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伊春市鐵力市、金華市蘭溪市、宣城市廣德市、宿州市泗縣、紅河紅河縣、撫州市南城縣
通化市通化縣、淮安市淮安區(qū)、泉州市晉江市、黃岡市紅安縣、晉中市太谷區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、懷化市中方縣、咸陽(yáng)市淳化縣
牡丹江市西安區(qū)、太原市迎澤區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、深圳市龍華區(qū)、徐州市泉山區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、吉林市磐石市、隨州市曾都區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、延安市甘泉縣
廣西柳州市柳南區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、廣西桂林市全州縣、泰安市泰山區(qū)、牡丹江市穆棱市、長(zhǎng)治市沁源縣
重慶市酉陽(yáng)縣、曲靖市宣威市、畢節(jié)市大方縣、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、新余市渝水區(qū)、寧德市福鼎市、贛州市尋烏縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、錦州市北鎮(zhèn)市
汕頭市澄海區(qū)、云浮市云城區(qū)、菏澤市成武縣、廣西百色市田東縣、寧夏吳忠市青銅峽市、隴南市成縣、徐州市沛縣
中山市橫欄鎮(zhèn)、儋州市中和鎮(zhèn)、無(wú)錫市新吳區(qū)、黔東南丹寨縣、營(yíng)口市大石橋市、朔州市山陰縣、周口市鹿邑縣、廣西河池市天峨縣、揚(yáng)州市儀征市、呂梁市中陽(yáng)縣
文昌市鋪前鎮(zhèn)、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、宜昌市秭歸縣、東莞市寮步鎮(zhèn)、淮北市相山區(qū)
白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、吉安市青原區(qū)、廣西賀州市鐘山縣、隴南市文縣、荊州市洪湖市、達(dá)州市渠縣、臨汾市浮山縣
泉州市德化縣、信陽(yáng)市商城縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)、廣西防城港市港口區(qū)、攀枝花市米易縣、青島市黃島區(qū)、廣西防城港市上思縣、廣西柳州市柳城縣、紅河元陽(yáng)縣、昆明市富民縣
廣元市昭化區(qū)、成都市郫都區(qū)、開(kāi)封市蘭考縣、杭州市上城區(qū)、昭通市大關(guān)縣、宜昌市秭歸縣
中山市南區(qū)街道、揭陽(yáng)市揭西縣、泰安市寧陽(yáng)縣、安陽(yáng)市安陽(yáng)縣、池州市東至縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、洛陽(yáng)市西工區(qū)、深圳市龍崗區(qū)
咸陽(yáng)市三原縣、吉安市井岡山市、廣州市荔灣區(qū)、天津市西青區(qū)、孝感市孝南區(qū)、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、南充市營(yíng)山縣、鄂州市梁子湖區(qū)、延安市子長(zhǎng)市、沈陽(yáng)市遼中區(qū)
湘潭市雨湖區(qū)、洛陽(yáng)市欒川縣、遵義市湄潭縣、商洛市洛南縣、惠州市惠陽(yáng)區(qū)
儋州市峨蔓鎮(zhèn)、榆林市靖邊縣、金華市浦江縣、廣西桂林市靈川縣、延安市富縣
廣西欽州市靈山縣、商洛市山陽(yáng)縣、青島市萊西市、渭南市澄城縣、揚(yáng)州市邗江區(qū)
嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、泉州市金門(mén)縣、咸陽(yáng)市淳化縣、梅州市興寧市、臨汾市大寧縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、湛江市遂溪縣
衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、麗水市慶元縣、朔州市山陰縣、商丘市夏邑縣、成都市成華區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、無(wú)錫市惠山區(qū)
吉林市舒蘭市、定安縣新竹鎮(zhèn)、鶴崗市興安區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、濟(jì)寧市汶上縣、天津市寧河區(qū)、襄陽(yáng)市宜城市
營(yíng)口市蓋州市、紹興市嵊州市、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)、綏化市明水縣、棗莊市山亭區(qū)、潮州市湘橋區(qū)、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣
太原市萬(wàn)柏林區(qū)、廈門(mén)市思明區(qū)、溫州市文成縣、海西蒙古族格爾木市、黃石市黃石港區(qū)、撫州市樂(lè)安縣、延安市甘泉縣、眉山市洪雅縣、晉城市城區(qū)
天水市張家川回族自治縣、運(yùn)城市河津市、濰坊市高密市、涼山昭覺(jué)縣、荊門(mén)市京山市、大同市云州區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、昭通市永善縣、平頂山市新華區(qū)
西安市未央?yún)^(qū)、遂寧市大英縣、蘇州市昆山市、湖州市長(zhǎng)興縣、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、平頂山市魯山縣、長(zhǎng)春市綠園區(qū)
內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、通化市梅河口市、揭陽(yáng)市揭西縣、金華市浦江縣、麗江市玉龍納西族自治縣、牡丹江市穆棱市、畢節(jié)市大方縣、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、濱州市陽(yáng)信縣、長(zhǎng)治市屯留區(qū)
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天津市河?xùn)|區(qū)、甘孜巴塘縣、永州市新田縣、滁州市南譙區(qū)、大理大理市、日照市五蓮縣、商洛市柞水縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、遂寧市大英縣、臨滄市臨翔區(qū)
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晉中市昔陽(yáng)縣、寧夏吳忠市鹽池縣、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)、陽(yáng)泉市平定縣、哈爾濱市道外區(qū)、鶴壁市淇濱區(qū)、酒泉市金塔縣
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雅安市漢源縣、廣西桂林市七星區(qū)、遼源市龍山區(qū)、普洱市西盟佤族自治縣、德州市寧津縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、甘孜瀘定縣、上海市金山區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、上饒市信州區(qū)
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠(chǎng)驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠(chǎng)商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線(xiàn)，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠(chǎng)商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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