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玉溪市江川區(qū)、張掖市山丹縣、廣安市前鋒區(qū)、廣西南寧市上林縣、樂山市沐川縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、福州市倉山區(qū)、張掖市臨澤縣、渭南市蒲城縣
寧夏銀川市賀蘭縣、廣西桂林市臨桂區(qū)、襄陽市南漳縣、黔東南臺(tái)江縣、株洲市炎陵縣、衡陽市珠暉區(qū)、沈陽市沈河區(qū)
韶關(guān)市翁源縣、酒泉市敦煌市、紅河石屏縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、畢節(jié)市赫章縣、樂山市沙灣區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、晉城市高平市
漢中市佛坪縣、南平市浦城縣、東莞市企石鎮(zhèn)、瓊海市萬泉鎮(zhèn)、臨滄市鳳慶縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、昭通市綏江縣、錦州市古塔區(qū)
青島市市南區(qū)、駐馬店市泌陽縣、漢中市洋縣、昭通市巧家縣、廣西河池市大化瑤族自治縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、攀枝花市東區(qū)
玉溪市易門縣、楚雄元謀縣、陽泉市平定縣、?？谑行阌^(qū)、鹽城市阜寧縣、臺(tái)州市溫嶺市、韶關(guān)市曲江區(qū)
寧夏銀川市賀蘭縣、肇慶市封開縣、廣州市花都區(qū)、永州市東安縣、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、中山市東區(qū)街道、定西市安定區(qū)、廣西梧州市藤縣、廣西桂林市臨桂區(qū)
三門峽市盧氏縣、鶴壁市?？h、運(yùn)城市萬榮縣、濟(jì)南市平陰縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、廣西桂林市灌陽縣、朔州市平魯區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、甘孜白玉縣、十堰市竹山縣
韶關(guān)市仁化縣、贛州市贛縣區(qū)、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、商丘市睢陽區(qū)、七臺(tái)河市勃利縣、煙臺(tái)市萊山區(qū)
淮北市杜集區(qū)、臨滄市滄源佤族自治縣、惠州市龍門縣、宜賓市南溪區(qū)、雅安市漢源縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、廣西柳州市城中區(qū)、臨夏臨夏縣
五指山市毛道、三明市沙縣區(qū)、廣西北海市合浦縣、文山馬關(guān)縣、阜陽市界首市、中山市阜沙鎮(zhèn)、贛州市龍南市
甘孜巴塘縣、洛陽市洛寧縣、郴州市蘇仙區(qū)、嘉興市海寧市、黔東南臺(tái)江縣、蘇州市虎丘區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)
延安市延川縣、德州市德城區(qū)、長治市襄垣縣、葫蘆島市建昌縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、吉林市豐滿區(qū)、邵陽市邵東市
巴中市通江縣、宜昌市枝江市、西安市周至縣、大同市新榮區(qū)、河源市紫金縣、綏化市肇東市
瓊海市陽江鎮(zhèn)、忻州市河曲縣、南平市松溪縣、十堰市鄖陽區(qū)、雅安市漢源縣、長春市二道區(qū)、晉中市平遙縣、焦作市修武縣
鶴崗市蘿北縣、三明市明溪縣、十堰市丹江口市、遼源市龍山區(qū)、文昌市重興鎮(zhèn)
上海市黃浦區(qū)、六安市霍山縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、齊齊哈爾市拜泉縣、宜昌市枝江市、金華市武義縣、日照市五蓮縣
廣西百色市田陽區(qū)、重慶市潼南區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)、淮安市金湖縣、西安市高陵區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、平?jīng)鍪星f浪縣、九江市永修縣、蚌埠市龍子湖區(qū)
東莞市厚街鎮(zhèn)、洛陽市洛龍區(qū)、九江市廬山市、昆明市尋甸回族彝族自治縣、西安市長安區(qū)、廣西崇左市龍州縣、五指山市南圣
荊州市松滋市、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、三明市大田縣、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、寧夏固原市涇源縣、東方市江邊鄉(xiāng)、濟(jì)寧市曲阜市
南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、三明市永安市、南昌市青山湖區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、鹽城市東臺(tái)市
果洛瑪多縣、黑河市孫吳縣、重慶市忠縣、德陽市綿竹市、呂梁市臨縣
周口市商水縣、昆明市嵩明縣、湘西州吉首市、廣西南寧市邕寧區(qū)、金華市永康市、九江市德安縣、北京市平谷區(qū)、溫州市龍灣區(qū)、玉溪市澄江市、吉安市安?？h
廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、哈爾濱市木蘭縣、運(yùn)城市夏縣、紹興市嵊州市、贛州市興國縣、馬鞍山市雨山區(qū)
張家界市桑植縣、東莞市清溪鎮(zhèn)、文山丘北縣、渭南市華陰市、甘孜鄉(xiāng)城縣、玉溪市峨山彝族自治縣、信陽市淮濱縣、蘭州市安寧區(qū)、銅川市宜君縣
泉州市洛江區(qū)、巴中市平昌縣、南通市海安市、廣西賀州市富川瑤族自治縣、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、德陽市旌陽區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、蘇州市張家港市、珠海市金灣區(qū)、廣元市蒼溪縣
九江市濂溪區(qū)、臨汾市永和縣、平頂山市魯山縣、南平市邵武市、達(dá)州市開江縣、榆林市靖邊縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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