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黃岡市黃梅縣、河源市東源縣、贛州市于都縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、東莞市黃江鎮(zhèn)
上饒市鉛山縣、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)、通化市梅河口市、重慶市渝北區(qū)、咸陽(yáng)市三原縣、菏澤市定陶區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、齊齊哈爾市建華區(qū)、白銀市景泰縣、牡丹江市東寧市
新鄉(xiāng)市封丘縣、臨沂市莒南縣、杭州市臨安區(qū)、佳木斯市向陽(yáng)區(qū)、黔南荔波縣、廣安市武勝縣、濰坊市寒亭區(qū)、海北祁連縣、運(yùn)城市稷山縣
廣西梧州市藤縣、本溪市南芬區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、岳陽(yáng)市云溪區(qū)、許昌市魏都區(qū)、揚(yáng)州市儀征市、洛陽(yáng)市西工區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)
湘西州永順縣、紅河紅河縣、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、德陽(yáng)市羅江區(qū)、紅河蒙自市、宿遷市沭陽(yáng)縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)
廣元市昭化區(qū)、臨夏和政縣、黔南都勻市、涼山德昌縣、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣、本溪市本溪滿族自治縣、瓊海市萬(wàn)泉鎮(zhèn)、遵義市播州區(qū)、重慶市江津區(qū)
安慶市望江縣、泉州市洛江區(qū)、儋州市光村鎮(zhèn)、深圳市光明區(qū)、吉安市萬(wàn)安縣、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、商丘市柘城縣、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣
廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、黔東南雷山縣、涼山鹽源縣、文昌市翁田鎮(zhèn)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)
隴南市成縣、重慶市江北區(qū)、成都市錦江區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)、贛州市崇義縣、楚雄姚安縣、榆林市靖邊縣
廣西玉林市福綿區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、大連市長(zhǎng)海縣、安康市嵐皋縣、德宏傣族景頗族自治州芒市、濰坊市壽光市、龍巖市連城縣、丹東市寬甸滿族自治縣
青島市萊西市、保山市施甸縣、內(nèi)江市市中區(qū)、遼源市西安區(qū)、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣、煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、贛州市于都縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、酒泉市金塔縣、大同市天鎮(zhèn)縣
焦作市山陽(yáng)區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、廣西南寧市橫州市、哈爾濱市雙城區(qū)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、泰州市泰興市、重慶市大足區(qū)、鄭州市金水區(qū)、紅河建水縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、永州市新田縣、黔西南興仁市、南充市高坪區(qū)、平頂山市新華區(qū)、許昌市建安區(qū)
呂梁市石樓縣、泰州市靖江市、宜春市奉新縣、葫蘆島市龍港區(qū)、杭州市下城區(qū)
臨沂市莒南縣、黔東南麻江縣、齊齊哈爾市克東縣、黃石市陽(yáng)新縣、周口市鄲城縣、寧夏固原市西吉縣、延安市延長(zhǎng)縣、德陽(yáng)市綿竹市、文昌市東郊鎮(zhèn)
黔西南興仁市、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、廣西欽州市浦北縣、重慶市巫山縣、南通市如皋市、廣西防城港市上思縣、臨汾市大寧縣、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、眉山市東坡區(qū)
益陽(yáng)市沅江市、黑河市嫩江市、濰坊市濰城區(qū)、上海市奉賢區(qū)、阜新市海州區(qū)
清遠(yuǎn)市清新區(qū)、益陽(yáng)市沅江市、牡丹江市海林市、廈門(mén)市翔安區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、慶陽(yáng)市慶城縣、商丘市夏邑縣、延安市黃陵縣
沈陽(yáng)市新民市、玉溪市江川區(qū)、北京市通州區(qū)、大慶市紅崗區(qū)、南陽(yáng)市鄧州市、廣州市越秀區(qū)、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、商丘市永城市、東莞市謝崗鎮(zhèn)
湛江市遂溪縣、周口市淮陽(yáng)區(qū)、九江市濂溪區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市開(kāi)魯縣、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣、??谑协偵絽^(qū)、鄭州市金水區(qū)、菏澤市巨野縣、晉中市祁縣、寧德市古田縣
涼山美姑縣、海北剛察縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、雙鴨山市寶山區(qū)、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、天津市北辰區(qū)、舟山市岱山縣、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、廣西百色市樂(lè)業(yè)縣、丹東市東港市
長(zhǎng)春市綠園區(qū)、安陽(yáng)市殷都區(qū)、黔東南劍河縣、郴州市汝城縣、信陽(yáng)市平橋區(qū)
臨高縣東英鎮(zhèn)、南平市光澤縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、南通市海門(mén)區(qū)、海北剛察縣、淄博市桓臺(tái)縣、海南貴南縣、福州市連江縣
東莞市清溪鎮(zhèn)、棗莊市市中區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、麗江市永勝縣、晉中市介休市、廣州市白云區(qū)
宜春市萬(wàn)載縣、贛州市興國(guó)縣、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、定安縣定城鎮(zhèn)、晉中市祁縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、佳木斯市樺南縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣
長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、潮州市饒平縣、渭南市澄城縣、寧德市古田縣、三明市寧化縣、安慶市桐城市、上饒市廣豐區(qū)
隴南市成縣、湖州市長(zhǎng)興縣、馬鞍山市和縣、蘇州市虎丘區(qū)、四平市伊通滿族自治縣
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廣西來(lái)賓市合山市、清遠(yuǎn)市連州市、宜昌市秭歸縣、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣、忻州市河曲縣、武威市天祝藏族自治縣、廣西梧州市蒼梧縣、東方市新龍鎮(zhèn)、阜陽(yáng)市潁州區(qū)
楚雄祿豐市、東營(yíng)市利津縣、呂梁市方山縣、廣西南寧市馬山縣、楚雄大姚縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、荊門(mén)市掇刀區(qū)、威海市乳山市、濟(jì)南市歷下區(qū)
贛州市上猶縣、湛江市霞山區(qū)、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、榆林市吳堡縣、中山市五桂山街道、平頂山市舞鋼市、伊春市伊美區(qū)
甘孜得榮縣、臨高縣臨城鎮(zhèn)、駐馬店市平輿縣、三明市建寧縣、重慶市開(kāi)州區(qū)、白銀市景泰縣、延邊圖們市、麗水市景寧畬族自治縣
呂梁市方山縣、遼陽(yáng)市白塔區(qū)、株洲市荷塘區(qū)、婁底市婁星區(qū)、榆林市子洲縣、寧夏吳忠市利通區(qū)、焦作市山陽(yáng)區(qū)、臨夏永靖縣、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)
漳州市龍文區(qū)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、金華市浦江縣、重慶市合川區(qū)、黔東南黃平縣、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、臨汾市吉縣、臨沂市平邑縣、九江市都昌縣、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)
揚(yáng)州市廣陵區(qū)、德州市禹城市、衢州市柯城區(qū)、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、隨州市曾都區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)
北京市順義區(qū)、鹽城市東臺(tái)市、定西市岷縣、東莞市茶山鎮(zhèn)、南平市建陽(yáng)區(qū)、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、吉安市峽江縣、玉溪市華寧縣、內(nèi)江市隆昌市、三明市三元區(qū)
南京市浦口區(qū)、黔西南望謨縣、長(zhǎng)治市黎城縣、伊春市友好區(qū)、阜陽(yáng)市太和縣、昆明市石林彝族自治縣
北京市順義區(qū)、營(yíng)口市站前區(qū)、福州市平潭縣、婁底市新化縣、寧夏銀川市永寧縣、大理彌渡縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、恩施州來(lái)鳳縣
寧夏吳忠市青銅峽市、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、郴州市汝城縣、商洛市商州區(qū)、定西市臨洮縣
馬鞍山市花山區(qū)、晉中市榆社縣、文昌市潭牛鎮(zhèn)、佛山市順德區(qū)、重慶市沙坪壩區(qū)
晉城市沁水縣、聊城市茌平區(qū)、福州市馬尾區(qū)、合肥市包河區(qū)、廣州市花都區(qū)、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、江門(mén)市江海區(qū)、黃石市陽(yáng)新縣
涼山會(huì)東縣、哈爾濱市道外區(qū)、吉林市舒蘭市、安慶市潛山市、呂梁市交口縣
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朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、廣西河池市南丹縣、黔南貴定縣、宜昌市伍家崗區(qū)、煙臺(tái)市海陽(yáng)市、黃石市下陸區(qū)、廣西防城港市防城區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣、四平市鐵西區(qū)、德州市齊河縣
蘇州市吳江區(qū)、廣元市利州區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、長(zhǎng)治市平順縣、許昌市長(zhǎng)葛市、雙鴨山市尖山區(qū)
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海東市民和回族土族自治縣、綿陽(yáng)市江油市、濰坊市諸城市、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、中山市坦洲鎮(zhèn)、甘南夏河縣、黔西南普安縣
儋州市蘭洋鎮(zhèn)、玉樹(shù)雜多縣、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、海西蒙古族茫崖市、益陽(yáng)市南縣、銅川市印臺(tái)區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、黔東南丹寨縣、無(wú)錫市江陰市、南通市海門(mén)區(qū)
雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、宿遷市泗陽(yáng)縣、日照市莒縣、張家界市武陵源區(qū)、岳陽(yáng)市君山區(qū)、成都市彭州市
荊州市公安縣、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、本溪市明山區(qū)、伊春市湯旺縣、貴陽(yáng)市白云區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)西縣、綏化市海倫市、荊州市松滋市、河源市紫金縣
涼山越西縣、蘇州市吳中區(qū)、棗莊市薛城區(qū)、許昌市魏都區(qū)、池州市青陽(yáng)縣、肇慶市封開(kāi)縣
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甘孜稻城縣、孝感市安陸市、大慶市紅崗區(qū)、漳州市東山縣、六安市舒城縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、臨滄市永德縣、廣西桂林市資源縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè),國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一,但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?,F(xiàn)在,這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日,珠海恒格微電子裝備有限公司(簡(jiǎn)稱“恒格微電子”)發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備,標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題,具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn),可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域,適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示,目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作,一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè),雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議,將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā),推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?;瘧?yīng)用;另一家為三疊紀(jì)公司,雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及,目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證,并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段,現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。

恒格微電子成立于2005年,公司官網(wǎng)顯示,主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域,包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。

公司方面表示,最早專注于PCB設(shè)備,此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步,近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道,聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié),根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞,半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān),因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用,例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?,薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備,共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上,海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示,2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體(46.71%)、東京電子(26.57%)和應(yīng)用材料(16.96%)三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升,對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展,其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下,國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中,大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為,深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備,其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備(ETCH),包括CCP(電容耦合等離子刻蝕)、ICP(電感耦合等離子體干法刻蝕)、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝,是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟,與光刻相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備,能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕,兼容多種半導(dǎo)體材料,刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子,也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”,運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線,填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。

數(shù)據(jù)顯示,2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元,同比增長(zhǎng)22.46%,比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn),近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出,推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模,爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年,設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元,占了大頭。對(duì)比之下,生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到,當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”,集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮,加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè),接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞,機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向,現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中,AI業(yè)務(wù)都有所增加,也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片,其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算,這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求,使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片,AI芯片需要更高算力,有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起,工藝也會(huì)更加復(fù)雜?!秉S道遠(yuǎn)表示。
目前,凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片,也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片,瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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