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淄博市淄川區(qū)、大連市莊河市、晉中市壽陽(yáng)縣、慶陽(yáng)市西峰區(qū)、六盤水市盤州市
果洛達(dá)日縣、甘南舟曲縣、郴州市資興市、衡陽(yáng)市衡東縣、廣西南寧市上林縣
馬鞍山市和縣、貴陽(yáng)市息烽縣、榆林市榆陽(yáng)區(qū)、定安縣龍門鎮(zhèn)、黃石市鐵山區(qū)、珠海市香洲區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、內(nèi)江市東興區(qū)
天津市武清區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、遂寧市船山區(qū)、太原市晉源區(qū)、廣西桂林市荔浦市、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)、吉林市舒蘭市、南充市順慶區(qū)、南京市浦口區(qū)
瓊海市中原鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、重慶市大足區(qū)、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、南京市溧水區(qū)、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、綿陽(yáng)市三臺(tái)縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)
海北剛察縣、三明市三元區(qū)、延邊延吉市、舟山市岱山縣、黔東南錦屏縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、漳州市東山縣
福州市連江縣、上海市徐匯區(qū)、晉中市昔陽(yáng)縣、池州市石臺(tái)縣、銅川市王益區(qū)、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、成都市新津區(qū)、泰州市海陵區(qū)、深圳市羅湖區(qū)
鄭州市登封市、廣西梧州市蒙山縣、德州市樂(lè)陵市、江門市鶴山市、銅川市耀州區(qū)、大理洱源縣、黔東南丹寨縣
濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、文山文山市、南平市延平區(qū)、廣西南寧市武鳴區(qū)、淮北市杜集區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)
岳陽(yáng)市華容縣、臨夏廣河縣、甘南舟曲縣、廣西南寧市興寧區(qū)、永州市雙牌縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、湘潭市雨湖區(qū)、寧波市奉化區(qū)、昆明市官渡區(qū)、呂梁市文水縣
福州市平潭縣、漳州市龍海區(qū)、焦作市解放區(qū)、臺(tái)州市臨海市、綏化市蘭西縣、永州市冷水灘區(qū)、常州市溧陽(yáng)市、南京市棲霞區(qū)、麗水市蓮都區(qū)、南京市建鄴區(qū)
滁州市鳳陽(yáng)縣、黃山市歙縣、臨夏康樂(lè)縣、阜陽(yáng)市潁州區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、阜陽(yáng)市臨泉縣、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、清遠(yuǎn)市英德市
德州市慶云縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、西安市新城區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟烏蘭浩特市、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、龍巖市漳平市
大理云龍縣、陽(yáng)泉市平定縣、重慶市石柱土家族自治縣、九江市德安縣、伊春市湯旺縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、延安市子長(zhǎng)市、中山市小欖鎮(zhèn)
安康市寧陜縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、溫州市永嘉縣、萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、宜春市袁州區(qū)
荊門市東寶區(qū)、眉山市青神縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、雙鴨山市友誼縣、黃山市屯溪區(qū)、江門市新會(huì)區(qū)、安康市紫陽(yáng)縣、濟(jì)寧市鄒城市
中山市小欖鎮(zhèn)、文山廣南縣、廣西河池市鳳山縣、云浮市羅定市、文山麻栗坡縣、濮陽(yáng)市臺(tái)前縣、聊城市東昌府區(qū)、廣西北海市合浦縣
甘孜鄉(xiāng)城縣、廣西河池市東蘭縣、重慶市大渡口區(qū)、永州市藍(lán)山縣、黃山市休寧縣、佳木斯市富錦市、甘孜德格縣、鶴崗市綏濱縣、郴州市宜章縣、三門峽市陜州區(qū)
九江市共青城市、成都市溫江區(qū)、佳木斯市湯原縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、重慶市秀山縣、直轄縣潛江市、衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)、成都市金牛區(qū)、黃山市黟縣
北京市延慶區(qū)、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)、安康市紫陽(yáng)縣、日照市嵐山區(qū)、咸陽(yáng)市彬州市、西寧市城中區(qū)、臺(tái)州市溫嶺市、金華市武義縣、雅安市蘆山縣
甘南合作市、贛州市上猶縣、忻州市保德縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、馬鞍山市含山縣、廣西桂林市秀峰區(qū)
肇慶市鼎湖區(qū)、廣西百色市右江區(qū)、開封市祥符區(qū)、濮陽(yáng)市清豐縣、西寧市城東區(qū)、永州市藍(lán)山縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、瓊海市中原鎮(zhèn)
日照市莒縣、昭通市威信縣、朔州市應(yīng)縣、大慶市肇源縣、廈門市思明區(qū)、安康市平利縣、楚雄元謀縣、宜賓市珙縣
呂梁市文水縣、鄭州市滎陽(yáng)市、雞西市雞東縣、臨汾市永和縣、上海市閔行區(qū)、延安市洛川縣、雙鴨山市尖山區(qū)
泰州市靖江市、東莞市清溪鎮(zhèn)、定西市隴西縣、昆明市宜良縣、嘉興市秀洲區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、海南貴南縣、贛州市章貢區(qū)、岳陽(yáng)市平江縣
大興安嶺地區(qū)加格達(dá)奇區(qū)、福州市永泰縣、呂梁市汾陽(yáng)市、內(nèi)蒙古呼和浩特市回民區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、蚌埠市淮上區(qū)、淄博市張店區(qū)、宿州市泗縣、南平市建甌市
廣西來(lái)賓市忻城縣、馬鞍山市花山區(qū)、宿遷市泗陽(yáng)縣、蘇州市常熟市、福州市閩清縣、宜春市豐城市、廣安市岳池縣、孝感市大悟縣、澄邁縣文儒鎮(zhèn)
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嘉興市秀洲區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、重慶市南岸區(qū)、武漢市江漢區(qū)、湛江市雷州市、湖州市長(zhǎng)興縣、廣西玉林市玉州區(qū)、沈陽(yáng)市遼中區(qū)、南平市建陽(yáng)區(qū)、文昌市重興鎮(zhèn)
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廣安市前鋒區(qū)、常德市石門縣、重慶市巫山縣、重慶市潼南區(qū)、晉城市沁水縣、撫州市金溪縣
吉林市磐石市、大理劍川縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、錦州市太和區(qū)、文山丘北縣
長(zhǎng)春市榆樹市、天水市甘谷縣、南充市營(yíng)山縣、樂(lè)東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)漠河市、海西蒙古族茫崖市、廈門市湖里區(qū)
果洛甘德縣、馬鞍山市雨山區(qū)、陽(yáng)泉市郊區(qū)、廈門市湖里區(qū)、云浮市羅定市、樂(lè)山市井研縣、三門峽市澠池縣、十堰市丹江口市
宿州市碭山縣、延邊圖們市、煙臺(tái)市龍口市、武威市古浪縣、寧德市福鼎市、陽(yáng)泉市礦區(qū)、廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、衢州市衢江區(qū)
益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、甘孜得榮縣、肇慶市高要區(qū)、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市、七臺(tái)河市桃山區(qū)、重慶市大渡口區(qū)、德州市慶云縣
朔州市應(yīng)縣、忻州市保德縣、郴州市資興市、遼源市東遼縣、韶關(guān)市翁源縣、六安市葉集區(qū)、銅陵市銅官區(qū)、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、寧波市慈溪市
寧夏吳忠市青銅峽市、九江市共青城市、延安市志丹縣、宿州市靈璧縣、榆林市米脂縣
常德市漢壽縣、牡丹江市林口縣、廣西賀州市八步區(qū)、廣西玉林市陸川縣、廣西桂林市興安縣
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直轄縣天門市、惠州市惠城區(qū)、葫蘆島市建昌縣、忻州市岢嵐縣、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、本溪市明山區(qū)、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)、蘭州市城關(guān)區(qū)、中山市沙溪鎮(zhèn)
東方市東河鎮(zhèn)、綏化市肇東市、五指山市毛道、荊州市公安縣、漢中市留壩縣
深圳市光明區(qū)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、六安市金寨縣、咸陽(yáng)市武功縣、遂寧市安居區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)
黃岡市英山縣、馬鞍山市和縣、白城市通榆縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、杭州市江干區(qū)、洛陽(yáng)市老城區(qū)、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、上饒市弋陽(yáng)縣
大同市新榮區(qū)、延邊安圖縣、長(zhǎng)治市沁源縣、海北祁連縣、邵陽(yáng)市武岡市
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紅河河口瑤族自治縣、贛州市章貢區(qū)、龍巖市新羅區(qū)、信陽(yáng)市商城縣、大連市瓦房店市、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)
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西安市蓮湖區(qū)、阜陽(yáng)市阜南縣、上海市崇明區(qū)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、宿遷市泗洪縣、呂梁市興縣、東方市四更鎮(zhèn)、焦作市孟州市、畢節(jié)市赫章縣
池州市東至縣、東莞市中堂鎮(zhèn)、臨沂市羅莊區(qū)、莆田市城廂區(qū)、隴南市成縣、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、淄博市沂源縣
衡陽(yáng)市雁峰區(qū)、亳州市蒙城縣、河源市連平縣、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、日照市東港區(qū)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、中山市黃圃鎮(zhèn)、淄博市高青縣、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市
果洛達(dá)日縣、黔南長(zhǎng)順縣、懷化市洪江市、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、茂名市化州市、南昌市青山湖區(qū)、郴州市蘇仙區(qū)、徐州市沛縣、綿陽(yáng)市鹽亭縣
珠海突圍半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)，國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備面世|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
廣東珠海是國(guó)內(nèi)集成電路起步最早的城市之一，但長(zhǎng)期以來(lái)設(shè)計(jì)業(yè)“一業(yè)獨(dú)大”?，F(xiàn)在，這座城市面向相對(duì)薄弱的制造環(huán)節(jié)進(jìn)軍。
5月23日，珠海恒格微電子裝備有限公司（簡(jiǎn)稱“恒格微電子”）發(fā)布國(guó)內(nèi)首臺(tái)晶圓級(jí)等離子多驅(qū)解離刻蝕設(shè)備，標(biāo)志著國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體制造核心裝備領(lǐng)域的重大技術(shù)突破。
該設(shè)備突破了多項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)難題，具備高效率、高均勻性、高兼容性的特點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用于集成電路、第三代半導(dǎo)體及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，適配8英寸至12英寸晶圓制造需求。
恒格微電子方面向界面新聞表示，目前已跟兩家企業(yè)達(dá)成合作，一家為國(guó)內(nèi)某顯示面板龍頭企業(yè)，雙方達(dá)成工藝合作開發(fā)協(xié)議，將針對(duì)顯示面板制造中的刻蝕工藝需求開展聯(lián)合研發(fā)，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)等離子刻蝕設(shè)備在顯示領(lǐng)域的規(guī)?；瘧?yīng)用；另一家為三疊紀(jì)公司，雙方將聚焦TGV-等離子刻蝕設(shè)備的迭代研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。預(yù)計(jì)6月會(huì)交付第一臺(tái)設(shè)備。
恒格微電子總經(jīng)理李志強(qiáng)提及，目前該設(shè)備已通過(guò)頭部晶圓廠驗(yàn)證，并進(jìn)入量產(chǎn)交付階段，現(xiàn)在已有超過(guò)10家客戶有意向。未來(lái)將持續(xù)投入打造覆蓋刻蝕、薄膜沉積等全環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體裝備矩陣。
恒格微電子成立于2005年，公司官網(wǎng)顯示，主營(yíng)業(yè)務(wù)為等離子體工業(yè)應(yīng)用設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域核心零配件及核心材料研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，產(chǎn)品覆蓋三大領(lǐng)域，包括PCB/載板領(lǐng)域、傳統(tǒng)封裝與LED光電領(lǐng)域和半導(dǎo)體領(lǐng)域。
公司方面表示，最早專注于PCB設(shè)備，此次發(fā)布的新品是其向高端半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵一步，近年來(lái)瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體裝備賽道，聚焦刻蝕設(shè)備核心技術(shù)研發(fā)。
刻蝕工藝是集成電路制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，刻蝕設(shè)備在整個(gè)生產(chǎn)線中價(jià)值占比約為20%。一位半導(dǎo)體行業(yè)人士告訴界面新聞，半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)跟制程精細(xì)程度息息相關(guān)，因此跟制程相關(guān)的設(shè)備起著更重要的作用，例如光刻、蝕刻。一個(gè)晶圓的前道工藝?yán)?，薄膜機(jī)、光刻機(jī)和刻蝕機(jī)是最為關(guān)鍵的三大設(shè)備，共同完成晶圓制造材料的制作。
在全球市場(chǎng)上，海外廠商長(zhǎng)期以來(lái)具備領(lǐng)先的市場(chǎng)份額優(yōu)勢(shì)。Gartner數(shù)據(jù)顯示，2020年全球刻蝕機(jī)的市場(chǎng)份額仍被泛林半導(dǎo)體（46.71%）、東京電子（26.57%）和應(yīng)用材料（16.96%）三巨頭主導(dǎo)。
隨著先進(jìn)工藝刻蝕次數(shù)不斷提升，對(duì)刻蝕設(shè)備的數(shù)量和質(zhì)量提出了更高的要求。當(dāng)前國(guó)際上高端量產(chǎn)芯片從7nm向5nm、3nm甚至更小尺寸發(fā)展，其核心工藝必須借助刻蝕機(jī)的多次刻蝕來(lái)實(shí)現(xiàn)。
這一背景下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備企業(yè)加速核心技術(shù)突破。其中，大灣區(qū)頻頻實(shí)現(xiàn)突破。
一個(gè)標(biāo)志性事件為，深圳新凱來(lái)在3月亮相了多款工藝裝備，其中包括四款12英寸刻蝕設(shè)備（ETCH），包括CCP（電容耦合等離子刻蝕）、ICP（電感耦合等離子體干法刻蝕）、自由基干法刻蝕。
ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，是微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中一道相當(dāng)重要的步驟，與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理相關(guān)。
與深圳相鄰的東莞也在近日發(fā)布了全國(guó)首臺(tái)PLP等離子刻蝕設(shè)備，能有效支持610×510mm大尺寸玻璃基板刻蝕，兼容多種半導(dǎo)體材料，刻蝕速率與均勻性達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平。
而珠海除了恒格微電子，也培育了運(yùn)泰利自動(dòng)化、長(zhǎng)園半導(dǎo)體設(shè)備等新銳企業(yè)。據(jù)“珠海特區(qū)報(bào)”，運(yùn)泰利自動(dòng)化研發(fā)出業(yè)界第一款人臉識(shí)別光學(xué)芯片全自動(dòng)測(cè)試線，填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備的空白。
數(shù)據(jù)顯示，2024年珠海市集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)主營(yíng)收入194.95億元，同比增長(zhǎng)22.46%，比去年同期提升13.94個(gè)百分點(diǎn)，近五年年均增長(zhǎng)率20.29%。
珠海市2025年政府工作報(bào)告提出，推動(dòng)集成電路產(chǎn)業(yè)加速邁向“500億”規(guī)模，爭(zhēng)取年內(nèi)創(chuàng)建國(guó)家級(jí)中小企業(yè)特色產(chǎn)業(yè)集群。
但珠海集成電路也呈現(xiàn)明顯的“偏科”問(wèn)題。2024年，設(shè)計(jì)業(yè)主營(yíng)收入135億元，占了大頭。對(duì)比之下，生產(chǎn)制造銷售收入4.64億元、封測(cè)銷售收入1.48億元、材料銷售收入為33.30億元、集成電路設(shè)備銷售收入20.54億元。
珠海市工業(yè)和信息化局副局長(zhǎng)張根近期出席活動(dòng)時(shí)提到，當(dāng)前珠海正提速建設(shè)“云上智城”，集聚算力基礎(chǔ)、大數(shù)據(jù)、大模型等要素迎接AI發(fā)展浪潮，加快發(fā)展低空經(jīng)濟(jì)、人工智能、人形機(jī)器人、開源體系等未來(lái)產(chǎn)業(yè)，接下來(lái)珠海將重點(diǎn)圍繞ToC端的AI智能終端產(chǎn)品加強(qiáng)行業(yè)供需對(duì)接。
珠海凌煙閣芯片科技有限公司系統(tǒng)設(shè)計(jì)服務(wù)平臺(tái)協(xié)理黃道遠(yuǎn)告訴界面新聞，機(jī)器人、汽車廠商供應(yīng)商等是公司主要面向的下游方向，現(xiàn)在既有客戶和目標(biāo)客戶中，AI業(yè)務(wù)都有所增加，也對(duì)技術(shù)提出了更高的門檻。
“比如我們?cè)瓉?lái)的通用GPU芯片，其架構(gòu)可能并不適合于做大模型的預(yù)算，這種情況下客戶會(huì)提出芯片改版的需求，使其更容易運(yùn)行大模型。相較于MCU芯片，AI芯片需要更高算力，有時(shí)會(huì)把幾塊芯片拼接在一起，工藝也會(huì)更加復(fù)雜?！秉S道遠(yuǎn)表示。
目前，凌煙閣科技已完成高效能AI加速引擎SoC流片，也點(diǎn)亮了自研的40nm車用MCU測(cè)試芯片，瞄準(zhǔn)車用、機(jī)器人、生物醫(yī)療、航空核電等高端應(yīng)用系統(tǒng)所需的IC進(jìn)行開發(fā)。
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