作市、南昌市東湖區(qū)、常德市澧縣、西安市未央?yún)^(qū)、東方市四更鎮(zhèn)、六安市葉集區(qū)、溫州市平陽縣、齊齊哈爾市依安縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)
清遠(yuǎn)市佛岡縣、重慶市豐都縣、本溪市桓仁滿族自治縣、吉安市吉州區(qū)、鄭州市登封市、深圳市龍華區(qū)
惠州市博羅縣、武漢市東西湖區(qū)、德州市寧津縣、伊春市嘉蔭縣、七臺河市茄子河區(qū)
六安市金寨縣、肇慶市廣寧縣、煙臺市牟平區(qū)、保山市龍陵縣、眉山市丹棱縣、開封市尉氏縣、鄭州市惠濟(jì)區(qū)
云浮市羅定市、遼陽市文圣區(qū)、南充市高坪區(qū)、白山市靖宇縣、深圳市坪山區(qū)、北京市昌平區(qū)
河源市連平縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、臺州市三門縣、阜新市海州區(qū)、煙臺市萊陽市
遼源市西安區(qū)、廣西桂林市興安縣、曲靖市沾益區(qū)、泉州市南安市、寧夏銀川市靈武市
莆田市荔城區(qū)、太原市迎澤區(qū)、蚌埠市蚌山區(qū)、吉安市泰和縣、廣西崇左市天等縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、黃岡市浠水縣、榆林市神木市、重慶市彭水苗族土家族自治縣
延安市黃龍縣、營口市老邊區(qū)、黔西南興仁市、長治市襄垣縣、蘇州市虎丘區(qū)、遼陽市宏偉區(qū)
滁州市鳳陽縣、達(dá)州市開江縣、銅陵市銅官區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、南通市海門區(qū)、肇慶市高要區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)、常德市鼎城區(qū)
東莞市石碣鎮(zhèn)、湘西州保靖縣、文山文山市、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、銅川市耀州區(qū)、安慶市望江縣
宿州市埇橋區(qū)、黑河市愛輝區(qū)、黔西南冊亨縣、樂山市峨邊彝族自治縣、伊春市友好區(qū)、陽泉市城區(qū)
菏澤市鄆城縣、濟(jì)南市歷下區(qū)、益陽市安化縣、常德市桃源縣、汕頭市南澳縣
四平市伊通滿族自治縣、廣西桂林市臨桂區(qū)、揚(yáng)州市邗江區(qū)、漳州市長泰區(qū)、平?jīng)鍪腥A亭縣、南平市邵武市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、成都市錦江區(qū)、湘西州瀘溪縣
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德陽市中江縣、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、遵義市余慶縣、延安市延川縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、泰州市海陵區(qū)、眉山市丹棱縣、湛江市坡頭區(qū)
岳陽市君山區(qū)、撫州市金溪縣、眉山市丹棱縣、忻州市五臺縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、阜新市清河門區(qū)、池州市青陽縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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