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平?jīng)鍪腥A亭縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、大理漾濞彝族自治縣、汕尾市陸河縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、邵陽市北塔區(qū)、寶雞市扶風(fēng)縣
武漢市洪山區(qū)、玉樹治多縣、佳木斯市向陽區(qū)、西安市灞橋區(qū)、龍巖市漳平市、玉溪市通?？h、晉城市城區(qū)
郴州市臨武縣、廣西來賓市興賓區(qū)、梅州市豐順縣、泉州市南安市、婁底市雙峰縣、淄博市淄川區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、濰坊市昌邑市
朝陽市雙塔區(qū)、南昌市南昌縣、運(yùn)城市稷山縣、海西蒙古族烏蘭縣、馬鞍山市和縣、東營市廣饒縣、吉安市安?？h、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣
榆林市清澗縣、澄邁縣加樂鎮(zhèn)、黔東南丹寨縣、懷化市通道侗族自治縣、廣西梧州市蒼梧縣、長沙市雨花區(qū)、天水市秦安縣、汕頭市潮陽區(qū)
甘孜雅江縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、蚌埠市淮上區(qū)、延邊圖們市、三門峽市澠池縣、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、安康市白河縣、成都市蒲江縣、廣西梧州市萬秀區(qū)
紅河石屏縣、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、武漢市黃陂區(qū)、撫順市撫順縣、甘孜白玉縣、株洲市天元區(qū)、榆林市橫山區(qū)
慶陽市鎮(zhèn)原縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、銅陵市義安區(qū)、保山市騰沖市、海西蒙古族天峻縣
白城市通榆縣、遵義市湄潭縣、安慶市大觀區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)、十堰市丹江口市、湘潭市岳塘區(qū)、漳州市龍海區(qū)、瀘州市瀘縣
遵義市仁懷市、宿州市靈璧縣、松原市寧江區(qū)、哈爾濱市通河縣、廣西梧州市長洲區(qū)
荊州市洪湖市、廣西河池市天峨縣、沈陽市法庫縣、貴陽市白云區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)
安慶市望江縣、梅州市大埔縣、哈爾濱市香坊區(qū)、武漢市硚口區(qū)、梅州市梅江區(qū)、威海市榮成市
鎮(zhèn)江市句容市、漢中市略陽縣、黃石市下陸區(qū)、安陽市內(nèi)黃縣、紅河個(gè)舊市、平?jīng)鍪腥A亭縣
岳陽市君山區(qū)、邵陽市邵東市、孝感市孝昌縣、大理大理市、清遠(yuǎn)市連州市
荊州市洪湖市、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、四平市梨樹縣、寶雞市太白縣、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、韶關(guān)市南雄市、臺(tái)州市玉環(huán)市、遵義市習(xí)水縣、成都市彭州市
懷化市中方縣、北京市房山區(qū)、遼源市西安區(qū)、丹東市東港市、通化市柳河縣、紹興市新昌縣
濱州市惠民縣、鎮(zhèn)江市句容市、阜新市細(xì)河區(qū)、青島市嶗山區(qū)、樂山市峨邊彝族自治縣、延邊汪清縣、濮陽市臺(tái)前縣、臨夏臨夏縣、臨汾市隰縣
平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、吉林市永吉縣、慶陽市西峰區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、廣西梧州市萬秀區(qū)、黔東南從江縣、沈陽市渾南區(qū)
曲靖市會(huì)澤縣、湘西州永順縣、莆田市城廂區(qū)、齊齊哈爾市依安縣、廣西賀州市八步區(qū)、宿州市靈璧縣、重慶市合川區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣、南昌市南昌縣
朝陽市北票市、吉林市昌邑區(qū)、延安市宜川縣、黃岡市英山縣、盤錦市雙臺(tái)子區(qū)
宜昌市五峰土家族自治縣、甘南卓尼縣、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、營口市鲅魚圈區(qū)、吉林市豐滿區(qū)、安慶市懷寧縣、盤錦市盤山縣、涼山金陽縣
焦作市博愛縣、上海市黃浦區(qū)、撫順市新賓滿族自治縣、四平市鐵東區(qū)、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、吉林市船營區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣
孝感市漢川市、涼山寧南縣、洛陽市老城區(qū)、寧夏固原市涇源縣、淮南市大通區(qū)、沈陽市法庫縣、泰州市泰興市、海北剛察縣
無錫市宜興市、撫順市順城區(qū)、哈爾濱市延壽縣、大理洱源縣、天水市武山縣、肇慶市高要區(qū)、三亞市海棠區(qū)、洛陽市洛寧縣、許昌市鄢陵縣
金華市金東區(qū)、廣西玉林市玉州區(qū)、鞍山市千山區(qū)、濟(jì)南市長清區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、寧波市鄞州區(qū)、攀枝花市仁和區(qū)、昭通市昭陽區(qū)、杭州市桐廬縣、成都市龍泉驛區(qū)
七臺(tái)河市茄子河區(qū)、上饒市鄱陽縣、鐵嶺市西豐縣、遼陽市弓長嶺區(qū)、淮安市漣水縣、上饒市廣豐區(qū)、天津市東麗區(qū)
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宜昌市夷陵區(qū)、潮州市饒平縣、廣西河池市天峨縣、南昌市南昌縣、寧夏銀川市永寧縣、臨滄市臨翔區(qū)、江門市臺(tái)山市、濟(jì)南市萊蕪區(qū)
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郴州市北湖區(qū)、淮安市洪澤區(qū)、信陽市新縣、泰州市靖江市、淮安市淮陰區(qū)、佳木斯市湯原縣
涼山昭覺縣、金華市武義縣、衢州市柯城區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、韶關(guān)市樂昌市、嘉興市海鹽縣、葫蘆島市建昌縣、牡丹江市陽明區(qū)、懷化市溆浦縣、沈陽市和平區(qū)
廣西桂林市疊彩區(qū)、葫蘆島市綏中縣、惠州市惠陽區(qū)、成都市郫都區(qū)、咸寧市通山縣、東方市東河鎮(zhèn)、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、中山市坦洲鎮(zhèn)
東營市利津縣、七臺(tái)河市勃利縣、運(yùn)城市河津市、成都市蒲江縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、忻州市原平市、玉樹雜多縣、慶陽市西峰區(qū)
無錫市錫山區(qū)、渭南市潼關(guān)縣、寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、邵陽市隆回縣、昆明市安寧市、亳州市蒙城縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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