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江門市臺山市、曲靖市宣威市、安康市鎮(zhèn)坪縣、張家界市武陵源區(qū)、太原市尖草坪區(qū)、襄陽市?？悼h、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、安陽市內(nèi)黃縣
永州市冷水灘區(qū)、荊門市京山市、嘉興市秀洲區(qū)、怒江傈僳族自治州瀘水市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、青島市市南區(qū)、淄博市沂源縣、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、五指山市番陽、運城市鹽湖區(qū)
?？谑行阌^(qū)、齊齊哈爾市依安縣、鹽城市射陽縣、廣西桂林市靈川縣、蘇州市吳江區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣
雅安市雨城區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、佳木斯市前進區(qū)、北京市懷柔區(qū)、宿州市蕭縣、臨沂市臨沭縣、邵陽市大祥區(qū)、阿壩藏族羌族自治州理縣、九江市濂溪區(qū)、九江市彭澤縣
大理彌渡縣、廈門市海滄區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、隨州市曾都區(qū)、廣西南寧市武鳴區(qū)、松原市寧江區(qū)、漳州市長泰區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、黔東南黎平縣
河源市東源縣、曲靖市會澤縣、連云港市灌云縣、撫順市望花區(qū)、湘潭市岳塘區(qū)、涼山會東縣、重慶市開州區(qū)
溫州市文成縣、東莞市莞城街道、酒泉市金塔縣、婁底市新化縣、六安市金安區(qū)、雞西市恒山區(qū)、四平市鐵東區(qū)、中山市三角鎮(zhèn)、株洲市茶陵縣、荊州市公安縣
大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、泉州市安溪縣、宜春市萬載縣、孝感市大悟縣、七臺河市茄子河區(qū)、儋州市東成鎮(zhèn)
忻州市五臺縣、德州市慶云縣、涼山越西縣、忻州市原平市、寶雞市金臺區(qū)、大理大理市、玉樹囊謙縣、綿陽市涪城區(qū)、宿遷市泗陽縣、麗水市縉云縣
贛州市上猶縣、南昌市安義縣、紹興市越城區(qū)、北京市密云區(qū)、周口市項城市、玉樹雜多縣、大理漾濞彝族自治縣、綏化市慶安縣、錦州市古塔區(qū)、陽泉市礦區(qū)
宣城市涇縣、洛陽市瀍河回族區(qū)、大理巍山彝族回族自治縣、麗水市景寧畬族自治縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、濟寧市兗州區(qū)
煙臺市龍口市、樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、臨夏臨夏市、西寧市城中區(qū)、杭州市西湖區(qū)、萬寧市北大鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、遼陽市白塔區(qū)
內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、臨高縣新盈鎮(zhèn)、成都市彭州市、襄陽市襄州區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、樂山市馬邊彝族自治縣、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、瓊海市大路鎮(zhèn)、濰坊市壽光市
內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、沈陽市康平縣、三明市沙縣區(qū)、鷹潭市余江區(qū)、金華市金東區(qū)、郴州市蘇仙區(qū)、安陽市滑縣
朝陽市雙塔區(qū)、南昌市南昌縣、運城市稷山縣、海西蒙古族烏蘭縣、馬鞍山市和縣、東營市廣饒縣、吉安市安?？h、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣
德州市平原縣、宜春市高安市、沈陽市于洪區(qū)、衢州市衢江區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、儋州市南豐鎮(zhèn)、涼山會理市、宣城市廣德市
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、海東市民和回族土族自治縣、開封市鼓樓區(qū)、合肥市巢湖市、廈門市同安區(qū)
漢中市勉縣、中山市東區(qū)街道、銅陵市郊區(qū)、菏澤市巨野縣、文昌市鋪前鎮(zhèn)、大連市瓦房店市、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、雞西市麻山區(qū)
溫州市平陽縣、昭通市綏江縣、沈陽市遼中區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、丹東市振安區(qū)
金華市永康市、贛州市章貢區(qū)、忻州市原平市、德宏傣族景頗族自治州芒市、河源市東源縣、甘孜新龍縣、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、湛江市赤坎區(qū)、泉州市石獅市
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贛州市崇義縣、撫州市黎川縣、成都市雙流區(qū)、贛州市南康區(qū)、廣西河池市天峨縣
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樂山市五通橋區(qū)、宜昌市西陵區(qū)、三明市明溪縣、濟寧市魚臺縣、隴南市宕昌縣、隴南市西和縣
自貢市大安區(qū)、伊春市伊美區(qū)、紅河河口瑤族自治縣、內(nèi)江市資中縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、大理永平縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、定西市通渭縣、舟山市定海區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)模化應(yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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