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廣西欽州市欽北區(qū)、太原市婁煩縣、臨沂市郯城縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、黔南福泉市
昆明市五華區(qū)、長(zhǎng)治市沁縣、宜春市萬載縣、金昌市金川區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、南陽市唐河縣、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市
呂梁市交口縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、徐州市豐縣、上海市寶山區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、忻州市岢嵐縣
廣西欽州市欽北區(qū)、東莞市虎門鎮(zhèn)、佳木斯市向陽區(qū)、陽泉市礦區(qū)、廣州市白云區(qū)、甘孜甘孜縣、蘇州市常熟市、寧波市海曙區(qū)
內(nèi)江市東興區(qū)、岳陽市平江縣、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、漯河市召陵區(qū)、成都市郫都區(qū)、晉城市陽城縣
海東市樂都區(qū)、貴陽市息烽縣、鄭州市登封市、池州市東至縣、天水市甘谷縣、淄博市沂源縣
永州市新田縣、安康市嵐皋縣、東莞市虎門鎮(zhèn)、三明市沙縣區(qū)、宜春市宜豐縣、寧德市蕉城區(qū)、孝感市漢川市、營(yíng)口市蓋州市、寧波市余姚市、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)
無錫市新吳區(qū)、定安縣嶺口鎮(zhèn)、青島市膠州市、上饒市萬年縣、汕頭市金平區(qū)、湘西州保靖縣、宜昌市長(zhǎng)陽土家族自治縣、臨汾市隰縣
臨高縣皇桐鎮(zhèn)、開封市尉氏縣、上海市普陀區(qū)、四平市公主嶺市、松原市扶余市、湘西州永順縣、定西市臨洮縣
泉州市泉港區(qū)、荊州市監(jiān)利市、廣西欽州市欽南區(qū)、營(yíng)口市老邊區(qū)、揭陽市揭西縣、七臺(tái)河市新興區(qū)、恩施州利川市、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、荊門市沙洋縣
廣西南寧市上林縣、海北海晏縣、延邊安圖縣、阜新市細(xì)河區(qū)、臺(tái)州市椒江區(qū)、玉溪市澄江市、揭陽市惠來縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣
新余市渝水區(qū)、惠州市惠城區(qū)、昆明市官渡區(qū)、廣西來賓市忻城縣、廣西河池市天峨縣、朔州市應(yīng)縣
三門峽市靈寶市、北京市平谷區(qū)、重慶市開州區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、平頂山市舞鋼市、蚌埠市龍子湖區(qū)、杭州市拱墅區(qū)
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、呂梁市交城縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、海北海晏縣、武漢市新洲區(qū)、無錫市宜興市
伊春市南岔縣、惠州市惠城區(qū)、成都市邛崍市、滁州市明光市、大同市天鎮(zhèn)縣、莆田市涵江區(qū)、楚雄雙柏縣、宜春市上高縣、揭陽市榕城區(qū)
合肥市巢湖市、牡丹江市寧安市、雅安市蘆山縣、濟(jì)寧市任城區(qū)、寧夏銀川市靈武市
自貢市大安區(qū)、海北門源回族自治縣、合肥市廬江縣、江門市鶴山市、漳州市龍海區(qū)、慶陽市西峰區(qū)、紹興市嵊州市、遼陽市文圣區(qū)、贛州市尋烏縣
西寧市城中區(qū)、定西市臨洮縣、普洱市墨江哈尼族自治縣、甘南迭部縣、哈爾濱市延壽縣、太原市清徐縣、雞西市雞東縣、黃石市黃石港區(qū)、周口市扶溝縣
白山市靖宇縣、曲靖市陸良縣、白銀市白銀區(qū)、東莞市大朗鎮(zhèn)、金華市金東區(qū)、萬寧市北大鎮(zhèn)
保山市騰沖市、黔南平塘縣、齊齊哈爾市克東縣、慶陽市西峰區(qū)、長(zhǎng)春市二道區(qū)、廣西百色市田陽區(qū)、黔南荔波縣、果洛達(dá)日縣、開封市禹王臺(tái)區(qū)
臨滄市鎮(zhèn)康縣、湘西州龍山縣、臨滄市云縣、汕頭市澄海區(qū)、黔南貴定縣、廣西賀州市八步區(qū)
伊春市鐵力市、廣安市前鋒區(qū)、安陽市湯陰縣、濰坊市濰城區(qū)、商丘市寧陵縣
衡陽市南岳區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、白城市通榆縣、廣西梧州市蒙山縣、蘇州市相城區(qū)、郴州市臨武縣
貴陽市開陽縣、焦作市馬村區(qū)、恩施州建始縣、晉中市和順縣、韶關(guān)市曲江區(qū)
張家界市慈利縣、綏化市望奎縣、雙鴨山市嶺東區(qū)、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、清遠(yuǎn)市陽山縣、大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)
朔州市懷仁市、西安市閻良區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、大興安嶺地區(qū)漠河市、東莞市高埗鎮(zhèn)、惠州市龍門縣
四平市伊通滿族自治縣、大連市甘井子區(qū)、贛州市崇義縣、金華市義烏市、上海市楊浦區(qū)、無錫市江陰市、安陽市北關(guān)區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、西安市臨潼區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗
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濟(jì)寧市鄒城市、臨夏和政縣、馬鞍山市花山區(qū)、雞西市城子河區(qū)、吉林市樺甸市
陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、隨州市廣水市、重慶市大足區(qū)、澄邁縣中興鎮(zhèn)、宣城市涇縣、杭州市淳安縣
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日照市五蓮縣、咸陽市涇陽縣、吉安市吉安縣、東莞市中堂鎮(zhèn)、中山市坦洲鎮(zhèn)
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長(zhǎng)治市潞城區(qū)、遵義市赤水市、太原市杏花嶺區(qū)、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣、渭南市富平縣
臨高縣臨城鎮(zhèn)、廣安市武勝縣、南昌市青山湖區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、吉安市新干縣、內(nèi)江市資中縣
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珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)铮∧C(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜。”黃道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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