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宜昌市枝江市、日照市莒縣、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、焦作市山陽區(qū)、榆林市清澗縣、廈門市同安區(qū)、攀枝花市西區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、徐州市鼓樓區(qū)
玉溪市江川區(qū)、撫順市順城區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、呂梁市孝義市、東莞市麻涌鎮(zhèn)、廣州市黃埔區(qū)、菏澤市巨野縣、徐州市睢寧縣、惠州市博羅縣、佳木斯市樺川縣
岳陽市平江縣、泰州市興化市、葫蘆島市連山區(qū)、晉中市榆社縣、渭南市華州區(qū)、銅川市王益區(qū)、永州市雙牌縣、延安市洛川縣、信陽市平橋區(qū)、慶陽市西峰區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、定西市漳縣、泉州市豐澤區(qū)、葫蘆島市建昌縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、廣西柳州市魚峰區(qū)、永州市道縣、安康市嵐皋縣、慶陽市慶城縣
中山市東鳳鎮(zhèn)、延邊汪清縣、紅河開遠(yuǎn)市、自貢市自流井區(qū)、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、臨沂市蒙陰縣、伊春市嘉蔭縣、綏化市綏棱縣、郴州市蘇仙區(qū)、德陽市綿竹市
深圳市南山區(qū)、眉山市洪雅縣、巴中市通江縣、連云港市灌云縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)、平頂山市葉縣、文山麻栗坡縣、樂山市沐川縣、撫順市東洲區(qū)
臨汾市襄汾縣、太原市迎澤區(qū)、白銀市景泰縣、甘孜鄉(xiāng)城縣、龍巖市上杭縣
德州市禹城市、榆林市子洲縣、成都市簡(jiǎn)陽市、臨滄市耿馬傣族佤族自治縣、朔州市平魯區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣
商丘市永城市、濟(jì)南市歷城區(qū)、邵陽市北塔區(qū)、廣安市鄰水縣、沈陽市皇姑區(qū)、保山市施甸縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)
撫州市黎川縣、黃山市祁門縣、晉中市祁縣、南昌市南昌縣、北京市平谷區(qū)、廣西南寧市馬山縣、湖州市長興縣、黔東南凱里市、安慶市宿松縣
瓊海市中原鎮(zhèn)、伊春市豐林縣、廣西崇左市憑祥市、株洲市攸縣、十堰市張灣區(qū)
重慶市銅梁區(qū)、白山市臨江市、東莞市清溪鎮(zhèn)、延安市富縣、南昌市南昌縣、雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、廣西桂林市平樂縣、上饒市橫峰縣
龍巖市上杭縣、廣西梧州市蒼梧縣、海東市平安區(qū)、遼源市龍山區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、廣元市旺蒼縣、廣西柳州市柳南區(qū)
延安市洛川縣、天津市南開區(qū)、佳木斯市湯原縣、臺(tái)州市臨海市、舟山市普陀區(qū)、漢中市鎮(zhèn)巴縣、宜賓市翠屏區(qū)
連云港市灌南縣、昆明市宜良縣、通化市梅河口市、伊春市鐵力市、汕尾市海豐縣、葫蘆島市建昌縣、通化市通化縣、商洛市鎮(zhèn)安縣
甘孜九龍縣、南通市海門區(qū)、平頂山市舞鋼市、荊州市石首市、涼山木里藏族自治縣、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、黑河市遜克縣
海北門源回族自治縣、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、眉山市丹棱縣、臨汾市吉縣、東莞市石排鎮(zhèn)、肇慶市封開縣、蘭州市安寧區(qū)、周口市淮陽區(qū)、銅仁市江口縣
廣安市武勝縣、渭南市白水縣、松原市乾安縣、瓊海市長坡鎮(zhèn)、長沙市芙蓉區(qū)、常州市新北區(qū)、朔州市平魯區(qū)
廣西桂林市荔浦市、哈爾濱市平房區(qū)、東方市江邊鄉(xiāng)、南陽市鎮(zhèn)平縣、漢中市洋縣、淮安市淮陰區(qū)、榆林市吳堡縣、中山市東區(qū)街道
運(yùn)城市垣曲縣、河源市龍川縣、泉州市鯉城區(qū)、黔東南錦屏縣、營口市西市區(qū)、鞍山市海城市、廣安市武勝縣、白銀市靖遠(yuǎn)縣
臨滄市永德縣、北京市平谷區(qū)、漳州市東山縣、楚雄雙柏縣、眉山市東坡區(qū)、上饒市廣信區(qū)、長治市壺關(guān)縣、宿遷市宿豫區(qū)
內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、撫州市資溪縣、內(nèi)江市東興區(qū)、阜新市海州區(qū)、佳木斯市樺川縣、開封市鼓樓區(qū)、南陽市新野縣、中山市五桂山街道
泉州市鯉城區(qū)、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、南平市建甌市、南京市鼓樓區(qū)、湛江市遂溪縣、遼源市東遼縣、涼山昭覺縣、廣州市越秀區(qū)
安慶市望江縣、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、渭南市澄城縣、濮陽市范縣、廣安市廣安區(qū)、渭南市蒲城縣、青島市即墨區(qū)、無錫市江陰市、成都市錦江區(qū)、屯昌縣新興鎮(zhèn)
新鄉(xiāng)市長垣市、永州市雙牌縣、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、雅安市天全縣、廣西百色市田東縣、錦州市黑山縣、雅安市名山區(qū)
淄博市淄川區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、遼陽市燈塔市、湘潭市湘潭縣、鐵嶺市西豐縣
十堰市竹溪縣、運(yùn)城市萬榮縣、哈爾濱市松北區(qū)、焦作市中站區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、泉州市泉港區(qū)
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楚雄永仁縣、南陽市桐柏縣、東莞市東坑鎮(zhèn)、北京市東城區(qū)、撫州市黎川縣
上海市崇明區(qū)、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、鄭州市鞏義市、上饒市婺源縣、甘南合作市、江門市恩平市、鞍山市臺(tái)安縣、鞍山市岫巖滿族自治縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗
南陽市方城縣、海東市互助土族自治縣、淮南市壽縣、成都市邛崍市、沈陽市于洪區(qū)、延安市黃陵縣、果洛甘德縣、慶陽市華池縣、濱州市陽信縣、紹興市諸暨市
伊春市南岔縣、惠州市惠城區(qū)、成都市邛崍市、滁州市明光市、大同市天鎮(zhèn)縣、莆田市涵江區(qū)、楚雄雙柏縣、宜春市上高縣、揭陽市榕城區(qū)
蘇州市常熟市、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、梅州市五華縣、商洛市商州區(qū)、黑河市嫩江市、楚雄大姚縣、東莞市企石鎮(zhèn)、濮陽市范縣、重慶市涪陵區(qū)
臨夏永靖縣、齊齊哈爾市訥河市、泰州市海陵區(qū)、北京市房山區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣、重慶市巴南區(qū)、吉安市吉水縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、南昌市灣里區(qū)
長沙市開福區(qū)、安陽市內(nèi)黃縣、隴南市禮縣、廣西桂林市平樂縣、渭南市臨渭區(qū)、洛陽市偃師區(qū)、黔東南岑鞏縣
潮州市饒平縣、北京市順義區(qū)、徐州市鼓樓區(qū)、畢節(jié)市織金縣、德州市禹城市、菏澤市鄄城縣、阿壩藏族羌族自治州茂縣、晉中市太谷區(qū)、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)
安康市漢陰縣、紹興市上虞區(qū)、南平市政和縣、常州市天寧區(qū)、遼陽市白塔區(qū)、綿陽市平武縣
南充市營山縣、馬鞍山市雨山區(qū)、白銀市平川區(qū)、南平市政和縣、咸寧市通山縣、淮安市漣水縣、達(dá)州市宣漢縣、長春市農(nóng)安縣、麗江市永勝縣、淄博市張店區(qū)
上海市浦東新區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、孝感市孝南區(qū)、丹東市寬甸滿族自治縣、三沙市南沙區(qū)、福州市福清市、玉樹稱多縣、陽泉市礦區(qū)、廣元市青川縣
廣西賀州市平桂區(qū)、上饒市德興市、楚雄牟定縣、肇慶市鼎湖區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、商丘市夏邑縣、呂梁市離石區(qū)、平?jīng)鍪星f浪縣
開封市通許縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)、甘孜九龍縣、益陽市赫山區(qū)、陽江市陽春市、廣州市海珠區(qū)、伊春市金林區(qū)、廣西欽州市浦北縣
南通市海安市、眉山市東坡區(qū)、瀘州市古藺縣、永州市江永縣、海西蒙古族都蘭縣、臨高縣波蓮鎮(zhèn)
廣州市荔灣區(qū)、安慶市潛山市、新鄉(xiāng)市封丘縣、三門峽市澠池縣、定安縣嶺口鎮(zhèn)、廣安市華鎣市、西安市碑林區(qū)、洛陽市偃師區(qū)
臨汾市霍州市、淄博市周村區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、重慶市墊江縣、臨高縣皇桐鎮(zhèn)、太原市萬柏林區(qū)
廣西桂林市資源縣、達(dá)州市開江縣、衢州市開化縣、晉中市左權(quán)縣、上饒市玉山縣、文山文山市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗
昭通市魯?shù)榭h、涼山會(huì)東縣、上海市青浦區(qū)、宜昌市枝江市、吉安市廬陵新區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、東莞市萬江街道、邵陽市新寧縣、儋州市白馬井鎮(zhèn)、蕪湖市鏡湖區(qū)
寧波市江北區(qū)、長春市雙陽區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、茂名市化州市、大慶市肇州縣、海南共和縣
楚雄牟定縣、玉溪市澄江市、齊齊哈爾市富裕縣、大理洱源縣、甘南合作市
五指山市南圣、云浮市羅定市、陽泉市城區(qū)、黃山市屯溪區(qū)、遼源市西安區(qū)、商丘市虞城縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、贛州市定南縣
大同市廣靈縣、惠州市惠陽區(qū)、寧夏中衛(wèi)市海原縣、廣西南寧市江南區(qū)、南京市秦淮區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、臨汾市汾西縣、大連市沙河口區(qū)、湘西州瀘溪縣
攀枝花市東區(qū)、池州市石臺(tái)縣、東營市河口區(qū)、洛陽市欒川縣、東方市感城鎮(zhèn)、撫順市順城區(qū)、龍巖市永定區(qū)、南陽市淅川縣、襄陽市襄州區(qū)
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洛陽市偃師區(qū)、十堰市茅箭區(qū)、普洱市思茅區(qū)、眉山市仁壽縣、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)
安康市漢陰縣、重慶市南川區(qū)、綿陽市安州區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、南昌市西湖區(qū)、哈爾濱市尚志市
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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