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上海市徐匯區(qū)、廣西北海市合浦縣、東營(yíng)市廣饒縣、定西市安定區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、中山市小欖鎮(zhèn)
婁底市雙峰縣、沈陽市和平區(qū)、阜陽市潁泉區(qū)、楚雄南華縣、紹興市柯橋區(qū)、南平市武夷山市
銅仁市印江縣、武漢市漢南區(qū)、大理劍川縣、東莞市厚街鎮(zhèn)、廣西柳州市融水苗族自治縣、焦作市馬村區(qū)
無錫市濱湖區(qū)、惠州市博羅縣、上海市閔行區(qū)、南昌市安義縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、武漢市黃陂區(qū)、襄陽市老河口市
昭通市威信縣、廣安市前鋒區(qū)、榆林市米脂縣、撫州市樂安縣、泰安市寧陽縣、廣西賀州市富川瑤族自治縣
梅州市梅江區(qū)、泰州市靖江市、鄭州市二七區(qū)、衡陽市南岳區(qū)、黔東南錦屏縣
麗水市蓮都區(qū)、湘西州古丈縣、昭通市魯?shù)榭h、廣西玉林市博白縣、商丘市睢陽區(qū)、懷化市洪江市、南平市政和縣、廣西玉林市興業(yè)縣
福州市臺(tái)江區(qū)、金華市永康市、汕頭市潮南區(qū)、呂梁市柳林縣、南昌市青云譜區(qū)、雙鴨山市友誼縣、文山硯山縣、周口市商水縣
陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、廣西欽州市欽北區(qū)、大同市平城區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、重慶市巫溪縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)
邵陽市城步苗族自治縣、荊州市松滋市、宣城市郎溪縣、阜新市細(xì)河區(qū)、昭通市大關(guān)縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、佳木斯市湯原縣、佳木斯市樺南縣、貴陽市開陽縣
瓊海市龍江鎮(zhèn)、忻州市寧武縣、貴陽市清鎮(zhèn)市、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、開封市杞縣
臨高縣臨城鎮(zhèn)、漳州市南靖縣、淮南市潘集區(qū)、廣西桂林市永福縣、廣安市廣安區(qū)
撫州市黎川縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽市、九江市濂溪區(qū)、吉林市豐滿區(qū)
漢中市洋縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、永州市江永縣、文昌市潭牛鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣
六安市裕安區(qū)、合肥市巢湖市、宜賓市珙縣、涼山布拖縣、吉林市蛟河市、廣西桂林市永?？h、宜春市銅鼓縣、南京市溧水區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)、福州市臺(tái)江區(qū)
大連市金州區(qū)、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、濰坊市寒亭區(qū)、德州市德城區(qū)、中山市南頭鎮(zhèn)、宣城市郎溪縣、深圳市坪山區(qū)、紅河蒙自市、鐵嶺市西豐縣、廣西南寧市賓陽縣
樂山市犍為縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、黔南龍里縣、武威市民勤縣、福州市福清市
廣西貴港市覃塘區(qū)、吉安市井岡山市、咸寧市通城縣、忻州市神池縣、黃南澤庫縣、臨汾市大寧縣、商洛市丹鳳縣
涼山美姑縣、廣西南寧市青秀區(qū)、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、伊春市烏翠區(qū)、煙臺(tái)市棲霞市、麗江市華坪縣
龍巖市連城縣、廣西來賓市忻城縣、榆林市吳堡縣、運(yùn)城市新絳縣、天津市紅橋區(qū)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、海南共和縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、臨夏和政縣
黃石市鐵山區(qū)、商丘市永城市、文昌市公坡鎮(zhèn)、臨沂市羅莊區(qū)、達(dá)州市通川區(qū)
內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、濮陽市南樂縣、駐馬店市遂平縣、葫蘆島市南票區(qū)、泰安市泰山區(qū)、佳木斯市郊區(qū)、漢中市佛坪縣、瀘州市合江縣、上饒市廣豐區(qū)
黔西南普安縣、寶雞市金臺(tái)區(qū)、上饒市廣信區(qū)、酒泉市敦煌市、株洲市蘆淞區(qū)、江門市開平市、五指山市南圣、六安市金安區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)
白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、永州市雙牌縣、紅河綠春縣、廣州市越秀區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、昆明市西山區(qū)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、東莞市道滘鎮(zhèn)
張家界市慈利縣、滁州市鳳陽縣、渭南市富平縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、臨汾市大寧縣、平頂山市湛河區(qū)
曲靖市馬龍區(qū)、北京市密云區(qū)、紅河紅河縣、濱州市無棣縣、廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、成都市蒲江縣
重慶市涪陵區(qū)、漢中市洋縣、南陽市西峽縣、蘭州市安寧區(qū)、湛江市徐聞縣、安陽市龍安區(qū)、甘南瑪曲縣、鎮(zhèn)江市丹陽市
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玉溪市新平彝族傣族自治縣、遼陽市燈塔市、眉山市彭山區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣、達(dá)州市通川區(qū)、滁州市天長(zhǎng)市、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、蘭州市西固區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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