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太原市婁煩縣、甘南卓尼縣、延邊圖們市、太原市尖草坪區(qū)、成都市新都區(qū)、黔南龍里縣、鄭州市鞏義市、成都市成華區(qū)、廣西貴港市平南縣
雞西市恒山區(qū)、玉溪市易門(mén)縣、錦州市太和區(qū)、寶雞市麟游縣、駐馬店市泌陽(yáng)縣、白銀市平川區(qū)、衢州市龍游縣、荊門(mén)市掇刀區(qū)
廣西來(lái)賓市合山市、南京市雨花臺(tái)區(qū)、九江市瑞昌市、北京市密云區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)、梅州市梅江區(qū)、天津市河北區(qū)、果洛班瑪縣、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣
通化市輝南縣、儋州市南豐鎮(zhèn)、黃石市黃石港區(qū)、本溪市溪湖區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、黔東南劍河縣、文昌市昌灑鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市城步苗族自治縣
宜賓市敘州區(qū)、龍巖市上杭縣、文昌市潭牛鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市句容市、綏化市北林區(qū)、銅仁市碧江區(qū)
丹東市寬甸滿族自治縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、黃南尖扎縣、臺(tái)州市仙居縣、九江市共青城市、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、重慶市北碚區(qū)、龍巖市連城縣、溫州市龍港市、聊城市東阿縣
廣西梧州市蒙山縣、大同市平城區(qū)、漯河市召陵區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、阜新市清河門(mén)區(qū)
南陽(yáng)市淅川縣、黔南都勻市、鶴崗市興安區(qū)、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、涼山甘洛縣、樂(lè)山市井研縣、吉安市吉水縣、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市
淮北市相山區(qū)、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、隴南市西和縣、濟(jì)寧市嘉祥縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣、佛山市南海區(qū)、銅川市耀州區(qū)、遵義市綏陽(yáng)縣、福州市臺(tái)江區(qū)、上海市靜安區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、張掖市肅南裕固族自治縣、張掖市民樂(lè)縣、南昌市西湖區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、十堰市房縣、隴南市禮縣、黑河市五大連池市、鹽城市阜寧縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
吉安市遂川縣、珠海市金灣區(qū)、天津市南開(kāi)區(qū)、蘇州市常熟市、張家界市慈利縣、云浮市新興縣
菏澤市成武縣、梅州市興寧市、菏澤市單縣、阜陽(yáng)市界首市、貴陽(yáng)市開(kāi)陽(yáng)縣、黔西南普安縣、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、泰州市泰興市
大慶市林甸縣、駐馬店市平輿縣、黃岡市黃梅縣、黃岡市麻城市、運(yùn)城市垣曲縣、沈陽(yáng)市和平區(qū)
佛山市順德區(qū)、大理鶴慶縣、寧夏吳忠市同心縣、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、紅河綠春縣、襄陽(yáng)市老河口市、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)
蘇州市常熟市、南昌市青云譜區(qū)、上饒市玉山縣、濟(jì)南市歷城區(qū)、洛陽(yáng)市洛寧縣、樂(lè)山市金口河區(qū)
廣西玉林市玉州區(qū)、日照市莒縣、荊門(mén)市東寶區(qū)、河源市龍川縣、懷化市沅陵縣、六安市裕安區(qū)、成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市、青島市嶗山區(qū)、屯昌縣新興鎮(zhèn)、甘孜爐霍縣
廣西欽州市靈山縣、迪慶德欽縣、宿州市埇橋區(qū)、朔州市平魯區(qū)、銅仁市德江縣
綏化市海倫市、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、南陽(yáng)市新野縣、孝感市孝南區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)、云浮市新興縣、廣西柳州市城中區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)、廣西百色市樂(lè)業(yè)縣、鹽城市建湖縣
上海市閔行區(qū)、重慶市奉節(jié)縣、陽(yáng)江市江城區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、貴陽(yáng)市息烽縣、沈陽(yáng)市沈河區(qū)、重慶市忠縣、慶陽(yáng)市合水縣
贛州市石城縣、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)、楚雄永仁縣、永州市道縣、銅仁市江口縣、涼山甘洛縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、南通市通州區(qū)、駐馬店市上蔡縣、信陽(yáng)市潢川縣
廣西柳州市魚(yú)峰區(qū)、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、東莞市企石鎮(zhèn)、北京市昌平區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、臨高縣多文鎮(zhèn)
南京市玄武區(qū)、亳州市渦陽(yáng)縣、商洛市柞水縣、鹽城市東臺(tái)市、廣西河池市金城江區(qū)、運(yùn)城市新絳縣、福州市倉(cāng)山區(qū)、安康市鎮(zhèn)坪縣
雞西市麻山區(qū)、武漢市漢南區(qū)、張家界市武陵源區(qū)、廣西百色市平果市、西安市臨潼區(qū)、眉山市洪雅縣、郴州市安仁縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、忻州市保德縣
平頂山市魯山縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、呂梁市交口縣、齊齊哈爾市甘南縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、甘南合作市、湘西州古丈縣、南昌市進(jìn)賢縣、廣州市越秀區(qū)
樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、金華市義烏市、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、玉樹(shù)治多縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、濱州市惠民縣、日照市莒縣
岳陽(yáng)市云溪區(qū)、日照市東港區(qū)、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、黔西南安龍縣、蚌埠市蚌山區(qū)、迪慶香格里拉市、麗江市古城區(qū)、雅安市名山區(qū)、銅陵市樅陽(yáng)縣
呂梁市交口縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、紹興市新昌縣、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、中山市南區(qū)街道、西安市未央?yún)^(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、廣西來(lái)賓市象州縣、鹽城市東臺(tái)市
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保山市昌寧縣、常州市天寧區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、黃岡市黃梅縣、日照市五蓮縣、南充市南部縣、聊城市臨清市、甘孜色達(dá)縣
海西蒙古族烏蘭縣、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、漢中市漢臺(tái)區(qū)、福州市永泰縣、重慶市潼南區(qū)、運(yùn)城市河津市、武威市古浪縣、本溪市南芬區(qū)、蕪湖市灣沚區(qū)、吉林市昌邑區(qū)
本溪市桓仁滿族自治縣、海西蒙古族烏蘭縣、北京市懷柔區(qū)、大慶市讓胡路區(qū)、聊城市東阿縣、韶關(guān)市樂(lè)昌市、巴中市通江縣、臨汾市浮山縣、鶴崗市興山區(qū)
長(zhǎng)春市寬城區(qū)、慶陽(yáng)市合水縣、銅仁市沿河土家族自治縣、甘孜康定市、雙鴨山市集賢縣
淮南市壽縣、通化市二道江區(qū)、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、德州市寧津縣、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、廣西柳州市柳城縣、甘孜稻城縣、南陽(yáng)市淅川縣、楚雄永仁縣
松原市扶余市、衢州市衢江區(qū)、張掖市甘州區(qū)、昆明市晉寧區(qū)、六安市霍邱縣、麗水市慶元縣
平?jīng)鍪星f浪縣、鄂州市梁子湖區(qū)、楚雄牟定縣、成都市新都區(qū)、丹東市東港市、貴陽(yáng)市白云區(qū)、大理劍川縣、襄陽(yáng)市宜城市、咸陽(yáng)市秦都區(qū)、渭南市富平縣
韶關(guān)市新豐縣、雙鴨山市集賢縣、洛陽(yáng)市洛寧縣、黃南澤庫(kù)縣、文昌市蓬萊鎮(zhèn)
重慶市城口縣、邵陽(yáng)市綏寧縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、杭州市濱江區(qū)、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市土默特右旗、重慶市潼南區(qū)、遵義市紅花崗區(qū)
宿州市蕭縣、泰安市東平縣、廣西欽州市欽南區(qū)、濱州市鄒平市、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、黔東南榕江縣、信陽(yáng)市浉河區(qū)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、黃石市西塞山區(qū)
南京市浦口區(qū)、臨夏永靖縣、深圳市龍華區(qū)、涼山布拖縣、德州市陵城區(qū)、杭州市臨安區(qū)、上饒市鄱陽(yáng)縣
牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、寧德市壽寧縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、黑河市五大連池市、信陽(yáng)市羅山縣、河源市和平縣、淮北市杜集區(qū)、惠州市惠城區(qū)、寧德市古田縣、忻州市繁峙縣
洛陽(yáng)市欒川縣、忻州市神池縣、杭州市西湖區(qū)、許昌市建安區(qū)、漢中市勉縣、寶雞市隴縣、安順市平壩區(qū)、中山市三角鎮(zhèn)、懷化市靖州苗族侗族自治縣
重慶市墊江縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、貴陽(yáng)市開(kāi)陽(yáng)縣、舟山市定海區(qū)、黔南三都水族自治縣、泉州市惠安縣、邵陽(yáng)市隆回縣、邵陽(yáng)市北塔區(qū)
貴陽(yáng)市白云區(qū)、延邊琿春市、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、畢節(jié)市大方縣、廣西玉林市博白縣、眉山市丹棱縣、溫州市鹿城區(qū)、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、文山馬關(guān)縣
福州市晉安區(qū)、漢中市寧強(qiáng)縣、廣西貴港市港北區(qū)、江門(mén)市臺(tái)山市、蕪湖市弋江區(qū)、阿壩藏族羌族自治州汶川縣
鄭州市鞏義市、資陽(yáng)市安岳縣、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、吉安市萬(wàn)安縣、南陽(yáng)市南召縣、葫蘆島市興城市、安陽(yáng)市文峰區(qū)、鐵嶺市鐵嶺縣
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淮安市清江浦區(qū)、西雙版納勐臘縣、濟(jì)寧市任城區(qū)、忻州市保德縣、紅河河口瑤族自治縣、蚌埠市淮上區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、安陽(yáng)市林州市、溫州市龍灣區(qū)
太原市陽(yáng)曲縣、宜春市奉新縣、朝陽(yáng)市建平縣、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、中山市民眾鎮(zhèn)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、臨汾市隰縣、廣西玉林市博白縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、郴州市資興市
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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