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天津市東麗區(qū)、焦作市馬村區(qū)、海北門源回族自治縣、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、黔西南晴隆縣、咸陽市乾縣、鎮(zhèn)江市揚中市
衡陽市石鼓區(qū)、樂山市五通橋區(qū)、湖州市長興縣、大同市新榮區(qū)、甘孜雅江縣、寧波市奉化區(qū)、遼源市東豐縣
朝陽市建平縣、宜春市上高縣、廣安市廣安區(qū)、白城市洮南市、晉中市榆次區(qū)
寧夏銀川市靈武市、河源市源城區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、畢節(jié)市納雍縣、池州市石臺縣、成都市武侯區(qū)、湘西州永順縣、汕頭市澄海區(qū)、清遠市清新區(qū)、威海市文登區(qū)
屯昌縣坡心鎮(zhèn)、安康市白河縣、遵義市赤水市、成都市郫都區(qū)、保亭黎族苗族自治縣什玲、南平市光澤縣、武漢市新洲區(qū)、江門市臺山市、襄陽市谷城縣、宜昌市宜都市
甘孜得榮縣、通化市東昌區(qū)、蘇州市相城區(qū)、上海市崇明區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)、淄博市淄川區(qū)、宜昌市西陵區(qū)
十堰市茅箭區(qū)、泉州市晉江市、臨汾市大寧縣、衡陽市石鼓區(qū)、上海市嘉定區(qū)
上海市金山區(qū)、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、上海市閔行區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市豐鎮(zhèn)市、本溪市平山區(qū)
白銀市靖遠縣、臨高縣東英鎮(zhèn)、長治市潞州區(qū)、遼源市西安區(qū)、深圳市鹽田區(qū)、黃石市西塞山區(qū)、惠州市博羅縣、蚌埠市固鎮(zhèn)縣
重慶市沙坪壩區(qū)、大慶市肇源縣、宿遷市泗陽縣、北京市豐臺區(qū)、昆明市富民縣、郴州市桂陽縣、松原市寧江區(qū)、葫蘆島市連山區(qū)
韶關(guān)市湞江區(qū)、廣西玉林市玉州區(qū)、白銀市平川區(qū)、寶雞市麟游縣、武漢市新洲區(qū)、咸寧市嘉魚縣
伊春市鐵力市、金華市蘭溪市、宣城市廣德市、宿州市泗縣、紅河紅河縣、撫州市南城縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、無錫市惠山區(qū)、朔州市右玉縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、臨汾市安澤縣
遼陽市遼陽縣、德州市夏津縣、清遠市英德市、贛州市上猶縣、麗水市云和縣
肇慶市廣寧縣、重慶市永川區(qū)、黔南都勻市、萍鄉(xiāng)市上栗縣、濟寧市汶上縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、渭南市華陰市、佳木斯市同江市、撫州市宜黃縣、洛陽市老城區(qū)
大同市左云縣、蘇州市虎丘區(qū)、紅河彌勒市、渭南市大荔縣、十堰市鄖西縣
平頂山市魯山縣、黃南尖扎縣、長治市屯留區(qū)、廣西柳州市柳北區(qū)、瓊海市中原鎮(zhèn)、株洲市炎陵縣、阜新市細河區(qū)、南昌市南昌縣、西安市周至縣
恩施州恩施市、福州市福清市、黔南龍里縣、常德市津市市、北京市門頭溝區(qū)、酒泉市肅北蒙古族自治縣
南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣、三明市永安市、南昌市青山湖區(qū)、運城市鹽湖區(qū)、鹽城市東臺市
哈爾濱市方正縣、海西蒙古族都蘭縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)、聊城市茌平區(qū)、廣西南寧市良慶區(qū)、太原市古交市、鞍山市立山區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、株洲市荷塘區(qū)、青島市平度市
許昌市建安區(qū)、臨高縣多文鎮(zhèn)、青島市膠州市、葫蘆島市興城市、阜陽市潁上縣
海北祁連縣、牡丹江市海林市、青島市膠州市、開封市禹王臺區(qū)、曲靖市宣威市、大理鶴慶縣、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、上海市寶山區(qū)、太原市小店區(qū)、資陽市雁江區(qū)
東莞市石碣鎮(zhèn)、湘西州保靖縣、文山文山市、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、銅川市耀州區(qū)、安慶市望江縣
潮州市潮安區(qū)、泰州市興化市、大同市天鎮(zhèn)縣、隴南市宕昌縣、運城市芮城縣、畢節(jié)市黔西市
三門峽市湖濱區(qū)、贛州市信豐縣、日照市東港區(qū)、永州市江永縣、漳州市詔安縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)、涼山甘洛縣
濟南市長清區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市烏達區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、揚州市儀征市、酒泉市金塔縣、延安市安塞區(qū)、甘孜康定市、玉溪市江川區(qū)、茂名市信宜市
周口市西華縣、上海市閔行區(qū)、重慶市綦江區(qū)、徐州市新沂市、榆林市靖邊縣、攀枝花市鹽邊縣、邵陽市新邵縣、廣西百色市那坡縣
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玉溪市新平彝族傣族自治縣、廣西河池市金城江區(qū)、溫州市永嘉縣、棗莊市臺兒莊區(qū)、大同市平城區(qū)、洛陽市伊川縣、上海市徐匯區(qū)
泰安市岱岳區(qū)、麗水市遂昌縣、鷹潭市余江區(qū)、樂山市峨眉山市、東莞市塘廈鎮(zhèn)
天水市甘谷縣、南陽市宛城區(qū)、武漢市江岸區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、內(nèi)蒙古包頭市固陽縣、三明市永安市、常德市漢壽縣
成都市龍泉驛區(qū)、銅仁市江口縣、三亞市崖州區(qū)、貴陽市白云區(qū)、白山市靖宇縣、通化市通化縣
梅州市梅縣區(qū)、邵陽市新寧縣、銅仁市碧江區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、鶴崗市興安區(qū)、大連市長?？h、韶關(guān)市曲江區(qū)
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、商丘市虞城縣、鶴壁市浚縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、無錫市江陰市、西寧市湟中區(qū)、杭州市濱江區(qū)
遼陽市遼陽縣、廣西柳州市融安縣、徐州市邳州市、晉中市介休市、荊州市荊州區(qū)
渭南市韓城市、儋州市東成鎮(zhèn)、銅陵市義安區(qū)、南平市政和縣、沈陽市法庫縣、福州市臺江區(qū)、資陽市樂至縣、寧夏銀川市賀蘭縣、營口市站前區(qū)、聊城市冠縣
馬鞍山市當涂縣、玉樹治多縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準格爾旗、日照市莒縣、武漢市江夏區(qū)、廣西河池市南丹縣、贛州市全南縣、昭通市彝良縣、榆林市榆陽區(qū)
上海市浦東新區(qū)、慶陽市西峰區(qū)、沈陽市遼中區(qū)、儋州市南豐鎮(zhèn)、達州市宣漢縣、臨沂市沂南縣、重慶市合川區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、吉林市永吉縣
大興安嶺地區(qū)塔河縣、大連市沙河口區(qū)、海東市樂都區(qū)、郴州市汝城縣、武威市天祝藏族自治縣、廣州市白云區(qū)、淄博市淄川區(qū)
陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、惠州市博羅縣、安慶市宜秀區(qū)、渭南市臨渭區(qū)、齊齊哈爾市富?？h、果洛久治縣、佳木斯市撫遠市、成都市金堂縣、玉樹稱多縣
韶關(guān)市翁源縣、成都市彭州市、泉州市鯉城區(qū)、洛陽市新安縣、宜賓市興文縣、延安市宜川縣、廣西百色市平果市、襄陽市老河口市、臨汾市古縣
寧德市霞浦縣、廣西防城港市上思縣、資陽市安岳縣、東莞市清溪鎮(zhèn)、淄博市周村區(qū)、文昌市公坡鎮(zhèn)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、常州市新北區(qū)、淄博市高青縣、儋州市新州鎮(zhèn)
婁底市冷水江市、婁底市新化縣、南京市鼓樓區(qū)、哈爾濱市雙城區(qū)、綿陽市游仙區(qū)、漢中市佛坪縣、朝陽市雙塔區(qū)
天津市西青區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、臨沂市蘭陵縣、合肥市瑤海區(qū)、濟南市市中區(qū)、龍巖市永定區(qū)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、運城市垣曲縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣
南京市秦淮區(qū)、延安市甘泉縣、白城市洮南市、延邊汪清縣、鹽城市大豐區(qū)、西安市藍田縣、東方市大田鎮(zhèn)、昆明市安寧市、盤錦市盤山縣、上海市靜安區(qū)
齊齊哈爾市富?？h、儋州市南豐鎮(zhèn)、達州市大竹縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、金華市蘭溪市
濰坊市昌樂縣、廣州市從化區(qū)、大同市左云縣、萍鄉(xiāng)市上栗縣、中山市港口鎮(zhèn)、重慶市江津區(qū)
三門峽市澠池縣、臨汾市曲沃縣、綿陽市涪城區(qū)、佳木斯市前進區(qū)、信陽市平橋區(qū)、撫順市新賓滿族自治縣、長沙市長沙縣、鞍山市千山區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市伊金霍洛旗、惠州市惠城區(qū)
東莞市石排鎮(zhèn)、安順市西秀區(qū)、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、周口市西華縣、延邊琿春市、呂梁市汾陽市
商洛市商南縣、廣西南寧市馬山縣、開封市祥符區(qū)、德陽市旌陽區(qū)、九江市都昌縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、佳木斯市東風區(qū)、河源市紫金縣、清遠市英德市、廣西玉林市興業(yè)縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、臨汾市洪洞縣、懷化市沅陵縣、蚌埠市禹會區(qū)、三亞市崖州區(qū)、寶雞市千陽縣、沈陽市鐵西區(qū)、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、長沙市長沙縣、金華市東陽市
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國內(nèi)首臺晶圓級多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
廣東珠海是國內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長期以來設(shè)計業(yè)“一業(yè)獨大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對薄弱的制造環(huán)節(jié)進軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡稱“恒格微電子”）發(fā)布國內(nèi)首臺晶圓級等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標志著國內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達成合作，一家為國內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動國產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計6月會交付第一臺設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗證，并進入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個生產(chǎn)線中價值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個晶圓的前道工藝里，薄膜機、光刻機和刻蝕機是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場上，海外廠商長期以來具備領(lǐng)先的市場份額優(yōu)勢。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機的市場份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當前國際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機的多次刻蝕來實現(xiàn)。
這一背景下，國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實現(xiàn)突破。
一個標志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國首臺PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達國際先進水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運泰利自動化、長園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報”，運泰利自動化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識別光學芯片全自動測試線，填補了國產(chǎn)光學檢測設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)主營收入194.95億元，同比增長22.46%，比去年同期提升13.94個百分點，近五年年均增長率20.29%。
珠海市2025年政府工作報告提出，推動集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭取年內(nèi)創(chuàng)建國家級中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計業(yè)主營收入135億元，占了大頭。對比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長張根近期出席活動時提到，當前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟、人工智能、人形機器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強行業(yè)供需對接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計服務(wù)平臺協(xié)理黃道遠告訴界面新聞，機器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們原來的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會提出芯片改版的需求，使其更容易運行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時會把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會更加復(fù)雜。”黃道遠表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點亮了自研的40nm車用MCU測試芯片，瞄準車用、機器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進行開發(fā)。
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