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臨沂市蘭山區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、常州市溧陽市、寧夏銀川市興慶區(qū)、麗水市松陽縣、滁州市瑯琊區(qū)、重慶市北碚區(qū)
屯昌縣南呂鎮(zhèn)、黃石市陽新縣、南陽市桐柏縣、保山市騰沖市、溫州市鹿城區(qū)、濰坊市昌邑市、景德鎮(zhèn)市樂平市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗
安康市白河縣、甘孜白玉縣、儋州市那大鎮(zhèn)、十堰市鄖西縣、汕頭市濠江區(qū)、阜陽市潁上縣、德宏傣族景頗族自治州隴川縣
池州市石臺(tái)縣、南昌市青云譜區(qū)、信陽市商城縣、吉安市安?？h、渭南市澄城縣、中山市南朗鎮(zhèn)、潮州市湘橋區(qū)
楚雄大姚縣、廣州市花都區(qū)、六盤水市水城區(qū)、忻州市原平市、臨夏臨夏縣、甘孜石渠縣、莆田市仙游縣
景德鎮(zhèn)市浮梁縣、北京市西城區(qū)、黃山市徽州區(qū)、延安市延川縣、成都市青白江區(qū)、廣州市花都區(qū)、梅州市蕉嶺縣、常德市臨澧縣、西寧市城西區(qū)
三門峽市盧氏縣、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、婁底市婁星區(qū)、寧夏吳忠市同心縣、廣西河池市天峨縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、鷹潭市余江區(qū)、五指山市毛道、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)
重慶市石柱土家族自治縣、福州市馬尾區(qū)、北京市海淀區(qū)、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、直轄縣潛江市
普洱市思茅區(qū)、淄博市臨淄區(qū)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、廣州市南沙區(qū)、上海市楊浦區(qū)、銅川市宜君縣、懷化市麻陽苗族自治縣、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、蘭州市皋蘭縣
成都市大邑縣、大興安嶺地區(qū)漠河市、慶陽市華池縣、平頂山市葉縣、懷化市沅陵縣、開封市通許縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)、萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)
吉林市舒蘭市、鎮(zhèn)江市句容市、甘南臨潭縣、昆明市呈貢區(qū)、汕頭市潮陽區(qū)、安順市普定縣、韶關(guān)市曲江區(qū)
徐州市泉山區(qū)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、廣西柳州市柳城縣、普洱市瀾滄拉祜族自治縣、齊齊哈爾市泰來縣、鐵嶺市昌圖縣、天津市武清區(qū)、延安市吳起縣
臺(tái)州市椒江區(qū)、鐵嶺市鐵嶺縣、重慶市黔江區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)、蘇州市姑蘇區(qū)、蕪湖市鏡湖區(qū)
鶴崗市東山區(qū)、晉中市榆社縣、廣元市蒼溪縣、棗莊市滕州市、廣西崇左市扶綏縣、朔州市山陰縣
內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)、衡陽市衡南縣、瀘州市敘永縣、咸陽市涇陽縣、婁底市婁星區(qū)
延安市宜川縣、廣西崇左市大新縣、上海市徐匯區(qū)、重慶市渝北區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、延安市富縣
池州市青陽縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、西安市新城區(qū)、運(yùn)城市新絳縣、延安市洛川縣、焦作市山陽區(qū)、南昌市青山湖區(qū)、九江市修水縣、宜昌市猇亭區(qū)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市
錦州市凌海市、文昌市龍樓鎮(zhèn)、廣西崇左市龍州縣、寧夏固原市涇源縣、瀘州市江陽區(qū)、鄂州市鄂城區(qū)、濟(jì)寧市曲阜市
紹興市越城區(qū)、鎮(zhèn)江市句容市、中山市東鳳鎮(zhèn)、信陽市羅山縣、梅州市興寧市、大連市長(zhǎng)?？h、三亞市天涯區(qū)、大理劍川縣、福州市鼓樓區(qū)、廣西柳州市融安縣
陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、周口市淮陽區(qū)、廣西來賓市興賓區(qū)、襄陽市?？悼h、上饒市余干縣、撫州市臨川區(qū)、臨高縣加來鎮(zhèn)、常州市鐘樓區(qū)、安康市漢陰縣、咸寧市赤壁市
三亞市吉陽區(qū)、酒泉市瓜州縣、宜賓市珙縣、蘇州市姑蘇區(qū)、廣西玉林市福綿區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、定西市通渭縣
泰安市泰山區(qū)、廣西北海市合浦縣、遂寧市安居區(qū)、廣西梧州市蒙山縣、黑河市遜克縣、湘潭市湘潭縣、岳陽市汨羅市
黑河市愛輝區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、涼山會(huì)東縣、南通市崇川區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、果洛瑪沁縣
漢中市漢臺(tái)區(qū)、阿壩藏族羌族自治州小金縣、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、池州市青陽縣、張掖市甘州區(qū)、西寧市大通回族土族自治縣、綿陽市江油市
文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、徐州市鼓樓區(qū)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、廣西來賓市象州縣、牡丹江市陽明區(qū)、濱州市鄒平市、湘潭市雨湖區(qū)、瀘州市古藺縣、重慶市黔江區(qū)
定西市通渭縣、五指山市水滿、吉安市泰和縣、渭南市臨渭區(qū)、楚雄永仁縣
昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、雅安市寶興縣、廣西桂林市荔浦市、中山市東鳳鎮(zhèn)、葫蘆島市龍港區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、宜昌市猇亭區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、菏澤市曹縣、天津市河西區(qū)
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九江市湖口縣、溫州市瑞安市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、襄陽市老河口市、泉州市泉港區(qū)、滁州市瑯琊區(qū)、株洲市荷塘區(qū)、中山市西區(qū)街道、渭南市白水縣、武威市民勤縣
濱州市濱城區(qū)、海北門源回族自治縣、贛州市定南縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、河源市源城區(qū)、舟山市岱山縣、廣安市廣安區(qū)、南京市雨花臺(tái)區(qū)
德宏傣族景頗族自治州盈江縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、聊城市莘縣、阜陽市潁州區(qū)、涼山越西縣
德宏傣族景頗族自治州隴川縣、南昌市新建區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、遵義市匯川區(qū)、昆明市呈貢區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣
遼陽市宏偉區(qū)、漢中市西鄉(xiāng)縣、濮陽市南樂縣、南京市建鄴區(qū)、周口市太康縣、九江市柴桑區(qū)、鄂州市華容區(qū)
晉中市榆社縣、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、黃山市祁門縣、牡丹江市穆棱市、汕頭市濠江區(qū)
昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、寧德市壽寧縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、涼山甘洛縣、咸寧市通山縣、合肥市巢湖市、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、廣西崇左市寧明縣
淮南市鳳臺(tái)縣、麗江市古城區(qū)、紅河石屏縣、上饒市廣豐區(qū)、安順市普定縣、文昌市公坡鎮(zhèn)
七臺(tái)河市桃山區(qū)、保山市施甸縣、孝感市應(yīng)城市、南陽市唐河縣、亳州市渦陽縣、大理漾濞彝族自治縣、阜新市海州區(qū)、本溪市南芬區(qū)
昆明市石林彝族自治縣、云浮市羅定市、日照市五蓮縣、南昌市灣里區(qū)、信陽市新縣、龍巖市長(zhǎng)汀縣、宣城市廣德市
廣西河池市東蘭縣、撫州市資溪縣、馬鞍山市當(dāng)涂縣、泰州市海陵區(qū)、衡陽市耒陽市
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、西寧市城東區(qū)、迪慶香格里拉市、七臺(tái)河市勃利縣、周口市川匯區(qū)、自貢市大安區(qū)、鹽城市鹽都區(qū)、延安市甘泉縣、保山市龍陵縣、西寧市湟中區(qū)
麗江市永勝縣、臨滄市滄源佤族自治縣、臨夏廣河縣、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、蘭州市永登縣、孝感市安陸市、濮陽市范縣、果洛甘德縣、海東市平安區(qū)、焦作市修武縣
十堰市茅箭區(qū)、黑河市孫吳縣、岳陽市湘陰縣、楚雄牟定縣、淮南市壽縣、玉溪市華寧縣、東方市江邊鄉(xiāng)、天水市清水縣、伊春市湯旺縣
黔南荔波縣、荊門市東寶區(qū)、武漢市黃陂區(qū)、蘭州市七里河區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗
長(zhǎng)治市襄垣縣、徐州市鼓樓區(qū)、婁底市新化縣、安慶市桐城市、南昌市青山湖區(qū)、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、淮南市八公山區(qū)
中山市港口鎮(zhèn)、文山麻栗坡縣、周口市鹿邑縣、臺(tái)州市溫嶺市、張掖市肅南裕固族自治縣、重慶市巫山縣、宿遷市泗陽縣、儋州市大成鎮(zhèn)、黑河市遜克縣
大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、牡丹江市寧安市、撫州市南豐縣、杭州市西湖區(qū)、綏化市青岡縣、廣州市越秀區(qū)、大理大理市、玉溪市紅塔區(qū)
鄂州市華容區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、保山市龍陵縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、安慶市宿松縣、海西蒙古族都蘭縣、廣西河池市宜州區(qū)、臺(tái)州市溫嶺市
萬寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、商丘市夏邑縣、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、沈陽市新民市、海東市平安區(qū)、煙臺(tái)市萊陽市、儋州市新州鎮(zhèn)、長(zhǎng)沙市天心區(qū)
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宜昌市五峰土家族自治縣、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、威海市乳山市、沈陽市皇姑區(qū)、合肥市長(zhǎng)豐縣
黔南平塘縣、呂梁市臨縣、牡丹江市愛民區(qū)、安慶市岳西縣、自貢市大安區(qū)、本溪市明山區(qū)、宿遷市宿城區(qū)、黔南龍里縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗
澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、東莞市黃江鎮(zhèn)、泉州市惠安縣、漳州市平和縣、福州市晉安區(qū)、大同市陽高縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、臨汾市翼城縣、迪慶香格里拉市
甘孜新龍縣、東方市三家鎮(zhèn)、十堰市張灣區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、臨沂市沂水縣、渭南市富平縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、瓊海市博鰲鎮(zhèn)
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過10家客戶有意向。未來將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來產(chǎn)業(yè)，接下來珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉淼耐ㄓ?span>GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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