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嘉興市南湖區(qū)、阜陽市太和縣、茂名市茂南區(qū)、重慶市江北區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)、青島市市北區(qū)、臨沂市費(fèi)縣、婁底市雙峰縣、涼山喜德縣
九江市修水縣、湘西州保靖縣、吉林市蛟河市、福州市晉安區(qū)、遂寧市船山區(qū)、揚(yáng)州市江都區(qū)、泉州市晉江市、酒泉市瓜州縣、直轄縣天門市、平頂山市魯山縣
巴中市南江縣、馬鞍山市博望區(qū)、涼山美姑縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、錦州市凌河區(qū)、無錫市惠山區(qū)、濰坊市青州市、臨汾市浮山縣、淮南市壽縣
臨汾市堯都區(qū)、衢州市龍游縣、廣安市華鎣市、晉中市昔陽縣、白山市長白朝鮮族自治縣
合肥市肥東縣、咸陽市旬邑縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、十堰市丹江口市、本溪市溪湖區(qū)
衢州市柯城區(qū)、天水市清水縣、南充市順慶區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣、吉林市蛟河市、鄭州市新密市、成都市金牛區(qū)
鄭州市管城回族區(qū)、荊州市石首市、威海市榮成市、宜春市銅鼓縣、九江市武寧縣、大理大理市、天津市津南區(qū)、臨沂市蘭山區(qū)
忻州市靜樂縣、涼山越西縣、連云港市灌云縣、衡陽市雁峰區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、河源市龍川縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、宿遷市沭陽縣、荊州市松滋市
忻州市寧武縣、重慶市永川區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、齊齊哈爾市泰來縣、深圳市光明區(qū)、太原市陽曲縣、牡丹江市綏芬河市
鞍山市鐵東區(qū)、平?jīng)鍪袥艽h、孝感市孝昌縣、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、濱州市鄒平市
廣西欽州市欽南區(qū)、遵義市桐梓縣、丹東市東港市、鶴壁市浚縣、伊春市大箐山縣、德州市平原縣、鞍山市立山區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、吉林市豐滿區(qū)、海南貴德縣、重慶市秀山縣、溫州市永嘉縣、運(yùn)城市新絳縣、昭通市巧家縣、焦作市武陟縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、眉山市彭山區(qū)
新余市分宜縣、南通市崇川區(qū)、呂梁市交城縣、廣州市越秀區(qū)、撫州市南豐縣、海南貴德縣、海南同德縣
西雙版納勐?？h、漢中市略陽縣、周口市淮陽區(qū)、贛州市于都縣、福州市福清市、沈陽市皇姑區(qū)、忻州市定襄縣
鞍山市鐵東區(qū)、宜賓市筠連縣、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)、臨夏臨夏縣、臨沂市臨沭縣
九江市武寧縣、九江市湖口縣、巴中市恩陽區(qū)、重慶市巫溪縣、淄博市桓臺縣
上饒市余干縣、朔州市朔城區(qū)、吉安市吉水縣、珠海市金灣區(qū)、雙鴨山市友誼縣、衡陽市蒸湘區(qū)、重慶市璧山區(qū)、銅川市宜君縣、孝感市安陸市
安康市石泉縣、廣西防城港市上思縣、七臺河市勃利縣、東莞市東城街道、贛州市于都縣、商丘市虞城縣
天水市清水縣、武漢市黃陂區(qū)、佛山市順德區(qū)、南京市雨花臺區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、太原市清徐縣
榆林市佳縣、菏澤市曹縣、汕頭市潮陽區(qū)、果洛瑪沁縣、威海市環(huán)翠區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、漢中市寧強(qiáng)縣、東營市利津縣、肇慶市廣寧縣
西安市蓮湖區(qū)、濱州市無棣縣、臨沂市沂水縣、荊門市沙洋縣、孝感市孝南區(qū)、通化市梅河口市、重慶市大足區(qū)、廣西桂林市資源縣、宜春市萬載縣
揚(yáng)州市江都區(qū)、重慶市永川區(qū)、安康市旬陽市、廣西玉林市興業(yè)縣、天水市張家川回族自治縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣
西寧市湟源縣、鹽城市射陽縣、?？谑旋埲A區(qū)、菏澤市成武縣、蘇州市吳江區(qū)、黃山市黃山區(qū)、濟(jì)南市歷下區(qū)、南平市建陽區(qū)、宿州市碭山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗
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文山廣南縣、遵義市湄潭縣、運(yùn)城市河津市、廣西桂林市龍勝各族自治縣、天津市濱海新區(qū)、宜春市銅鼓縣、衡陽市南岳區(qū)、遵義市桐梓縣、廣西河池市鳳山縣、曲靖市沾益區(qū)
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河源市紫金縣、瀘州市合江縣、煙臺市龍口市、安慶市岳西縣、河源市和平縣、達(dá)州市開江縣、廈門市海滄區(qū)、晉中市祁縣、寧德市古田縣、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)
西安市周至縣、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、平頂山市寶豐縣、成都市溫江區(qū)、中山市神灣鎮(zhèn)、大連市西崗區(qū)、泰安市東平縣
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內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、上海市楊浦區(qū)、白城市洮南市、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、丹東市振興區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、紅河瀘西縣、東方市大田鎮(zhèn)
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許昌市魏都區(qū)、亳州市蒙城縣、菏澤市單縣、畢節(jié)市納雍縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、海南貴南縣、岳陽市岳陽樓區(qū)、哈爾濱市木蘭縣、五指山市毛陽
廣西桂林市平樂縣、新鄉(xiāng)市原陽縣、成都市金堂縣、黔西南普安縣、寧夏固原市涇源縣、漳州市東山縣、淄博市周村區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣、佛山市順德區(qū)
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東莞市大嶺山鎮(zhèn)、駐馬店市確山縣、儋州市海頭鎮(zhèn)、天津市和平區(qū)、白城市鎮(zhèn)賚縣、洛陽市偃師區(qū)、徐州市睢寧縣、廣西玉林市福綿區(qū)、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、南陽市西峽縣
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鹽城市鹽都區(qū)、咸陽市興平市、三門峽市陜州區(qū)、淄博市張店區(qū)、三亞市海棠區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、許昌市鄢陵縣、九江市彭澤縣、徐州市新沂市
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運(yùn)泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學(xué)芯片全自動測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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