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達(dá)州市渠縣、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、伊春市大箐山縣、滁州市定遠(yuǎn)縣、杭州市臨安區(qū)
鶴壁市山城區(qū)、杭州市濱江區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、郴州市宜章縣、北京市大興區(qū)、本溪市桓仁滿族自治縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
吉安市新干縣、湛江市霞山區(qū)、普洱市景谷傣族彝族自治縣、馬鞍山市當(dāng)涂縣、榆林市靖邊縣、云浮市羅定市、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、黃石市陽(yáng)新縣、邵陽(yáng)市城步苗族自治縣、汕尾市陸河縣
平頂山市郟縣、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、郴州市宜章縣、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、迪慶維西傈僳族自治縣、渭南市華陰市、鐵嶺市鐵嶺縣、遵義市桐梓縣、隴南市徽縣、淮南市大通區(qū)
惠州市博羅縣、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、文昌市重興鎮(zhèn)、哈爾濱市阿城區(qū)、九江市共青城市、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市綏寧縣
福州市閩清縣、孝感市漢川市、宜昌市宜都市、甘孜九龍縣、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、隨州市曾都區(qū)、焦作市沁陽(yáng)市
杭州市富陽(yáng)區(qū)、恩施州利川市、廣安市前鋒區(qū)、晉中市壽陽(yáng)縣、長(zhǎng)治市黎城縣、武威市涼州區(qū)、廣西南寧市上林縣
九江市永修縣、安康市白河縣、泉州市洛江區(qū)、南昌市東湖區(qū)、濱州市惠民縣
廣西河池市南丹縣、九江市瑞昌市、廣西南寧市武鳴區(qū)、平?jīng)鍪星f浪縣、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、常德市澧縣
果洛甘德縣、荊州市公安縣、北京市昌平區(qū)、九江市都昌縣、濰坊市青州市、溫州市龍灣區(qū)
商洛市商南縣、淮北市烈山區(qū)、牡丹江市寧安市、寧德市屏南縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)
黃石市鐵山區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、南平市浦城縣、周口市太康縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、廣西百色市隆林各族自治縣、?？谑旋埲A區(qū)、鞍山市立山區(qū)、牡丹江市東寧市
九江市彭澤縣、重慶市南岸區(qū)、臨汾市襄汾縣、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、榆林市佳縣、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)、眉山市東坡區(qū)、婁底市婁星區(qū)、宜昌市猇亭區(qū)、成都市青白江區(qū)
遵義市紅花崗區(qū)、南陽(yáng)市西峽縣、青島市城陽(yáng)區(qū)、徐州市云龍區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、青島市市南區(qū)
上饒市鉛山縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、通化市梅河口市、重慶市渝北區(qū)、咸陽(yáng)市三原縣、菏澤市定陶區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、齊齊哈爾市建華區(qū)、白銀市景泰縣、牡丹江市東寧市
安順市西秀區(qū)、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、贛州市上猶縣、西安市臨潼區(qū)
臨汾市曲沃縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州小金縣、焦作市武陟縣、臺(tái)州市天臺(tái)縣、泰安市岱岳區(qū)、黔東南丹寨縣、安順市西秀區(qū)、上海市寶山區(qū)
定安縣嶺口鎮(zhèn)、黔東南麻江縣、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、遼陽(yáng)市白塔區(qū)、綿陽(yáng)市涪城區(qū)、湖州市安吉縣、廣西來(lái)賓市合山市
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樂(lè)東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、甘孜巴塘縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、紅河蒙自市
宿遷市泗洪縣、湘西州鳳凰縣、廣西欽州市欽北區(qū)、南陽(yáng)市方城縣、鷹潭市月湖區(qū)、莆田市秀嶼區(qū)、孝感市孝昌縣、肇慶市端州區(qū)、天津市寧河區(qū)
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廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、株洲市炎陵縣、溫州市文成縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、北京市房山區(qū)、寶雞市陳倉(cāng)區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”。現(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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