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重慶市潼南區(qū)、上饒市德興市、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、臺(tái)州市玉環(huán)市、贛州市尋烏縣
臺(tái)州市臨海市、濱州市無(wú)棣縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、廣西百色市田東縣、煙臺(tái)市海陽(yáng)市、淄博市臨淄區(qū)、遵義市湄潭縣、邵陽(yáng)市大祥區(qū)、濱州市陽(yáng)信縣、果洛瑪多縣
文昌市抱羅鎮(zhèn)、東莞市南城街道、合肥市廬江縣、深圳市羅湖區(qū)、沈陽(yáng)市康平縣、天津市河?xùn)|區(qū)
東莞市沙田鎮(zhèn)、海西蒙古族天峻縣、漢中市寧強(qiáng)縣、玉樹(shù)曲麻萊縣、長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)、湘西州保靖縣、贛州市尋烏縣、株洲市石峰區(qū)
重慶市南川區(qū)、廣西百色市田東縣、黃石市黃石港區(qū)、平頂山市郟縣、雙鴨山市饒河縣、蘭州市七里河區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、東莞市虎門(mén)鎮(zhèn)、泰安市泰山區(qū)、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、德州市慶云縣、雙鴨山市寶清縣、宜賓市南溪區(qū)、宜昌市遠(yuǎn)安縣、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市德惠市
湛江市徐聞縣、阜新市彰武縣、達(dá)州市渠縣、眉山市丹棱縣、杭州市建德市、葫蘆島市興城市、寧德市柘榮縣
煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、永州市江永縣、十堰市竹溪縣、江門(mén)市恩平市、營(yíng)口市站前區(qū)
鶴崗市興山區(qū)、安陽(yáng)市殷都區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、三沙市南沙區(qū)、麗水市縉云縣、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、福州市平潭縣
中山市南朗鎮(zhèn)、懷化市通道侗族自治縣、運(yùn)城市永濟(jì)市、咸陽(yáng)市旬邑縣、贛州市石城縣、大理賓川縣、牡丹江市林口縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)
安慶市迎江區(qū)、衢州市衢江區(qū)、遵義市正安縣、天水市秦安縣、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、白銀市白銀區(qū)
渭南市白水縣、中山市南區(qū)街道、呂梁市興縣、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、茂名市高州市、鹽城市阜寧縣、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣、南昌市西湖區(qū)
武漢市江夏區(qū)、孝感市孝昌縣、徐州市邳州市、廣西貴港市港南區(qū)、煙臺(tái)市福山區(qū)、晉中市和順縣、泉州市德化縣
韶關(guān)市翁源縣、太原市清徐縣、蕪湖市鳩江區(qū)、麗江市永勝縣、楚雄大姚縣、棗莊市滕州市、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)
臨汾市翼城縣、衡陽(yáng)市雁峰區(qū)、昆明市盤(pán)龍區(qū)、梅州市五華縣、溫州市泰順縣、泉州市南安市、淮安市金湖縣、成都市溫江區(qū)、亳州市蒙城縣、樂(lè)東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)
眉山市洪雅縣、宿遷市泗陽(yáng)縣、伊春市伊美區(qū)、寧夏銀川市靈武市、黃南尖扎縣、煙臺(tái)市萊山區(qū)
臨滄市滄源佤族自治縣、朝陽(yáng)市凌源市、渭南市韓城市、鞍山市鐵西區(qū)、鄭州市新鄭市、駐馬店市上蔡縣、黔西南興仁市、廣西柳州市柳南區(qū)
德州市禹城市、延安市宜川縣、徐州市沛縣、湛江市吳川市、郴州市宜章縣、吉林市昌邑區(qū)、運(yùn)城市絳縣、廣西崇左市憑祥市、自貢市榮縣、延安市富縣
濰坊市安丘市、黔南羅甸縣、寶雞市岐山縣、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、武威市民勤縣、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、攀枝花市鹽邊縣
撫州市南城縣、無(wú)錫市錫山區(qū)、渭南市白水縣、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、鶴壁市淇濱區(qū)、蘭州市榆中縣、寧夏吳忠市利通區(qū)、隴南市西和縣、株洲市茶陵縣、太原市尖草坪區(qū)
涼山會(huì)理市、上饒市廣信區(qū)、周口市西華縣、衢州市常山縣、黃岡市黃州區(qū)、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、寧德市柘榮縣
咸陽(yáng)市乾縣、東莞市清溪鎮(zhèn)、中山市東升鎮(zhèn)、西寧市城中區(qū)、三門(mén)峽市義馬市
咸陽(yáng)市興平市、廣元市劍閣縣、雙鴨山市饒河縣、澄邁縣老城鎮(zhèn)、玉樹(shù)玉樹(shù)市、中山市阜沙鎮(zhèn)
昆明市嵩明縣、朝陽(yáng)市北票市、蘇州市張家港市、杭州市拱墅區(qū)、南陽(yáng)市西峽縣、重慶市城口縣
甘南卓尼縣、朔州市山陰縣、眉山市東坡區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市東河區(qū)、東莞市中堂鎮(zhèn)、合肥市肥西縣
荊州市石首市、廣安市前鋒區(qū)、伊春市大箐山縣、上饒市廣豐區(qū)、洛陽(yáng)市西工區(qū)、黔西南興義市、保山市騰沖市、朔州市山陰縣
廣西河池市宜州區(qū)、東莞市東城街道、綿陽(yáng)市北川羌族自治縣、東莞市常平鎮(zhèn)、楚雄雙柏縣
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武漢市江岸區(qū)、海口市龍華區(qū)、長(zhǎng)春市二道區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、廣西崇左市憑祥市、達(dá)州市通川區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、臨滄市臨翔區(qū)
德宏傣族景頗族自治州芒市、南陽(yáng)市鄧州市、雅安市寶興縣、文昌市昌灑鎮(zhèn)、寶雞市鳳縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、長(zhǎng)治市沁源縣、阜陽(yáng)市潁東區(qū)、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市、西安市閻良區(qū)
新鄉(xiāng)市獲嘉縣、廣西桂林市荔浦市、自貢市榮縣、廣西柳州市柳北區(qū)、本溪市明山區(qū)、漳州市龍文區(qū)、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、文昌市馮坡鎮(zhèn)
酒泉市玉門(mén)市、齊齊哈爾市甘南縣、鹽城市濱海縣、文山丘北縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、甘孜瀘定縣、開(kāi)封市順河回族區(qū)
寧德市福鼎市、昭通市巧家縣、衡陽(yáng)市常寧市、蘇州市相城區(qū)、阜新市細(xì)河區(qū)、深圳市龍崗區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、溫州市甌海區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)
大慶市紅崗區(qū)、鹽城市阜寧縣、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、臨沂市沂南縣、延安市寶塔區(qū)、上饒市德興市、駐馬店市上蔡縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、江門(mén)市開(kāi)平市、廣州市南沙區(qū)
大同市渾源縣、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、濟(jì)寧市汶上縣、延邊延吉市、十堰市竹山縣
漢中市城固縣、攀枝花市東區(qū)、海南貴德縣、汕尾市陸豐市、徐州市云龍區(qū)、伊春市南岔縣、湖州市吳興區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)
定西市渭源縣、咸寧市咸安區(qū)、昆明市尋甸回族彝族自治縣、眉山市彭山區(qū)、懷化市鶴城區(qū)
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紹興市嵊州市、上饒市余干縣、上海市青浦區(qū)、黃岡市羅田縣、雅安市雨城區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、咸陽(yáng)市渭城區(qū)、鞍山市鐵西區(qū)
澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、天津市紅橋區(qū)、三明市泰寧縣、玉溪市江川區(qū)、珠海市金灣區(qū)、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、松原市乾安縣、齊齊哈爾市龍江縣、遼源市西安區(qū)、白城市大安市
大慶市紅崗區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、寶雞市岐山縣、荊門(mén)市鐘祥市
太原市小店區(qū)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、福州市倉(cāng)山區(qū)、葫蘆島市綏中縣、江門(mén)市恩平市、怒江傈僳族自治州瀘水市
呂梁市方山縣、龍巖市永定區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、鷹潭市貴溪市
天津市西青區(qū)、合肥市瑤海區(qū)、武漢市東西湖區(qū)、五指山市毛陽(yáng)、鐵嶺市鐵嶺縣、湘西州瀘溪縣、宣城市宣州區(qū)
樂(lè)山市峨邊彝族自治縣、哈爾濱市道里區(qū)、廣西百色市樂(lè)業(yè)縣、河源市龍川縣、寧夏吳忠市同心縣、南京市建鄴區(qū)、晉中市靈石縣、東莞市中堂鎮(zhèn)、三門(mén)峽市湖濱區(qū)
臨滄市云縣、開(kāi)封市蘭考縣、遵義市匯川區(qū)、伊春市伊美區(qū)、湛江市坡頭區(qū)、贛州市崇義縣、溫州市龍港市、湘西州永順縣、杭州市淳安縣
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昭通市鎮(zhèn)雄縣、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、東莞市虎門(mén)鎮(zhèn)、嘉興市秀洲區(qū)、南通市如皋市、天水市武山縣、北京市門(mén)頭溝區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、紅河紅河縣
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天水市麥積區(qū)、天津市靜海區(qū)、廣西賀州市富川瑤族自治縣、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、麗江市古城區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、菏澤市單縣、大理云龍縣、杭州市淳安縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開(kāi)發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開(kāi)展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶(hù)有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專(zhuān)注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷(xiāo)售收入4.64億元、封測(cè)銷(xiāo)售收入1.48億元、材料銷(xiāo)售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開(kāi)源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車(chē)廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶(hù)和目標(biāo)客戶(hù)中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門(mén)檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶(hù)會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車(chē)用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車(chē)用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開(kāi)發(fā)。
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